Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Formkorrektur einer Linse, bei dem man die Oberfläche der Linse durch eine Blende hindurch in bestimmten von der Blende freige¬ gebenen Bereichen mit der Strahlung einer gepulsten Strah¬ lungsquelle beaufschlagt und dabei beim Auftreffen jeden Strahlungspulses Material der Linse durch die Strahlungs- e nwirkung abträgt, wobei man die Strahlung in einem Strahlenbündel konzentriert, dessen Querschnitt beim Auf- treffen auf der Linsenoberfläche kleiner ist als die von der Blende freigegebene Linsenoberfläche, und wobei man das Strahlenbündel so bewegt, daß durch nacheinander auf die Linsenoberfläche auftreffende Strahlungspulse die ge¬ samte von der Blende freigegebene Linsenoberfläche be¬ strahlt wird.

Ferner betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durch¬ führung dieses Verfahrens.

Mit dem beschriebenen Verfahren gelingt es, die Ober¬ flächenform einer Linse, beispielsweise einer Kontaktlinse oder auch der Hornhaut des Auges, durch sogenannte Photo- ablation so zu formen, daß eine optische Korrektur der Oberfläche erreicht werden kann. Herkömmlir erweise werden zu diesem Zweck als Strahlungsquellen Laser verwendet, und zwar gepulste Laser, die also in zeitlicher Abfolge wie¬ derholt Strahlungsimpulse abgeben. Diese Strahlungsimpulse werden über der gewünschten Korrektur entsprechende Blen-

den auf die Linsenoberfläche gerichtet und tragen bei je¬ dem Auftreffen eine sehr geringe Materialmenge von der Linsenoberfläche ab.

Es ist bekannt, bei derartigen Verfahren die gesamte von der Blende freigegebene Fläche der Linsenoberfläche von jedem Strahlungspuls vollständig bestrahlen zu lassen, d.h. der Querschnitt des auf die Blende gerichteten Strah¬ lenbündels ist dann bei jedem Strahlungspuls größer als die von der Blende freigegebene Fläche. Dabei können sich jedoch Intensitätsprobleme ergeben, da die gesamte vom Laser erzeugte Strahlung unter Umständen über eine relativ große Fläche verteilt werden muß.

Andererseits ist es bekannt, die vom Laser erzeugte Strah¬ lungsenergie in einem Strahlenbündel sehr kleinen Quer¬ schnitts zu konzentrieren, wobei dann dieses Strahlenbün¬ del die von der Blende freigegebene Linsenoberfläche Scanner-ähnlich abtastet. Dabei ist es sehr schwierig, eine gleichmäßige Bestrahlung der gesamten Fläche zu er¬ reichen, da sich die Positionen des Strahlungspulses exakt aneinander anschließen müssen.

Bei einem weiteren bekannten Verfahren wird die Strahlung in eine balkenförmige Fläche konzentriert, die schritt¬ weise über die von der Blende freigegebene Fläche geführt wird. Dabei wird bei jeder Bestrahlung nur ein Teilbereich der freigegebenen Fläche bestrahlt, der Anschluß dieser Teilbereiche aneinander ist jedoch leichter zu bewerk¬ stelligen.

Bei allen beschriebenen Verfahren wird im Endeffekt die von der Blende freigegebene Fläche an jeder Stelle von einem Strahlungspuls getroffen, es erfolgt also eine mehr oder weniger gleichmäßige Abtragung in dem gesamten von der Blende freigegebenen Bereich, deren Tiefe der Abtra¬ gung eines Strahlungspulses entspricht.

Wenn eine größere Abtragung gewünscht wird, ist es nor¬ malerweise notwendig, die Prozedur insgesamt zu wieder¬ holen.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren der eingangs beschriebenen Art so zu führen, daß bereits bei einem ersten Bestrahlungsvorgang auch eine Abtragtiefe erreicht werden kann, die einer Mehrfachbestrahlung entspricht.

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs be¬ schriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß man das Strahlenbündel zwischen aufeinanderfolgenden Strah¬ lungspulsen nur so weit bewegt, daß sich die von nachein¬ ander auf der Linsenoberfläche auftreffenden Strahlungs¬ pulsen getroffenen Bereiche der Linsenoberfläche teilweise überlappen. Je nach der Größe der Überlappung treffen in dem überlappenden Bereich mehrfach Strahlungspulse auf die zu formende Linsenoberfläche, so daß auch eine höhere Ab¬ tragungstiefe erreicht werden kann. Beispielsweise treffen bei einer Überlappung benachbarter Strahlungsquerschnitte von 50% in jedem Bereich zwei Strahlungspulse auf, bei einer Überlappung von 67% t βi Strahlungspulse etc. Es wird dadurch möglich, in einem Durchgang eine Abtragung der gewünschten Tiefe zu erreichen.

Im Prinzip kann ein solches Verfahren mit jeder Quer¬ schnittsform des Strahlenbündels durchgeführt werden, die eine insgesamt gleichmäßige Bestrahlung der von der Blende freigegebenen Fläche beim Abtasten ermöglicht, besonders günstig ist es aber, wenn der Querschnitt des Strahlenbün¬ dels die Form eines rechteckigen Balkens hat, der die von der Blende freigegebene Fläche in einer Richtung vollstän¬ dig überdeckt, in der senkrecht dazu verlaufenden Richtung jedoch nur zu einem geringen Teil, und wenn man den Balken zwischen nacheinander folgenden Strahlungspulsen in dieser senkrecht verlaufenden Richtung bewegt. Die nacheinander auf die Linsenoberfläche auftreffenden Balken überlappen sich beim Überfahren der von der Blende freigegebenen Fläche einoder mehrfach, so daß eine sehr gleichmäßige Be¬ strahlung der Linsenoberfläche bei genau definierter Zahl der auftreffenden Strahlungspulse erreicht werden kann. Wichtig ist bei der Verwendung eines balkenförmigen Strah¬ lenquerschnittes, daß die Linsenoberfläche mit einer rela¬ tiv hohen Leistungsdichte bestrahlt werden kann, die auch bei relativ kleinen Lasern ausreicht, um die gewünschte Materialabtragung zu erreichen.

Es ist vorgesehen, daß die Blende erst dann in eine neue Position bewegt wird, wenn die gesamte von ihr freigege¬ bene Fläche der Linsenoberfläche von Strahlungspulsen ge¬ troffen worden ist.

Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Blende um die optische Achse der Linse schrittweise rotiert wird.

Dabei kann vorgesehen werden, daß man die Größe der Über¬ lappung der von nacheinander auf der Linsenoberfläche auf¬ treffenden Strahlungspulsen getroffenen Bereiche der Lin¬ senoberfläche bei Überstreichen einer Blendenöffnung vari¬ iert. Die von der Blendenöffnung freigegebene Linsenober¬ fläche wird dadurch unterschiedlich tief abgetragen, so daß durch die Überlappung der Abtragungsgrad gesteuert werden kann.

Bei einer anderen Ausführungsform, bei der die Blende um die optische Achse der Linse schrittweise rotiert wird, kann vorgesehen sein, daß man eine Blendenöffnung verwen¬ det, die bezüglich der Drehachse der Blende nicht rota¬ tionssymmetrisch ist, und daß man die Größe der Über¬ lappung der von nacheinander auf der Linsenoberfläche auf¬ treffenden Strahlungspulsen getroffenen Bereiche der Lin¬ senoberfläche bei unterschiedlichen Stellungen der Blende verschieden wählt. Bei jeder einzelnen Stellung der Blen¬ denöffnung bleibt also die Überlappung konstant, so daß der gesamte von der Blende in einer Blendenstellung frei¬ gegebene Bereich der Linsenoberfläche gleichmäßig tief ab¬ getragen wird. Dagegen kann durch die Variation der Über¬ lappung bei unterschiedlichen Winkelstellungen der Blende eine unterschiedliche Abtrag g in unterschiedlichen Win¬ kelbereichen erzielt werden, daß beispielsweise eine Korrektur von Myopie oder Hyperopie möglich wird, und zwar zusätzlich zu den unterschiedlichen Abtragungen in radia¬ ler Richtung, die sich aufgrund der Blendenform ergeben.

Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens zu schaffen. Eine solche Vorrichtung ist im Patentan¬ spruch 7 beschrieben. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Patentansprüchen 8 bis 12.

Die nachfolgende Beschreibung einer bevorzugten Ausfüh¬ rungsform der Erfindung dient im Zusammenhang mit der Zeichnung der näheren Erläuterung. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Ansicht einer Vorrich- : tung zur Formkorrektur einer Linse;

Fig. 2 eine schematische Querschnittansicht der bestrahlten Linse in fünf aufeinander¬ folgenden Bestrahlungsschritten bei einer Schrittweite, die der Hälfte des Strahlungsquerschnittes entspricht, und

Fig. 3 eine Ansicht ähnlich Fig. 2 mit vier aufeinanderfolgenden Bestrahlungs- schritten, wobei die Schrittweite nur ein Drittel des Strahlungsquerschnittes beträgt.-

Die Erfindung wird im folgenden am Beispiel der Formung der Hornhaut eines Auges 1 erläutert, es versteht sich je¬ doch, daß auch andere Linsen in dieser Weise geformt wer¬ den können, beispielsweise Kontaktlinsen.

Vor der im folgenden allgemein als Linse 2 bezeichneten Hornhaut wird eine um die optische Achse der Linse 2 schrittweise verdrehbare Blende 3 angeordnet, die einen Durchlaß aufweist, der einen Teil der Oberfläche der Linse 2 freigibt, wobei sich der freiliegende Teil der Linse 2

von Position zu Position der Blende 3 ändert. Die Blende 3 wird durch einen Schrittmotor 4 schrittweise gedreht, der Motor 4 wird von einer Steuerung 5 über eine Leitung 6 ge¬ steuert.

Diese Steuerung 5 steuert auch einen Laser 7, beispiels¬ weise einen Excimer-Laser mit einer Wellenlänge von 193 nm, der von der Steuerung 5 gesteuert Strahlungspulse ab¬ gibt. Diese Strahlungspulse werden über einen Umlenk¬ spiegel 8 auf die Blende 3 und durch deren offenliegende Teile hindurch auf die Oberfläche der Linse 2 gerichtet.

Der Umlenkspiegel 8 ist mit einem Antrieb versehen, der von der Steuerung 5 über eine weitere Leitung 9 ange¬ steuert wird. Dadurch kann der Schwenkwinkel des Umlenk¬ spiegels 8 verändert werden, in Fig. 1 sind zwei verschie¬ dene Schwenkwinkel in ausgezogenen bzw. in strichpunktier¬ ten Linien dargestellt, wobei die Unterschiede im Ablen¬ kungswinkel zur besseren Verdeutlichung in der Zeichnung übertrieben groß dargestellt sind.

In der Zeichnung nicht dargestellt sind optische Mittel, beispielsweise Zylinderlinsen, die den Strahlenquerschnitt der vom Laser 7 abgegebenen Strahlung so formen, daß der Strahlenquerschnitt die Form eines flachen langgestreckten Rechtecks oder Balkens aufweist. Dieser Balken hat Ab¬ messungen, die in einer Richtung größer sind als die Öffnung in der Blende 3, in der enkrecht dazuliegenden Richtung jedoch deutlich kleine so daß bei jedem Strah¬ lungspuls nur ein balkenförmiger Bereich der von der Blende 3 freigegebenen Oberfläche der Linse 2 von der Strahlung getroffen wird.

In Fig. 2 ist der Effekt dieses auf die Oberfläche der Linse 2 auftreffenden Strahlungspulses mit balkenförmigem Querschnitt schematisch dargestellt. Dabei wird die Fläche des vom Strahlungspuls eingenommenen Balkens durch ein langgestrecktes Rechteck 10 oberhalb der Oberfläche der Linse 2 angedeutet, wobei sich dieses Rechteck in der Zeichenebene nur über einen Teil der Linsenoberfläche er¬ streckt, die von der Blende 3 freigegeben ist, während senkrecht zur Zeichenebene eine wesentlich größere Er¬ streckung vorgesehen ist, die die gesamte von der Blende freigegebene Öffnung überdeckt. Das Rechteck 10 symboli¬ siert also lediglich die Querschnittsausdehnung der auf¬ treffenden Strahlungspulse in Ablenkungsrichtung des Strahlungsquerschnittes.

In der obersten Darstellung der Fig. 2 ist gezeigt, wie beim Auftreffen eines Strahlungspulses eine Vertiefung 11 in die Linsenoberfläche "gebrannt" wird, deren Ausdehnung im wesentlichen der Ausdehnung des Strahlenquerschnittes (symbolisiert durch das Rechteck 10) entspricht. Die Tiefe der Vertiefung 11 ergibt sich aus der Energie, die von einem Strahlungspuls auf die bestrahlte Fläche aufgebracht wird.

Gemäß der Erfindung wird der Strahlenquerschnitt nach jedem Strahlungspuls durch Verschwenkung des Umlenk¬ spiegels 8 relativ zur Linse 2 verschoben, und zwar nur so weit, daß eine Teilüberdeckung erhalten bleibt. Im Falle der Fig. 2 beträgt der Verschiebeweg des Strahlenquer¬ schnittes die halbe Breite des balkenförmigen Bestrah- lungsbereiches, in Fig. 2 wird dies dadurch deutlich, daß das Rechteck 10 um seine halbe Länge verschoben wird.

Trifft in dieser Position erneut ein Strahlungspuls auf die Linsenoberfläche auf, so wird erneut in dem bestrahl¬ ten Bereich Material in einer Tiefe abgetragen, die der Tiefe der Vertiefung 11 entspricht. Durch die 50%ige Über¬ deckung ergibt sich im zentralen Bereich über eine Länge des halben Strahlungsquerschnittes eine Tiefe, die der doppelten Tiefe der Vertiefung 11 entspricht, wie dies in der zweiten Stufe der Fig. 2 dargestellt ist.

In den drei aufeinanderfolgenden Stufen der Fig. 2 ist der Strahlenquerschnitt jeweils um eine halbe Rechteckbreite weiter verschoben. Man erkennt, daß auf diese Weise die Oberfläche der Linse 2 so tief abgetragen wird, wie es der Energie von zwei auftreffenden Strahlungspulsen ent¬ spricht, lediglich im Randbereich ergibt sich eine Ab¬ stufung. Man erhält also auf diese Weise eine Abtragung, die die doppelte Tiefe einer normalen Abtragung aufweist, bei welcher die von der Blende freigegebene Fläche insge¬ samt einmal von Strahlungspulsen getroffen wird.

In Fig. 3 ist der entsprechende Vorgang für eine Verschie¬ bung des Strahlenquerschr ttes um eine geringere Verschie¬ bestrecke beschrieben, nämlich bei einer Verschiebung um ein Drittel der Breite des Rechteckes 10. Man erkennt, daß auf diese Weise eine Abtragung erzielt werden kann, die der dreifachen Abtragung bei Einfachbestrahlung ent¬ spricht. Auch hier ergibt sich im Randbereich eine Ab¬ stufung.

Diese Steuerung ergibt natürlich die Möglichkeit, die Überdeckung bei dem von der Blende freigegebenen Bereich nicht über dessen gesamten Bereich konstant zu halten,

sondern zu variieren, so daß auf diese Weise in Verschie¬ berichtung des Strahlenquerschnittes eine unterschiedliche Profilierung erreicht werden kann. Dazu genügt es, über die Steuerung 5 die Schrittweite der Schwenkbewegung des Umlenkspiegels 8 zu variieren.

Mit der Steuerung ist es auch möglich, sphärische Korrek¬ turen der Linsenoberfläche vorzunehmen, und zwar gleich¬ zeitig mit asphärischen Korrekturen, wie beispielsweise dem Astigmatismus. Dies kann dadurch erreicht werden, daß die Blende schrittweise gedreht wird und daß bei jeder Blendenstellung die Überlappung durch die Steuerung unter¬ schiedlich gewählt wird, so daß insgesamt eine unter¬ schiedliche Abtragungsrate für unterschiedliche Winkel¬ stellungen der Blende auftritt. Dies führt zu einer sphärischen Korrektur, während gleichzeitig die Blenden¬ form für die asphärische Korrektur verantwortlich ist.