Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Steuerung der Leistungsverteilung auf die beiden Elektroden bei bipolaren Niederdruck-Glimmprozessen sowohl bei einem asymmetrischen als auch bei einem weitestgehend symmetrischen Aufbau der Prozeßeinrichtung. Das Verfahren findet bei der Plasmabehandlung von Oberflächen, der Abscheidung von Schichten aus Plasmen und der plasmagestützten Oberflächenreinigung Anwendung. Insbesondere ist es geeignet bei der Verwendung von Reaktivgasen zur Abscheidung von Verbindungsschich¬ ten. Derartige Prozesse dienen vorzugsweise zur Oberflächenveredelung von Bauteilen, Werkzeugen, Halbzeugen und Fertigteilen in der Optik, im Maschinenbau, in der Verpak- kungs-, Glas- und Elektroindustrie.

Es sind eine Vielzahl von Verfahren zur Energieeinspeisung in bipolare Glimmeinrichtungen bekannt. Dabei wird die Energie in Form einer Wechselspannung den beiden Elektroden zugeführt. Aufgrund von nicht vermeidbaren Unterschieden der beiden Elektroden bezüglich Geometrie, Prozeßraumumgebung, Magnetfeldeinfiuß, Restgaszusammensetzung, Elektro¬ denbedeckung, Elektrodenabtrag usw. wird im allgemeinen an den beiden Elektroden nicht die gleiche Leistung umgesetzt. Bei vielen Anwendungen kann dieser Unterschied nicht tole¬ riert werden, so daß eine Leistungssymmetrierung erforderlich ist. Andererseits werden bei verschiedenen Anwendungen, wie z.B. bei der Herstellung spezieller Schichtzusammenset¬ zungen, definierte Unterschiede bezüglich der umgesetzten Leistung an den einzelnen Elek¬ troden und damit der Zerstäubungsrate gefordert. Es ist bekannt, bipolare Rechteckgeneratoren einzusetzen, um diese Anpassungen einfach durchführen zu können. Bei der Verwendung dieser Technik ist es möglich, die Pulsform im Zusammenhang mit Spannung, Strom, Pulslänge oder Leistung für den positiven und nega¬ tiven Impuls getrennt einzustellen und gegebenenfalls zu steuern. Ein wesentlicher Nachteil besteht darin, daß die Pulsgeneratoren eine technische Grenze in bezug auf Generatorlei- stung, Pulsspannung und Pulsfrequenz besitzen. Insbesondere bei höheren Generatorlei¬ stungen sind Pulsfrequenzen über 30 kHz nicht mehr realisierbar (S. Schiller et al., A New Era of Pulsed Magnetron Sputtering, Society of Vacuum Coaters, 38th Annual Tech. Conf., proceedings, 293-297). Es ist weiterhin bekannt, als Stromversorgung für den bipolaren Niederdruck-Glimmprozeß Sinusgeneratoren einzusetzen. Besonders beim Einsatz der bipolaren Glimmeinrichtung zur

reaktiven Abscheidung von Oxiden hat die Pulsfrequenz einen großen Einfluß auf die Schichtqualität. Um Schichten mit geringer Defektdichte herstellen zu können, muß in einem Frequenzbereich über 50 kHz gearbeitet werden. Dieser Frequenzbereich ist aber nur mit Sinusgeneratoren erreichbar. Für die Großflächenbeschichtung mit bipolaren Glimmeinrich- tungen sind hierbei große Generatorleistungen erforderlich. Für kleine Leistungen wird mit Hilfe einer komplizierten Kondensatorbeschaltung und einer Zusatzelektrode sowie einer zusätzlichen Stromversorgung eine Anpassung eines Sinusgenerators für die reaktive Be¬ schichtung durch Zerstäuben mit bipolarer Glimmeinrichtung erreicht (DE 40 42 287 A1). Der Nachteil dieses Verfahrens besteht darin, daß die Kondensatorbeschaltung genau an die Impedanz der bipolaren Glimmeinrichtung angepaßt sein muß. Die Impedanz der Glimmein¬ richtung ist aber stark vom Reaktivgaseinfluß und anderen Prozeßparametern abhängig, so daß diese Anpassung nur in einem engen Arbeitsbereich wirksam werden kann. Eine dyna¬ mische Anpassung an den jeweiligen Prozeßzustand ist nicht möglich. Für große Leistungen ist das Verfahren nicht einsetzbar.

Es ist weiterhin bekannt, durch eine Verbindung der beiden Versorgungsleitungen der bipo¬ laren Glimmeinrichtung über eine Gleichrichterdiode und einen Widerstand, die beiden Ka¬ toden mit einem frei wählbaren Leistungsverhältnis zu betreiben (DE 41 38 794 A1, DE 42 04 998 A1 , EP 0 546 293 A1). Der Nachteil dieses Verfahrens besteht darin, daß das Lei- stungsverhältnis durch Wahl des Widerstandes nur statisch eingestellt werden kann. Eine Veränderung des Leistungsverhältnisses als Reaktion auf eine Änderung der Prozeßparame¬ ter während des Prozesses ist nicht möglich. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß ein Teil der vom Generator zur Verfügung gestellten Energie am Widerstand umgesetzt wird, was zu einer Verringerung des Wirkungsgrades des Gesamtprozesses führt.

Es ist weiterhin bekannt, für große Leistungen in Abhängigkeit vom Prozeßzustand einzelne Halbwellen ganz und/oder teilweise auszublenden und somit für den Glimmprozeß unwirk¬ sam zu machen (DE 43 24 683 C1). Dadurch kann die an den einzelnen Elektroden umge¬ setzte Leistung unabhängig von Generatorleistung und Frequenz in Abhängigkeit vom Pro- zeßzustand dynamisch angepaßt werden. Ein Nachteil des Verfahrens besteht darin, daß die technische Realisierung einen hohen apparativen Aufwand erfordert. Durch das Ausblenden ganzer Halbwellen kann die Leistungsverteilung auf die beiden Katoden nur in diskreten Stufen verändert werden. Eine kontinuierliche Veränderung der Leistungsverteilung ist durch das teilweise Ausblenden von Halbwellen möglich. Dies erfordert aber schnelle elektrische Schaltvorgänge unter Last, welche nur durch eine komplizierte Leistungselektronik realisier-

bar sind. Ein weiterer Nachteil ist darin zu sehen, daß die Energie der ausgeblendeten Halb¬ wellen vernichtet werden muß, was den Wirkungsgrad des Gesamtprozesses stark verringern kann.

Es ist weiterhin bekannt, daß beim Betrieb von gepulsten inversen Zerstäubungs-Ätzern be¬ reits mit einer Überlagerung von Gleich- und Wechselspannung gearbeitet wird (S. Schiller et al., Advances in Pulsed Plasma Technology, R. Bakish, Proceedings of the Eight International Conf. on Vacuum Web Coating; 138-151). Dabei ist die Gleichspannungsversorgung mit einem Pol mit Erdpotential und mit dem anderen Pol mit der Wechselspannungsversorgung verbunden. Eine Elektrode der Ätzeinrichtung befindet sich auf Erdpotential, die andere ist mit der Wechselspannungsversorgung verbunden. Dieses Verfahren dient der Steuerung der Dichte der auf dem Substrat auftreffenden Ladungsträger einer bestimmten Art (Ionen oder Elektronen). Eine einfache Übertragung dieses Verfahrens auf eine bipolare Gimmeinrichtung ist nicht möglich, da in diesem Fall beide Elektroden erdfrei sein müssen. Daher würden bei einer direkten Verbindung von Gleich- und Wechselspannungsversorgung an der Gleich¬ spannungsversorgung Wechselspannungsspitzen bis zu einigen kV gegen Erdpotential auf¬ treten. Gegen diese sind die bekannten Gleichspannungsversorgungen nicht geschützt.

Es ist weiterhin bekannt, die Plasmagröße einer Gleichstrom Niederdruck-Glimmentladung zu messen und zu analysieren und damit bei der reaktiven Beschichtung die Steuerung der Schichtzusammensetzung vorzunehmen (US 4,166,784; US 4,407,709). Dabei werden die Intensität der optischen Plasmaemission als Regelgröße und der Reaktivgasfluß oder die Ge¬ neratorleistung als Stellgröße genutzt. Eine Übertragung dieses Verfahrens auf die bipolare Niederdruck-Glimmentladung kann nicht erfolgen, da eine stetige getrennte Steuerung der Leistung an den beiden Elektroden nach den bekannten Verfahren nicht oder nur mit gro¬ ßem technischen Aufwand möglich ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Steuerung der Leistungsvertei¬ lung auf die beiden Elektroden eines bipolaren Niederdruck-Glimmprozesses zu schaffen, welches es mit einfachen technischen Mitteln bei der bipolaren Niederdruck- Glimmentladung ermöglicht, die Aufteilung der Generatorleistung auf die beiden Elektroden statisch und dynamisch zu steuern. Das Verfahren soll in einem großen Frequenzbereich und für hohe Leistungen anwendbar sein. Die Anpassung muß in Abhängigkeit von einem vor¬ gegebenen Sollwert für eine in-situ gemessene Prozeßgröße Steuer- und regelbar sein, um eine sehr genaue Einhaltung der Prozeßparameter zu erreichen.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe nach den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen zeigen die Ansprüche 2 bis 10.

Ein besonderer Vorteil dieses Verfahrens besteht darin, daß die Aufteilung der Wechselspan- nungs-Generator-Leistung auf die beiden Elektroden beim bipolaren Niederdruck- Glimmprozeß in einem großen Frequenzbereich sowohl statisch als auch in Abhängigkeit vom Prozeßzustand dynamisch angepaßt werden kann.

Erfindungsgemäß wird der in eine bipolare Glimmeinrichtung eingespeisten Wechselspan¬ nung eine Gleichspannung aufgeprägt. Durch eine geeignete bekannte Schaltung wird hier- bei die Gleichspannungsversorgung vor der hohen Wechselspannung geschützt. Aufgrund der sehr steilen Strom-Spannungs-Kennlinie einer Glimmentladung kann durch eine relativ kleine Gleichspannung, auch als DC-Offset bezeichnet, eine deutliche Verschiebung der Auf¬ teilung der Wechselspannungs-Leistung auf die beiden Elektroden erreicht werden. Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß stets die gesamte bereitgestellte Leistung der Wechselspannungsversorgung auch dem bipolaren Glimmprozeß zugeführt wird; nur ihre Aufteilung auf die beiden Elektroden wird gesteuert. Insbesondere ist das Verfahren geeignet, die Leistungsverteilung beim bipolaren Glimmprozeß zu symme- trieren. Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung besteht darin, die Gleichspannung durch eine in-situ gemessene Prozeßgröße zu steuern, z.B. die optische Plasmaemission, Beschichtungsrate beim Zerstäuben oder Abtragsrate beim Ätzen.

Das Verfahren ist in Verbindung mit jeder Art von Wechselspannung ausreichend hoher Fre¬ quenz - insbesondere sinusförmiger Wechselspannung - anwendbar. Es ist auch für reaktiv geführte Prozesse geeignet.

Anhand von zwei Ausführungsbeispielen wird die Erfindung näher erläutert. In den zugehö¬ rigen Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 : eine Einrichtung zum reaktiven Beschichten eines Substrats mit Aluminiumoxid mit¬ tels bipolarer Glimmentladung Fig. 2: eine Einrichtung zum Beschichten mittels bipolarer Glimmentladung mit Leistungs- symmetrierung

In Fig. 1 befindet sich in einer Vakuumkammer 1 eine bipolare Glimmeinrichtung mit ihren beiden in einem Magnetfeld befindlichen Elektroden bzw. Targets 2a; 2b zum Magnetron- zerstäuben. Die Einrichtung ist zum Beschichten von ebenen Substraten 3, das sind Glas-

Scheiben, mit Aluminiumoxid vorgesehen. Die beiden Targets 2a; 2b bestehen aus Alumini¬ um. In die Vakuumkammer 1 wird über den Gaseinlaß 4 ein Argon-Sauerstoffgemisch einge¬ lassen. Der Arbeitsdruck beträgt ca. 0,3 Pa. Ein Sinusgenerator 5 mit einer Nennleistung von 50 kW arbeitet in einem Frequenzbereich von 20 bis 100 kHz. Die beiden Elektroden 2a; 2b arbeiten wechselweise als Katode bzw. Anode.

Der Sinusspannung wird eine Gleichspannung aufgeprägt, welche eine an sich bekannte Vier-Quadranten-Gleichspannungsversorgung 6 liefert. Diese Gleichspannungsversorgung 6 ist in der Lage, jede beliebige Gleichspannung bereitzustellen. Zugehörige LC-Glieder L1/C1 und L2/C2 sind so dimensioniert, daß die Wechselspannung an der Gleichspannungsversor¬ gung 6 kleiner 10 V eff. ist und die gegen Masse abfließenden Wechselströme kleiner als 500 mA sind. Ein Kondensator C3 ist so dimensioniert, daß der Wechselstrom ohne nen¬ nenswerte Verluste über ihn fließen kann. Im Beispiel beträgt die Induktivität von L1 und L2 10mH und die Kapazität von C1 und C2 2μF und von C3 4μF. Mittels Sensoren 7a; 7b wird die optische Plasmaemission an den beiden Elektroden 2a; 2b gemessen. Die Meßwerte werden einer bekannten Verarbeitungseinheit 8 zugeführt. In die¬ ser wird der Quotient aus den beiden Meßwerten gebildet, welcher dann als Regelgröße einem bekannten PDI-Regler 9 zugeführt wird. Die Stellgröße des so gebildeten Regelkreises ist die Spannung an der Gleichspannungsversorgung 6. Der Meßwert des Sensors 7a wird außerdem direkt einem zweiten PDI-Regler 10 zugeführt. Dieser steuert den Reaktivgasfluß über ein Gasregelventil 1 1.

Mit dieser Anordnung kann jedes erforderliche Verhältnis der Leistungen an den beiden Elektroden 2a und 2b im Bereich von 0,5 bis 2 eingestellt werden. Die ohne DC-Offset auf¬ tretende Asymmetrie von ca. 20% konnte beseitigt werden. Die Bestimmung von Arbeitspunkt P1 und P2 für eine optimale Prozeßführung wird auf fol¬ gende Weise durchgeführt:

Es werden jeweils kleine Substrate direkt vor den Elektroden 2a; 2b positioniert und stationär beschichtet. Anschließend wird die Transmission der auf den kleinen Substraten abgeschie¬ denen Schichten gemessen. Zunächst wird der Arbeitspunkt P1 solange variiert, bis die abgeschiedenen Schichten nur noch schwach - im Bereich von 1 bis 2 % - absorbierend sind. Arbeitspunkt P2 hat dabei den Wert 1.

Im zweiten Schritt wird der Arbeitspunkt P2 solange verändert, bis die an den beiden Elek¬ troden 2a; 2b abgeschiedenen Schichten den gleichen Transmissionswert haben.

Im letzten Schritt wird der Arbeitspunkt P1 nochmals etwas korrigiert, bis die abgeschiede¬ nen Schichten absorptionsfrei sind.

Mit der so gefundenen Einstellung läßt sich Aluminiumoxid absorptionsfrei und mit größt¬ möglicher Rate abscheiden, da beide Elektroden 2a; 2b im optimalen Arbeitspunkt betrieben werden.

In einem zweiten Beispiel wird anhand einer Einrichtung zum Beschichten mittels bipolarer Glimmentladung eine Leistungssymmetrierung beschrieben.

Es befindet sich in Fig. 2 - wie in Fig. 1 dargestellt - in einer Vakuumkammer 1 eine bipolare Glimmeinrichtung 2 mit ihren beiden Elektroden bzw. Targets 2a; 2b zum Magnetronzer¬ stäuben. Die Anordnung dient zum Beschichten von ebenen Substraten 3. In die Vakuum¬ kammer 1 wird über den Gaseinlaß 4 das Arbertsgas Argon eingelassen. Der Arbeitsdruck beträgt ca. 0,3 Pa. Ein Sinusgenerator 5 hat eine Nennleistung von 50 kW und arbeitet in einem Frequenzbe¬ reich von 20 bis 100 kHz. Die beiden Elektroden 2a; 2b arbeiten wechselweise als Katode bzw. Anode.

Der Sinusspannung wird eine Gleichspannung aufgeprägt, welche eine Vier-Quadranten- Gleichspannungsversorgung 6 liefert. Die LC-Glieder L1/C1 und L2/C2 sind so dimensioniert, daß die Wechselspannung an der Gleichspannungsversorgung 6 kleiner 10 V eff. ist und die gegen Masse abfließenden Wechselströme kleiner als 500 mA sind. Der Kondensator C3 ist so dimensioniert, daß der Wechselstrom ohne nennenswerte Verluste über ihn fließen kann. Im Beispiel beträgt die Induktivität von L1 und L2 10mH und die Kapazität von C1 und C2 2μF und von C3 4μF. Die beiden Elektroden 2a; 2b der bipolaren Glimmeinrichtung werden nacheinander vom Kühlwasser durchströmt, so daß beide Elektroden 2a; 2b von derselben Kühlwassermenge durchflössen werden. Die Temperaturerhöhung des Kühlwassers an den beiden Elektroden 2a; 2b ist somit ein direktes Maß für die ins Kühlwasser eingebrachte Energie und damit auch für die an den Elektroden umgesetzte Zerstäubungsleistung. Mittels Sensoren 7a; 7b; 7c wird die Kühlwassertemperatur gemessen. Die Meßwerte werden einer bekannten Verar¬ beitungseinheit 8 zugeführt. Es werden die Temperaturerhöhung des Kühlwassers an den beiden Elektroden 2a; 2b und die Differenz zwischen beiden Elektroden 2a; 2b berechnet. Der Wert der Differenz wird als Regelgröße einem bekannten PDI-Regler 9 zugeführt. Die Stellgröße des so gebildeten Regelkreises ist die Spannung an der Gleichspannungsversor-

gung 6. Der Arbeitspunkt P für den PDI-Regler 9 ist im Fall der Leistungssymmetrierung gleich Null.

Mit dieser Anordnung werden Asymmetrien in der Leistungsverteilung einer bipolaren Glimmeinrichtung automatisch ausgeregelt.