Feinbearbeitungswerkzeug und Verfahren zur Herstellung einer

auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran

Beschreibung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Feinbearbeitungsmembran gemäß dem

Oberbegriff des Anspruchs 1 , ein stationäres Feinbearbeitungswerkzeug, insbesondere für das präzise reproduzierbare Feinbearbeiten kompliziert geformter Metall-, Glas-, Kunststoff- oder Keramikoberflächen sowie ein Verfahren zur Herstellung einer auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran.

Das Feinbearbeiten von Werkstückoberflächen, insbesondere von Metall-, Glas-, Kunststoff- oder Keramikoberflächen, umfasst das Schleifen, Polieren, Läppen, Spanen, Fräsen, Drehen oder andere Feinbearbeitungsprozesse und ist häufig ein präzise kraftgeregelter bzw. kraftgesteuerter Prozess, bei dem die Einhaltung eines flächig homogenen und zeitlich konstanten druckmechanischen Zustands in einer bestimmten Feinbearbeitungszone zwischen Feinbearbeitungsmittel und Werkstück von enormer Bedeutung ist, um reproduzierbare Abtragsverhältnisse gewährleisten zu können. Häufig finden zu diesem Zweck Feinbearbeitungswerkzeuge mit Membranwerkzeugkopf Anwendung. Der Membranwerkzeugkopf weist dabei eine

Membran auf, deren Form sich dem Werkstück entsprechend anpassen kann. Auf der meist nach außen gewölbten Membran wird werkstückseitig ein Feinbearbeitungsmittelträger aufgespannt oder aufgeklebt, der ein Feinbearbeitungsmittel trägt. Durch Rotations-, Oszillations- und/oder Exzenterbewegungen des

Werkzeugkopfs, der vom Feinbearbeitungswerkzeug präzise gesteuert mit einem definierten Anpressdruck auf die Werkstückoberfläche und definierter Geschwindigkeit entlang eines definierten Weges über die Werkstückoberfläche geführt wird, kann die Werkstückoberfläche mit präzise reproduzierbarer Genauigkeit feinbearbeitet werden. Da die Membran mit dem aufgebrachten Feinbearbeitungsmittelträger verformbar ist, kann sich die Feinbearbeitungsfläche in gewissem Rahmen der Formung der Werkstückoberfläche anpassen, sodass im

Wesentlichen die Fläche der Feinbearbeitungszone konstant bleibt. Damit erlauben Feinbearbeitungswerkzeuge mit Membranwerkzeugkopf ein präzises Feinbearbeiten gewölbter bzw. frei geformter Werkstückformen.

Aus der DE 102 42 422 B1 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung für die

Feinbearbeitung einer optischen Fläche einer Linse bekannt, bei denen die optische Fläche mit einer anpassbar geformten Läppscheibe poliert wird. Die Läppscheibe weist dabei eine starre Grundfläche auf, auf welche werkstückseitig ein Polierpad mit Poliermittelträger angebracht wird. Zwischen dem Polierpad und der starren Grundfläche bildet eine wahlweise verflüssigbare oder verfestigbare Substanz eine Schicht, die sich entsprechend der zu polierenden Linsenkontur in flüssiger Form anpassen kann und für den Poliervorgang in gewünschter Form verfestigen lässt.

Die EP 0 779 128 B1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung ophthalmischer Linsen und insbesondere ein formanpassbares Werkzeug zum Feinschleifen/Polieren ophthalmischer Linsen. Dabei ist eine im Wesentlichen halbkugelförmige Blase, die sich in der Form an eine Oberfläche einer zu polierenden Linse anpassen kann, über einer ersten werkstückseitigen Kammer und einer zweiten werkzeugseitigen Kammer angebracht, die zusammen ein im Wesentlichen festes Volumen haben, wobei die erste Kammer einen Füllstoff wie Sand enthält und die zweite Kammer mittels

Luftdruck vergrößert wird, um die erste Kammer zu verkleinern.

Ebenso betrifft die EP 0 804 999 B1 ein Werkzeug zum Feinschleifen oder Polieren ophthalmischer Linsen. Dabei ist zwischen zwei Diaphragmen ein Bündel Stäbe angeordnet, die in Längsrichtung eine Verformung des ersten Diaphragmas auf das zweite Diaphragma übertragen und sich dadurch das zweite Diaphragma einer zu polierenden Linsenform anpassen kann.

Die DE 101 06 007 B1 betrifft ein ähnliches wie das aus der EP 0 804 999 B1 bekannte Werkzeug, bei dem das Bündel Stäbe axial und radial durch

Drucklufteinwirkung fixierbar ist.

Die EP 0 971 810 B1 beschreibt ebenfalls ein Werkzeug und Verfahren zum Polieren einer ophthalmischen Linse mit einer dynamisch verformbaren Läppscheibe, wobei unter der Läppscheibe wellenerzeugende Mittel angeordnet sind, welche die Läppscheibe in Wellenbewegungen versetzt, sodass mittels der Wellen Schleifschlamm zwischen die Läppscheibe und die Linse getragen wird.

Nachteilig an den vorbeschriebenen bekannten Feinbearbeitungswerkzeugen mit einem Membranwerkzeugkopf ist, dass die Membran als Auflagefläche für einen Feinbearbeitungsmittelträger dient und diese auf der Membran aufgespannt oder aufgeklebt werden muss. Bei hohen Drücken und starken Reibungskräften zwischen Werkstückoberfläche und Feinbearbeitungsmittel reißt der Feinbearbeitungsmittelträger häufig auf oder von der Membran ab. Zudem müssen die Feinbearbeitungsmittelträger aus flächiger Meterware ausgeschnitten, in Form gebracht und dann auf die Membran gespannt oder geklebt werden. Dadurch ist die Bandbreite an möglichen Oberflächenkonturen der Membran beschränkt, die mit einem

Feinbearbeitungsmittelträger bestückt werden können. Vor allem stark gewölbte Membrankonturen können nicht mit einem Feinbearbeitungsmittelträger bespannt oder beklebt werden, da sich der flächige Feinbearbeitungsmittelträger den starken Wölbungen nicht ohne Faltenwurf anpassen kann. Im Übrigen ist das Ausschneiden und Anformen der Feinbearbeitungsmittelträger zeitaufwändig und somit kostenintensiv.

Aus der DE 44 42 181 C2 ist eine auswechselbare Feinbearbeitungsmembran bekannt, die z.B. für den Einsatz in einer Optik-Poliermaschine geeignet ist. Dabei kann die Membran selbst als Poliermittelträger dienen. Es ist allerdings nicht offenbart, aus welchem konkreten Material die Membran bestehen soll, wenn sie gleichzeitig als Poliermittelträger dient. Poliermittelträger sind ohne weitere

Maßnahmen in der Regel zu porös, um eine Druckregelung zuzulassen und somit nicht als Membrane geeignet.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine alternative

auswechselbare Feinbearbeitungsmembran sowie ein Feinbearbeitungswerkzeug mit Membranwerkzeugkopf bereitzustellen, bei dem auch mit stark gewölbten

Membranen Werkstückoberflächen präzise reproduzierbar feinbearbeitet werden können. Außerdem soll ein Ab- oder Aufreißen des Feinbearbeitungsmittelträgers vermieden und das Feinbearbeiten vereinfacht und beschleunigt werden. Gelöst wird diese Aufgabe in Bezug auf die auswechselbare Feinbearbeitungsmembran durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 , bzw. durch ein stationäres Feinbearbeitungswerkzeug gemäß Anspruch 9 sowie durch ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Feinbearbeitungsmembran gemäß Anspruch 13.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird eine auswechselbare

Feinbearbeitungsmembran zum Befestigen an einem druckbeaufschlagbaren Werkzeugkopf eines Feinbearbeitungswerkzeugs für das Feinbearbeiten einer Werkstückoberfläche bereitgestellt, wobei ein Feinbearbeitungsmittelträger in der Feinbearbeitungsmembran integriert ist und wobei die Feinbearbeitungsmittelträger ein vernetztes Elastomer aufweist und der Feinbearbeitungsmittelträger in dem vernetzten Elastomer eingebettet ist.

„Feinbearbeitung" bzw.„Feinbearbeiten" kann jegliches mechanische

Fertigungsverfahren nach DIN 8510 sein, bei dem ein Material in die gewünschte Form gebracht wird, indem überflüssiges Material abgetragen wird. Dies ist insbesondere das Schleifen, Polieren, Reiben, Läppen, Spanen, Schaben, Raspeln, Fräsen, Feilen, oder Drehen von Werkstückoberflächen, insbesondere von Metall-, Glas-, Kunststoff- oder Keramikoberflächen. Ein„Feinbearbeitungsmittelträger" ist hierbei ein Material, das ein Feinbearbeitungsmittel wie etwa Diamantstaub oder feinkörnigen Quarzsand tragen kann, das als Abrasivmittel dient. Der Feinbearbeitungsmittelträger kann bereits vor dem Befestigen der Feinbearbeitungsmembran ein Feinbearbeitungsmittel tragen oder das Feinbearbeitungsmittel kann vor oder während des Feinbearbeitungsprozesses auf den Feinbearbeitungsmittelträger aufgebracht werden.

Der Begriff„stationäres Feinbearbeitungswerkzeug" bedeutet hierin, dass das Feinbearbeitungswerkzeug eine definierte räumliche Position zum Werkstück hat und nicht etwa mit der Hand gehalten wird. Ein stationäres

Feinbearbeitungswerkzeug kann allerdings sich relativ zum Werkstück bewegliche und/oder rotierbare Teile aufweisen. Das Werkstück kann auch relativ zum

Feinbearbeitungswerkzeug beweglich und/oder rotierbar sein. Ein Beispiel für ein stationäres Feinbearbeitungswerkzeug ist eine ortsfeste Polierspindel mit rotierbarem Spindelarm. Erfindungsgemäß stellt die Feinbearbeitungsmembran mit dem integrierten

Feinbearbeitungsmittelträger eine einstückige Kompositware dar, die mit nahezu beliebig starker Wölbung hergestellt werden kann. Außerdem wird durch die

Integration des Feinbearbeitungsmittelträgers ein Ab- oder Aufreißen verhindert.

Durch die Integration des Feinbearbeitungsträgers in der Feinbearbeitungsmembran kann die Feinbearbeitungsmembran als auswechselbare Einwegware verwendet werden. Im Gegensatz zu den im Stand der Technik bekannten

Feinbearbeitungswerkzeugen, bei denen die Membran fest im Werkzeug integriert ist und nur der Feinbearbeitungsmittelträger abgenutzt und ausgetauscht wird, wird erfindungsgemäß die Feinbearbeitungsmembran mit integriertem Feinbearbeitungsmittelträger ausgetauscht. Dies vereinfacht und beschleunigt das Feinbearbeiten enorm, da kein flächiger Feinbearbeitungsmittelträger ausgeschnitten, angeformt und auf die Membran aufgeklebt werden muss.

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Feinbearbeitungsmembran ist, dass sie durch die Integration des Feinbearbeitungsmittelträgers dünner und somit flexibler ausgestaltet werden kann. Dadurch entspricht der Anpressdruck der Feinbearbeitungsmembran auf eine Werkstückoberfläche dem regelbaren Innendruck im

Druckraum des Werkzeugkopfs. Damit ist also über den Innendruck der

Anpressdruck genau regelbar. Bei den bekannten Feinbearbeitungsmembranen führt der aufgeklebte Feinbearbeitungsmittelträger zu einer erhöhten Steifigkeit und Dicke, sodass der Anpressdruck in Undefiniertem Maße höher ist als der Innendruck. Der Anpressdruck ist daher mit den bekannten Feinbearbeitungsmembranen nicht exakt über den Innendruck im Druckraum des Werkzeugkopfs regelbar.

Vorzugsweise weist die Feinbearbeitungsmembran eine in dem vernetzten

Elastomer eingebettete Gewebelage auf. Durch die Gewebelage wird die

Feinbearbeitungsmembran wesentlich verstärkt und auch bei relativ geringer Dicke der Membran sichergestellt, dass auch bei hoher Druckbeaufschlagung des

Werkzeugkopfs die Feinbearbeitungsmembran ihre Kontur beibehält. Durch die Einbettung des Feinbearbeitungsmittelträgers in das Elastomer können unterschiedlichste Feinbearbeitungsmittelträger wie etwa Filz, PU-Schaum, Kunstseide oder Nylonstoff in die Membran stoffschlüssig und abreißsicher integriert werden, ohne jeweils angepasste Verbindungsmittel einsetzen zu müssen.

Unter einem„Elastomer" wird hierin jeglicher bei Raumtemperatur formfeste, aber elastisch verformbare Kunststoff verstanden, der sich bei Zug- und/oder

Druckbelastungen elastisch verformt, aber danach wieder selbständig in seine ursprüngliche, unverformte Gestalt zurückfindet. Unter bestimmten Bedingungen wie etwa einer Temperatur oberhalb der Raumtemperatur kann ein Elastomer allerdings fließfähig sein. Unter„Vernetzung" bzw.„Vernetzen" eines fließfähigen Elastomers wird hierin eine Verknüpfung von Molekülen eines fließfähigen Elastomers zu einem dreidimensionalen Netzwerk verstanden, sodass das Elastomer formfest, aber elastisch verformbar wird. Dies kann beispielsweise eine Vulkanisation sein, bei der ein Vernetzungsmittel wie etwa Schwefel und/oder Katalysatoren eingesetzt werden. Es kann aber auch eine sogenannte Selbstvernetzung allein durch bestimmte äußere Reaktionsbedingungen wie etwa Wärme- und/oder Druckeinwirkung erreicht werden.

Vorzugsweise ist die Gewebelage der Feinbearbeitungsmembran werkzeugseitig in dem vernetzten Elastomer eingebettet und der Feinbearbeitungsmittelträger werkstückseitig in dem vernetzten Elastomer eingebettet. Unter„werkstückseitig" wird hierin die Seite verstanden, die dazu vorgesehen ist, bei vorgesehener

Verwendung einem zu bearbeitenden Werkstück zugewandt zu sein. Unter„werkzeugseitig" wird hierin die Seite verstanden, die dazu vorgesehen ist, bei

vorgesehener Verwendung einem Feinbearbeitungswerkzeug zugewandt zu sein.

Es ist weiterhin bevorzugt, dass die Feinbearbeitungsmembran einen zentralen Feinbearbeitungsabschnitt aufweist, wobei die werkstückseitige Oberfläche des Feinbearbeitungsabschnitts konvex und die werkzeugseitige Oberfläche des Feinbearbeitungsabschnitts konkav geformt ist. Dadurch erhält die Membran im Wesentlichen die Form einer Schale, die sphärisch oder andersartig vom Werkzeug aus nach außen gewölbt geformt ist und innenseitig einen Druckraum begrenzen kann, der beispielsweise mit einem geregelten Fluiddruck druckbeaufschlagt werden kann. Der

Druckraum kann dabei mit einem Fluid wie etwa Luft, Wasser oder Öl

druckbeaufschlagt werden. Alternativ können auch ein Bündel Stäbe oder andere geeignete Mittel eine Vielzahl von werkzeugseitigen Druckpunkten auf die Feinbearbeitungsmembran ausüben. Außenseitig ist der Feinbearbeitungsmittelträger integriert, damit dieser zusammen mit einem darauf aufgebrachten Feinbearbeitungsmittel zur Feinbearbeitung eines Werkstücks mit dessen

Oberfläche, die ggf. auch konkav gekrümmt sein kann, reibschlüssig in Kontakt gebracht werden kann.

Vorzugsweise weist die Feinbearbeitungsmembran einen ringförmig umlaufenden Befestigungsfalz auf, welcher zudem die Funktion eines Dichtungsrings hat. Damit wird das Befestigen der auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran besonders einfach. Es bedarf also keines zusätzlichen Dichtungsrings. Die Feinbearbeitungsmembran kann luftdicht ausgestaltet sein oder in beschränktem Maße luftdurchlässig sein, wobei die Feinbearbeitungsmembran die Aufrechterhaltung eines konstanten innenseitigen Drucks erlauben muss, d.h.„druckdicht" sein muss.

Das Elastomer weist vorzugsweise mindestens einen Kautschuk aus der Gruppe auf, die besteht aus: Epichlorhydrin-Kautschuk (ECO), Ethylen-Propylen-Dien-Kautschuk (EPDM), Nitrilkautschuk (NBR), Butylkautschuk (HR), Fluorkautschuk (FPM), Poly- ester/Ether-Polyurethan-Kautschuk (PUR), Ethylenvinylacetat-Kautschuk (EVA).

Diese Kautschuke sind geeignete Elastomergrundstoffe, um die notwendige

Elastizität bzw. Steifigkeit und Reißfestigkeit einer auswechselbaren

Feinbearbeitungsmembran erreichen zu können.

Die Gewebelage weist vorzugsweise mindestens einen Stoff aus der Gruppe auf, die besteht aus: Polyethersulfon (PES), Polyamid (PA). Diese Kunststoffe können in Form von Fasern den Grundstoff für eine flexible, aber reißfeste Gewebebahn bilden, aus der die Gewebelage ausgetrennt werden kann.

Um eine größere Dicke und/oder Festigkeit der Feinbearbeitungsmembran zu erhalten, kann die Feinbearbeitungsmembran zwei oder mehr Gewebelagen und/oder Elastomerschichten aufweisen. Dabei können die Gewebelagen in einer Elastomerschicht eingebettet sein, oder mehrere Elastomerschichten können mit jeweils einer oder mehr Gewebelagen miteinander vernetzt sein. Die

Feinbearbeitungsmembran ist auch in dieser Ausführungsform eine einstückige Kompositware.

Die Feinbearbeitungsmembran kann auf ihrer dem Werkstück zugewandten Seite Strukturen aufweisen, die die Verteilung der Bearbeitungssuspension verbessern kann. Bei diesen Strukturen kann es sich zum Beispiel um Schlitze oder Nuten oder dergleichen handeln, die bereits während der Formgebung der

Feinbearbeitungsmembran in die Membran eingearbeitet werden können, zum Beispiel bei einem Tiefziehprozess. Es ist aber auch möglich, die Strukturen nachträglich einzubringen. Die Strukturen können zum Beispiel spiralförmig sein, wobei die Spirale beispielsweise im Zentrum der Membran, also an ihrem Pol beginnen kann und der Spiralarm mit zunehmendem Radius um diesen Pol herum verläuft. Es können auch mehrere Spiralen vorgesehen sein. Alternative Strukturen, wie zum Beispiel meridional oder andersartig verlaufende Schlitze oder Nuten sind ebenfalls denkbar. Auch können Strukturen unterschiedlicher Geometrien gleichzeitig in die Feinbearbeitungsmembran eingearbeitet sein.

Des Weiteren ist es denkbar, in die Feinbearbeitungsmembran eine definierte Permeabilität oder Porosität für das Suspensionsmittel einzuarbeiten. Das

Suspensionsmedium könnte dabei gleichzeitig das Druckmedium sein, und die Prozesszone wird zumindest auch von innen heraus mit Suspension versorgt.

In einer weiteren vorteilhaften Ausbildungsform kann ein Zentrierring vorgesehen werden, mit dem die Feinbearbeitungsmembran verbunden wird. Der Zentrierring kann zur besseren Positionierung der Feinbearbeitungsmembran gegenüber dem Werkzeuggrundkörper dienen. Der Zentrierring kann während des

Formgebungsprozesses der Feinbearbeitungsmembran an der

Feinbearbeitungsmembran fixiert werden. Der Ring kann aus Kunststoff oder Metall, zum Beispiel Aluminium, Stahl oder Messing, bestehen. Das Material muss geeignet sein, die Formgebungstemperaturen während des Herstellungsprozesses der Feinbearbeitungsmembran, zum Beispiel 200°C, zu vertragen. Der Zentrierring kann beispielsweise L-förmig sein mit einem Zylinderstück und einem Radialstück. Eine Innenfläche des Zylinderstückes kann zur Zentrierung dienen, während eine untere Fläche des radial sich erstreckenden Radialstücks als Dichtfläche dienen kann. Die äußere Fläche des Zylinderstückes und/oder die obere Fläche des Radialstückes können zur Fixierung der Feinbearbeitungsmembran dienen. Die Dichtfläche kann gleichzeitig zur axialen Positionierung der Feinbearbeitungsmembran dienen.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein

Feinbearbeitungswerkzeug mit einem druckbeaufschlagbaren Werkzeugkopf bereitgestellt, der ein lösbares Befestigungsmittel zum Befestigen einer zuvor beschriebenen austauschbaren Feinbearbeitungsmembran aufweist. Unter einem „lösbaren Befestigungsmittel" wird hierin jegliches Befestigungsmittel verstanden, dass dazu ausgestaltet ist, eine austauschbare Feinbearbeitungsmembran zum Feinbearbeiten am Werkzeugkopf zu befestigen und für einen Austausch zu lösen.

Der Werkzeugkopf des Feinbearbeitungswerkzeugs ist daher der austauschbaren Feinbearbeitungsmembran angepasst. Für eine Feinbearbeitungsmembran mit anderem Durchmesser kann es von Vorteil sein, wenn der Werkzeugkopf selbst austauschbar am Feinbearbeitungswerkzeug befestigt ist, sodass ein entsprechend passender Werkzeugkopf für die Feinbearbeitungsmembran mit anderem

Durchmesser leicht eingesetzt werden kann.

Vorzugsweise begrenzt der Werkzeugkopf werkzeugseitig einen Druckraum, der bei befestigter Feinbearbeitungsmembran werkstückseitig von der

Feinbearbeitungsmembran begrenzt wird. Der Druckraum ist dabei vorteilhafterweise werkzeugseitig über eine Druckleitung druckbeaufschlagbar. Das Befestigungsmittel ist dabei vorzugsweise dazu ausgestaltet, die Feinbearbeitungsmembran

umfangseitig umlaufend druckdicht und rutschfest am Werkzeugkopf zu befestigen. Vorzugsweise ist dieses Befestigungsmittel eine manuell auf den Werkzeugkopf auf- und abschraubbare Überwurfmutter, die mit einem ringförmigen Innenflansch einen ringförmig umlaufenden Befestigungsfalz der Feinbearbeitungsmembran, welcher zudem die Funktion eines Dichtungsrings hat, dichtend auf eine ringförmige

Dichtungskante am Werkzeugkopf drückt.

Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer zuvor beschriebenen auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran bereitgestellt mit den folgenden Schritten:

Benetzen einer Gewebelage mit einem fließfähigen Elastomer, Aufbringen eines Feinbearbeitungsmittelträgers auf das die Gewebelage benetzende fließfähige Elastomer,

Vernetzen des die Gewebelage benetzenden fließfähigen Elastomers, sodass das Elastomer verfestigt wird und dabei die Gewebelage sowie der Feinbearbeitungsmittelträger in dem Elastomer eingebettet werden.

Vorzugsweise liegt die Gewebelage zunächst als eine Gewebebahn vor, die über eine Walzenfördereinheit in Längsrichtung transportiert wird, wobei die Gewebebahn während des Transports mit dem fließfähigen Elastomer benetzt wird und der Feinbearbeitungsmittelträger in Form einer Bahn auf das fließfähige Elastomer auflaminiert wird, um eine Membranbahn zu erhalten. Dies erlaubt eine schnelle, kostengünstige, homogene serielle Herstellung von Feinbearbeitungsmembranen. Es ist von Vorteil, vor dem Auflaminieren des Feinbearbeitungsmittelträgers das fließfähige Elastomer dabei mittels eines Abstreifers, einer Walze und/oder eines Rakels flächig homogen und in kontrollierter Dicke auf der Gewebebahn zu verteilen, um eine definierte und homogene Dicke der Membranbahn zu erhalten. Nach dem Auflaminieren des Feinbearbeitungsmittelträgers wird das die Gewebebahn benetzende fließfähige Elastomer vorzugsweise mittels Druck- und

Temperaturwalzen vorzugsweise bei 150°C bis 200 °C vernetzt. Vorzugsweise wird anschließend die Feinbearbeitungsmembran aus der Membranbahn formgeprägt und ausgetrennt, beispielsweise ausgeschnitten oder ausgestanzt. Das Formprägen wird dabei vorzugsweise mit einem Prägestempel und vorzugsweise bei einer Temperatur von 150°C bis 200 °C durchgeführt. Durch das Formprägen der als einstückige Kompositware vorliegenden Feinbearbeitungsmembran können sehr starke

Wölbungen der Feinbearbeitungsmembran realisiert werden, ohne dass dabei befürchtet werden muss, dass der Feinbearbeitungsmittelträger Falten wirft bzw. beim Feinbearbeiten auf- oder abreißt.

Beim Formprägevorgang kann es zu einer Vervollständigung der Vernetzung kommen. Es hat sich gezeigt, dass der erste Vernetzungsschritt nicht zwangsläufig zu einer vollständigen Vernetzung führt, sondern zu einem Vernetzungsgrad von z.B. 80 %. Die vollständige Vernetzung kann dann z.B. bei den angegebenen

Temperaturen während der Formprägung erreicht werden. Die vollständige

Vernetzung ist vorteilhaft für die Formhaltigkeit der Feinbearbeitungsmembran. Je nach gewünschter Dicke und/oder Steifigkeit der Feinbearbeitungsmembran können zwei oder mehr Gewebelagen mit fließfähigem Elastomer benetzt werden. Dabei können die Gewebelagen zusammen benetzt werden, oder sie werden jeweils einzeln oder in Gruppen benetzt und anschließend die entsprechenden Elastomerschichten miteinander vernetzt. Auch in dieser Ausführungsform des Herstellungsverfahrens wird die Feinbearbeitungsmembran allerdings als eine einstückige Kompositware hergestellt.

Mit der erfindungsgemäßen Feinbearbeitungsmembran kann ein Verfahren zum Feinbearbeiten mindestens eines Werkstücks mit den folgenden Schritten

durchgeführt werden:

Befestigen einer ersten auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran an einem Werkzeugkopf eines Feinbearbeitungswerkzeugs, sodass die

Feinbearbeitungsmembran in befestigtem Zustand werkstückseitig einen druckbeaufschlagbaren Druckraum des Werkzeugkopfs druckdicht abschließt,

Beaufschlagen des Druckraums mit Druck,

Feinbearbeiten des mindestens einen Werkstücks in einem ersten

Feinbearbeitungsschritt,

Auswechseln der ersten auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran durch eine zweite auswechselbare Feinbearbeitungsmembran,

Beaufschlagen des Druckraums mit Druck, und

Feinbearbeiten des mindestens einen Werkstücks in einem zweiten

Feinbearbeitungsschritt.

Im Gegensatz zu bekannten Feinbearbeitungsverfahren, bei denen die

Feinbearbeitungsmembran zwischen zwei Feinbearbeitungsschritten nicht ausgewechselt wird, sondern fest mit dem Feinbearbeitungswerkzeug verbunden ist, wird beispielsweise bei abgenutztem Feinbearbeitungsmittelträger die auswechselbare Feinbearbeitungsmembran selbst ausgetauscht. Dies ist erheblich schneller, kostengünstiger und erlaubt eine größere Bandbreite von einsetzbaren Konturen von Feinbearbeitungsmembranen, insbesondere von Feinbearbeitungsmembranen mit starker Wölbung. Die Feinbearbeitungsmembran kann auch zusammen mit dem Werkzeugkopf manuell oder automatisiert ausgetauscht werden, sodass verschiedene Größen und/oder Formen von Feinbearbeitungsmembranen eingesetzt werden können.

Vorzugsweise wird während des ersten und/oder zweiten Feinbearbeitungsschritts der Innendruck in dem Druckraum mittels einer Druckregelung konstant gehalten und die Größe der mit einem zu bearbeitenden Werkstück in Kontakt stehenden Fläche mittels einer Regelung des Abstands zwischen Werkstückoberfläche und Werkzeugkopf und/oder der Anpresskraft der Feinbearbeitungsmembran auf die Werkstückoberfläche geregelt. Damit kann die Größe der feinbearbeiteten Fläche der

Werkstückoberfläche entsprechend dynamisch angepasst werden, ohne den Anpressdruck auf das Werkstück und damit die Abtragungsstärke zu verändern.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand der beiliegenden Figuren näher erläutert, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen. In den Figuren ist im Einzelnen zu erkennen:

Fig. 1 a: Eine perspektivische Ansicht auf eine bevorzugte Ausführungsform eines

Werkzeugkopfs eines Feinbearbeitungswerkzeugs mit einer bevorzugten Ausführungsform einer befestigten auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran;

Fig. 1 b: Eine perspektivische Ansicht mit ausgeschnittenem Sektor auf eine

bevorzugte Ausführungsform eines Werkzeugkopfs eines Feinbearbeitungswerkzeugs mit einer bevorzugten Ausführungsform einer befestigten auswechselbaren Feinbearbeitungsmembran;

Fig. 2: Eine schematische Darstellung der Bestandteile einer Membranbahn für die

Herstellung einer Feinbearbeitungsmembran;

Fig. 3: Eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform des

erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens einer Feinbearbeitungsmembran. Figuren 1 a und 1 b zeigen einen Werkzeugkopf 1 eines Feinbearbeitungswerkzeugs (nicht gezeigt), wobei der Werkzeugkopf 1 werkzeugseitig eine lösbare

Befestigungseinrichtung 3 für die Befestigung des Werkzeugkopfs 1 an einem stationären Feinbearbeitungswerkzeug wie etwa einer Polierspindel oder einer anderen Poliermaschine aufweist. Der Werkzeugkopf 1 weist zudem einen im

Wesentlichen rotationssymmetrischen Grundkörper 5 auf, der entlang seiner Längsachse eine durchgehende Druckleitung 7 aufweist. Das werkzeugseitige Ende 9 der Druckleitung 7 ist von einer O-Ring-Dichtung 11 umgeben, damit die Druckleitung 7 luftdicht mit einer Druckquelle eines Feinbearbeitungswerkzeugs verbunden werden kann. Das andere werkstückseitige Ende 13 der Druckleitung 7 mündet an einer werkstückseitigen Stirnfläche 15 des Grundkörpers 5 in einen Druckraum 17, der werkzeugseitig von der Stirnfläche 15 des Grundkörpers 5 begrenzt wird.

Werkstückseitig wird der Druckraum 17 durch eine an dem Werkzeugkopf 1 befestigte Feinbearbeitungsmembran 19 begrenzt. Die Feinbearbeitungsmembran 19 weist einen zentralen schalenförmigen Feinbearbeitungsabschnitt 21 auf, dessen Durchmesser im Wesentlichen dem Durchmesser der Stirnfläche 15 des Grundkörpers 5 des Werkzeugkopfs 1 entspricht. Die werkstückseitige Oberfläche 23 des Feinbearbeitungsabschnitts 21 ist konvex und die werkzeugseitige Oberfläche 25 des Feinbearbeitungsabschnitts 21 ist konkav geformt. An der konvexen Oberfläche 23 des Feinbearbeitungsabschnitts 21 ist ein Feinbearbeitungsmittelträger 27 in der Feinbearbeitungsmembran 19 integriert.

Umfangseitig weist die Feinbearbeitungsmembran 19 einen ringförmig umlaufenden L-förmigen Befestigungsfalz 29 auf, welcher zudem die Funktion eines

Dichtungsrings hat. Der Befestigungsfalz 29 ist mittels einer auf dem Grundkörper 5 aufgeschraubten oder aufgespannten Überwurfmutter 31 umfangseitig umlaufend druckdicht und rutschfest am Werkzeugkopf 1 befestigt. Die Überwurfmutter 31 weist dazu einen Innenflansch 33 auf, der den Befestigungsfalz 29 dichtend auf eine ringförmig am Grundkörper 5 verlaufende Dichtungskante 35 drückt.

Damit ist der Druckraum 17 druckdicht abgeschlossen und kann von einem

Feinbearbeitungswerkzeug über die Druckleitung 7 mit einem Fluid wie etwa Luft, Wasser oder Öl mit geregeltem Druck beaufschlagt werden. Damit wird über die Fläche des Feinbearbeitungsabschnitts 21 der Feinbearbeitungsmembran 19 ein homogenes, konstantes Druckprofil erreicht.

Durch seitliches Bewegen, Oszillieren und/oder Rotieren des Werkzeugkopfs 1 mittels eines Feinbearbeitungswerkzeugs relativ zu einer Oberfläche eines

Werkstücks (nicht gezeigt) bzw. Bewegen, Oszillieren und/oder Rotieren eines Werkstücks relativ zum Werkzeugkopf 1 kann bei definiertem Anpressdruck zwischen der Feinbearbeitungsmembran 19 und einem Werkstück, wobei der Anpressdruck dem geregelten Innendruck im Druckraum 17 entspricht, mit präzise reproduzierbarer Genauigkeit die Werkstückoberfläche feinbearbeitet werden. Dabei kann der

Werkzeugkopf 1 orthogonal oder winklig angestellt zur Werkstückoberfläche ausgerichtet sein.

Während des Feinbearbeitens kann über den Abstand des Werkzeugkopfs 1 zur Werkstückoberfläche und/oder über die Anpresskraft der Feinbearbeitungsmembran 19 auf die Werkstückoberfläche die Größe der feinbearbeiteten Fläche geregelt werden, wenn der Innendruck im Druckraum 17 über eine Druckregelung konstant gehalten wird. Damit kann die Größe der feinbearbeiteten Fläche der

Werkstückoberfläche entsprechend dynamisch angepasst werden, ohne den

Anpressdruck auf das Werkstück und damit die Abtragungsstärke zu verändern.

Fig. 2 zeigt schematisch den Aufbau einer Membranbahn 37, aus der in späteren Schritten einer bevorzugten Ausführungsform des Herstellungsverfahrens der Feinbearbeitungsmembran 19 formgeprägt und ausgetrennt wird. Die Membranbahn 37 weist eine unterseitig in einer Elastomerschicht 39 eingebetteten Gewebebahn 41 auf. Oberseitig ist eine Bahn 43 eines Feinbearbeitungsmittelträgers 27 in die Schicht 39 eines Elastomers 40 eingebettet. Die Unterseite entspricht später der Werkzeugseite, die den Druckraum 17 begrenzt. Die Oberseite entspricht der Werkstückseite, auf der ein Feinbearbeitungsmittel aufgebracht wird und die beim Feinbearbeiten mit einem Werkstück in Reibkontakt gebracht wird.

Fig. 3 zeigt schematisch einer bevorzugte Ausführungsform des Herstellungsverfahrens der Feinbearbeitungsmembran 19. Zunächst wird in einem ersten Schritt 101 ein Kautschuk wie etwa Epichlorhydrin-Kautschuk (ECO), Ethylen- Propylen-Dien-Kautschuk (EPDM), Nitrilkautschuk (NBR), Butylkautschuk (HR), Fluorkautschuk (FPM), Polyester/Ether-Polyurethan-Kautschuk (PUR) und/oder Ethylenvinylacetat-Kautschuk (EVA) als Rohmaterial bereitgestellt. Anschließend wird in Schritt 102 das Rohmaterial granuliert auf eine Partikelgröße von einigen

Millimetern. In einem Anmischschritt 103 wird das Granulat mit einem Vernetzer und einem Lösemittel versetzt und bei einer Prozesstemperatur von ca. 50 °C in einem Mischer 45 vermischt. Dabei wird ein fließfähiges Elastomer 40 erhalten, das in einem Rakelschritt 104 mit einem Rakel 49 gleichmäßig und mit definierter Dicke auf eine Gewebebahn 41 aufgebracht wird, die somit mit dem fließfähigen Elastomer 40 benetzt wird. Dabei wird mittels einer Walzenfördereinheit 51 die Gewebebahn 41 entlang ihrer Längsachse transportiert.

In einem folgenden Vernetzungs- und Laminierschritt 105 wird das die Gewebebahn 41 benetzende fließfähige Elastomer 40 mit einer Bahn 43 eines

Feinbearbeitungsmittelträgers 27 laminiert. Dabei wird kein Verbindungsmittel eingesetzt, sondern nur die Bahn 43 eines Feinbearbeitungsmittelträgers 27 auf das noch fließfähige Elastomer 40 aufgebracht. Über ein System 52 von Druck- und Temperaturwalzen, welches die Membranbahn 37 mit einem Druck von 100 bis 200 bar zusammenpresst und eine Prozesstemperatur von 150°C bis 200 °C aufweist, wird das fließfähige Elastomer 40 verfestigt, womit die Gewebebahn 41 sowie die Bahn 43 des Feinbearbeitungsmittelträgers 27 in dem Elastomer 40 eingebettet werden.

Anschließend wird in einem Präge- und Austrennschritt 106 die so als einstückige Kompositware in Form von Meterware erhaltene Membranbahn 37 mittels eines Prägestempels 53 mit konvexer Prägefläche 55 in eine im Wesentlichen konkave Prägefläche 57 eines unterliegenden Formkörpers 59 gepresst. Dabei hält ein

Niederhalter 61 die Membranbahn 37 umfangseitig um den Prägestempel 53 herum rutschfest auf dem unterliegenden Formkörper 59. Während des Formprägens wirkt eine Prozesstemperatur von 150 °C bis 200 auf die Membranbahn 37 ein, damit diese sich der konvexen Prägefläche 55 des Prägestempels 53 bzw. der konkaven Prägefläche 57 des unterliegenden Formkörpers 59 anpassen kann und eine entsprechende Form einnimmt. Anschließend wird mittels eines Stanzrings 63 die Feinbearbeitungsmembran 19 aus der formgeprägten Membranbahn 37 ausgestanzt. Bei dem Präge- und Austrennschritt 106 ergibt sich umfangseitig ein L-förmiger Befestigungsfalz 29 mit einem zylinderförmigen Abschnitt und einem ringförmigen Abschnitt.

In einem letzten Kontrollschritt 107 wird die Gesamthöhe, die Sickenhöhe und der Durchmesser des Feinbearbeitungsabschnitts 21 gemessen und geprüft, ob die Werte innerhalb von Tolerenzgrenzen liegen. Die Sickenhöhe bezeichnet hierbei die Länge des zylinderförmigen Abschnitts des Befestigungsfalzes 29.

Figur 4 zeigt eine fertig ausgeformte Feinbearbeitungsmembran 201 , deren

Oberfläche auf der dem hier nicht dargestellten Werkstück zugewandten Seite eine spiralförmige Struktur 202 aufweist. Bei dieser Struktur 202 handelt es sich um eine schmale Nut in der Membranoberfläche, die die Verteilung einer

Bearbeitungssuspension während des Bearbeitungsprozesses positiv beeinflussen kann. Die Struktur 202 kann während des Formens der Feinbearbeitungsmembran 201 , zum Beispiel während eines Tiefziehprozesses, eingebracht werden. Die Struktur kann bereits in der Prägefläche 57 des Formkörpers 59 vorgesehen sein (siehe Fig. 3). Nachträgliche Einbringungen der Struktur 202, zum Beispiel durch Stempel oder Matrize, sind ebenfalls denkbar. Es können auch alternative

Strukturformen sowie Kombinationen mehrerer Strukturen, zum Beispiel meridional verlaufende Schlitze oder Nuten vorgesehen werden.

Figur 5 zeigt eine weitere Feinbearbeitungsmembran 205 zusammen mit einem Zentrierring 206, der in Fig. 6 perspektivisch von unten dargestellt ist. Der

Zentrierring 206 wird zur besseren Positionierung der Feinbearbeitungsmembran 205 gegenüber dem Werkzeuggrundkörper 5 (siehe Figuren 1 a und 1 b) vorgesehen. Der Zentrierring 206 kann während des Formgebungsprozesses der

Feinbearbeitungsmembran 205 in die Feinbearbeitungsmembran 205 eingebracht werden. Hierzu kann der Zentrierring 206 in den Formkörper 59 (siehe

Fig. 3)eingelegt werden. Der Zentrierring 206 ist im Wesentlichen L-förmig mit einer zur Zentrierung dienenden Mantelfläche 207 auf der Innenseite eines Zylinderstücks 208 und einem rechtwinklig davon sich nach außen erstreckenden Radialstück 209. Kontaktflächen 210 und 211 des Zylinderstücks 208 bzw. des Radialstücks 209 können in geeigneter Weise strukturiert sein, um die Haftung zwischen dem

Zentrierring 206 und der Feinbearbeitungsmembran 205 zu erhöhen. Figur 6 zeigt den Zentrierring 206 mit Blick auf eine Dichtfläche 212 des

Radialstückes 209, die gleichzeitig zur axialen Positionierung der

Feinbearbeitungsmembran 206 dient.

Die vorliegende Erfindung erlaubt es, auch mit stark gewölbten Membranen (19) Werkstückoberflächen präzise reproduzierbar feinbearbeiten zu können. Außerdem wird ein Ab- oder Aufreißen des Feinbearbeitungsmittelträgers (27) vermieden und das Feinbearbeiten vereinfacht und beschleunigt.