ROBERT BOSCH, 70432 Stuttgart

Titel

Sensor und Verfahren zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom

Beschreibung

Die Erfindung betrifft einen Sensor und ein Verfahren zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom sowie die Verwendung eines solchen Sensors oder Verfahrens gemäß der in den Patentansprüchen näher definierten Art.

Stand der Technik

Aus dem Stand der Technik ist bekannt, dass die Konzentration von leitfähigen Teilchen, beispielsweise Rußpartikeln in einem Abgas durch Messung der durch

Teilchenanlagerung hervorgerufenen änderung der elektrischen Eigenschaften von zwei oder mehreren kammartig ineinander greifenden metallischen Elektroden (interdigitales Elektrodensystem) gemessen werden kann. Eine steigende Konzentration der sich auf der Sensoroberfläche anlagernden Teilchen führt zu einer Widerstands- bzw. Spannungsabnahme zwischen den Elektroden. Bei einer konstant angelegten Spannung geht dies mit einer Zunahme des Stromflusses einher. Zur Bestimmung der Teilchenkonzentration bzw. des Teilchenmassenstroms wird die änderung des Stromes bzw. des Widerstandes des Elektrodensystems gemessen und mit der angelagerten Teilchenmasse korreliert. Alternativ dazu kann die angelagerte Teilchenmasse auch durch die Definition eines Schwellwertes (Auslöseschwelle) und Messung einer Sammelzeit bis zum Erreichen dieses Schwellwertes bestimmt werden. Sensoren, die auf einem derartigen Prinzip beruhen, welches als sammelndes Prinzip einzuordnen ist, werden als resistive Partikelsensoren bezeichnet. Zur Regeneration des Sensorelementes wird das Sensorelement bisher mit Hilfe einer Heizvorrichtung von den angelagerten Teilchen befreit. Derartige Sensoren werden von der DE 101 493 33 Al sowie der WO

2003006976 A2 beschrieben.

Die Leiterbahnen der Heizvorrichtung und der Temperaturmessvorrichtung bestehen meist aus Platin, was mit hohen Materialkosten verbunden ist. Zudem sind Teilchensensoren üblicherweise aus mehrlagigen, mindestens zwei Schichten umfassenden, Keramikstrukturen aufgebaut, welche ebenfalls mit hohen Materialkosten und zudem hohen Herstellungskosten verbunden sind. Weiterhin umfassen herkömmliche Sensoren meist fünf Kontakte zur Verbindung des Elektrodensystems, der Heizvorrichtung und einer Temperaturvorrichtung mit einer Mess- und Steuerelektronik, wodurch auch ein meist fünfadriger Kabelbaum benötigt wird.

Offenbarung der Erfindung

Vorteile der Erfindung

Ein erfindungsgemäßer Sensor zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom, der ein Elektrodensystem mit mindestens zwei Elektroden und eine elektrisch leitfähige Schicht umfasst und dadurch gekennzeichnet ist, dass die elektrisch leitfähige Schicht mindestens zwei Elektroden des Elektrodensystems elektrisch leitend kontaktiert und die elektrisch leitfähige Schicht bei Raumtemperatur einen Widerstandswert von > 0,2 kω bis < 100

Mω aufweist, hat den Vorteil, dass Material-, Herstellungs- und Systemkosten gesenkt werden können. Dies liegt darin begründet, dass durch das Vermeiden einer separaten Heiz- und/oder Temperaturmessvorrichtung kostenintensives Platin eingespart, die Anzahl der Kontakte und Keramikschichten reduziert und somit der Aufbau des Sensors vereinfacht wird. Beispielsweise kann bei einem erfmdungsgemäßen Sensor die Anzahl der Kontakte auf zwei bis vier Kontakte reduziert werden. Darüber hinaus findet in einem erfindungsgemäßen Sensor die zur Regeration des Sensors notwendige Wärmeentwicklung größtenteils in der Schicht statt, welche die zu regenerierende Fläche darstellt. Daher ist, im Gegensatz zu bekannten Sensoren, die Entfernung zwischen der heizenden Struktur, welche erfindungsgemäß eine elektrisch leitfähige Schicht und damit elektrisch leitend verbundene Elektroden umfasst, und der zu regenerierenden Fläche viel kleiner. Dies hat den Vorteil, dass eine gleichmäßige Erwärmung gewährleistet wird, Energiekosten, Regenerations- und Abkühlzeiten des Sensors gesenkt werden sowie die Messbereitschaft des Sensors erhöht wird.

Der erfindungsgemäße Sensor kann beispielsweise in einem Abgasstrom eines Kraftfahrzeuges mit einem Dieselmotor oder einer ölheizung oder in einem Messgerät zur Kontrolle der Luftqualität oder in einem Werkstattmessgerät zur Abgasuntersuchung eingesetzt werden. Da in naher Zukunft der Partikelausstoß, insbesondere von Fahrzeugen im Fahrbetrieb nach dem Durchlaufen eines Motors bzw. Dieselpartikelfilters

(DPF), per gesetzlicher Vorschrift überwacht werden muss (On Board Diagnosis, OBD), ist die überwachung des Partikelausstoßes von besonderem Interesse. Die vorliegende Erfindung bietet neben einer Möglichkeit einer derartigen überwachung des Partikelausstoßes den Vorteil einer Beladungsprognose von Dieselpartikelfiltern. Eine Beladungsprognose von Dieselpartikelfiltern wird benötigt, um eine hohe

Systemsicherheit auch für den Einsatz von kostengünstigen Filtermaterialien zu erreichen.

Die Anwendung des beschriebenen Sensors ist nicht auf die Detektion von Rußpartikeln in Abgasen von Verbrennungsmotoren beschränkt. Der Sensor kann allgemein zur

Detektion von Teilchen, die die elektrische Leitfähigkeit der erfindungsgemäßen elektrisch leitfähigen Schicht bei Anlagerung und/oder Einlagerung verändern, beispielsweise in chemischen Herstellungsprozessen, Abluftanlagen oder Abluftnachbehandlungsanlagen, eingesetzt werden.

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Gegenstandes sind der Beschreibung, der Zeichnung und den Patentansprüchen zu entnehmen.

Zeichnungen

Die vorliegende Erfindung wird durch die im Folgenden gezeigten und diskutierten Figuren und die nachfolgende Beschreibung genauer erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die Figuren nur beschreibenden Charakter haben und nicht dazu gedacht sind, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken.

Es zeigen

Figur 1 eine Draufsicht auf eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors,

- A -

Figur 2a einen Querschnitt einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors,

Figur 2b einen Querschnitt einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors,

Figur 2c einen Querschnitt einer dritten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors,

Figur 2d einen Querschnitt einer vierten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors,

Figur 2e einen Querschnitt einer fünften Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors,

Beschreibung der Zeichnungen

Figur 1 zeigt eine Draufsicht auf eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors 11 umfassend ein Elektrodensystem 1 mit zwei kammartig ineinander greifenden

Elektroden (Interdigitalelektroden) 2, 3, eine elektrisch leitfähige Schicht 4 und ein Trägerelement 5. Die Elektroden 2, 3 weisen jeweils mehrere Elektrodenfinger auf. Dabei weisen die Elektrodenfinger der einen Elektrode 2 das gleiche elektrische Potential. Entsprechendes gilt für die Elektrodenfinger der Elektrode 3. Zwischen den Elektrodenfingergruppen der Elektroden 2 und 3 besteht hingegen eine Potentialdifferenz.

Das Elektrodensystem 1 und die elektrisch leitfähige Schicht 4 des Sensors 11 dienen in Abhängigkeit von einer an das Elektrodensystem angelegten Spannung als Messvorrichtung zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom und/oder als Heizvorrichtung zur Regeneration des Sensors und/oder als Temperaturmessvorrichtung zur Bestimmung der Temperatur des Sensors. Während des Betriebs als Messvorrichtung wird an die Elektroden 2, 3 eine Messspannung angelegt. Durch das resultierende elektrische Feld lagern sich vermehrt Teilchen an und schließen mit steigernder Teilchenzahl die Elektroden 2, 3 kurz, wobei aus dem damit einhergehenden Spannungsabfall Rückschlüsse auf die Teilchenmenge gezogen werden können. Wenn die Menge der angelagerten Teilchen einen Schwellwert erreicht, wird der Sensor durch

Heizen von den angelagerten Teilchen befreit bzw. regeneriert. Zur Regeneration wird

eine Regenerationsspannung, die deutlich höher ist als die Messspannung, an die Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 angelegt, die einen zur Heizung ausreichenden Strom durch die elektrisch leitfähige Schicht 4 hervorruft und damit die zur Regeneration des Sensors benötigte Heizleistung und hohen Temperaturen realisiert. Darüber hinaus lassen sich, wenn das Elektrodensystem 1 und die elektrisch leitfähige Schicht 4, beispielsweise nach der Regeneration, frei von angelagerten Teilchen sind, nach einer zuvor durchgeführten Kalibrierung, aus dem Temperaturverhalten des Widerstands des Elektrodensystem 1 und der elektrisch leitfähigen Schicht 4, Rückschlüsse auf die Temperatur des Sensors ziehen und das Elektrodensystem 1 und die elektrisch leitfähige Schicht 4 können somit als Temperaturmessvorrichtung dienen. Die in Figur 1 gezeigt gestrichelte Linie markiert die Stelle der in den Figuren 2a bis 2e gezeigten Querschnitte.

Figur 2a zeigt einen Querschnitt einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors 11 umfassend ein Elektrodensystem 1 mit zwei kammartig ineinander greifenden Elektroden 2, 3, eine elektrisch leitfähige Schicht 4 und ein Trägerelement 5. Im Rahmen dieser Ausführungsform ist die elektrisch leitfähige Schicht 4 über dem Elektrodensystem 1 angeordnet und füllt die Bereiche zwischen den einzelnen Fingern der Elektroden 2, 3 des

Elektrodensystems 1 aus, sodass die elektrisch leitfähige Schicht 4 gemeinsam mit den Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 eine einheitliche Schicht darstellen.

Figur 2b zeigt einen Querschnitt einer zweiten

Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors 11 umfassend ein Elektrodensystem 1 mit zwei kammartig ineinander greifenden Elektroden 2, 3, eine elektrisch leitfähige Schicht 4 und ein Trägerelement 5. Im Rahmen dieser Ausführungsform ist die elektrisch leitfähige Schicht 4 ebenfalls über dem Elektrodensystem 1 angeordnet. Jedoch füllt die elektrisch leitfähige Schicht 4 die Bereiche zwischen den einzelnen Fingern der Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 nicht wie in Fig. 2a vollständig aus, sondern folgt der durch die Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 vorgegebenen Kontur.

Figur 2c zeigt einen Querschnitt einer dritten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors 11 umfassend ein Elektrodensystem 1 mit zwei kammartig ineinander greifenden Elektroden 2, 3, eine elektrisch leitfähige Schicht 4 und ein Trägerelement 5. Im Rahmen dieser Ausführungsform ist die elektrisch leitfähige Schicht 4 unter dem Elektrodensystem 1 angeordnet.

Figur 2d zeigt einen Querschnitt einer vierten

Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors 11 umfassend ein Elektrodensystem 1 mit zwei kammartig ineinander greifenden Elektroden 2, 3, eine elektrisch leitfähige Schicht 4, ein Trägerelement 5 und eine isolierende Schicht 6. Im Rahmen dieser Ausführungsform ist die elektrisch leitfähige Schicht 4 ebenfalls unter dem Elektrodensystem 1 angeordnet, jedoch ist in die elektrisch leitfähige Schicht 4 eine isolierende Schicht 6 eingebettet, welche die elektrisch leitfähige Schicht 4 teilweise elektrisch von den Elektroden 2, 3 trennt. Dabei ist die isolierende Schicht 6 derart angeordnet, dass sie die innen liegenden Finger der Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 vollständig von der elektrisch leitfähigen Schicht 4 trennt, den äußeren Fingern, die jeweils zu unterschiedlichen Elektroden 2, 3 gehören, den Kontakt mit der elektrisch leitfähigen Schicht 4 jedoch ermöglicht. Obwohl die Summe der Finger der Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 im Allgemeinen sowohl einer geraden als auch ungraden Zahl entsprechen kann, ist es von Vorteil, wenn die Summe der Finger der Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 einer geraden Zahl entspricht, da die elektrisch leitfähige Schicht 4 über die äußeren Elektrodenfinger kontaktiert und eine gleichmäßige Erwärmung, insbesondere auch an den Rändern, gewährleistet werden kann. Auf diese Weise kann trotz der Anwesenheit einer isolierenden Schicht 6 beim Anlegen einer hohen

Spannung an die Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 ein

zum Erzeugen der Heiztemperatur notwendiger Strom von einer Elektrode 2, 3 durch die elektrisch leitfähige Schicht 4 zu der anderen Elektrode 2, 3 fließen.

Figur 2e zeigt einen Querschnitt einer fünften

Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors 11 umfassend ein Elektrodensystem 1 mit zwei kammartig ineinander greifenden Elektroden 2, 3, eine elektrisch leitfähige Schicht 4 und ein Trägerelement 5. Im Rahmen dieser Ausführungsform ist die elektrisch leitfähige Schicht 4 zwischen den Fingern der Elektroden 2, 3 des Elektrodensystems 1 angeordnet.

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Sensor zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom umfassend

- ein Elektrodensystem mit mindestens zwei Elektroden und

- eine elektrisch leitfähige Schicht, dadurch gekennzeichnet, dass - die elektrisch leitfähige Schicht mindestens zwei Elektroden des

Elektrodensystem elektrisch leitend kontaktiert und

- die elektrisch leitfähige Schicht bei Raumtemperatur einen Widerstandswert von > 0,2 kω bis < 100 Mω aufweist.

Dabei werden unter dem Begriff „Teilchen" im Sinn der vorliegenden Erfindung feste und/oder flüssige leitfähige Teilchen, beispielsweise leitfähige Partikel und/oder Tröpfchen, insbesondere Rußpartikel, verstanden.

Dabei wird der Widerstandswert der elektrisch leitfähigen Schicht durch Vergleich des

Widerstandswertes eines mit Teilchen beladenen Sensorelementes ohne elektrisch leitfähige Schicht mit dem Widerstandswert eines unbeladenen Sensorelementes mit elektrisch leitfähiger Schicht , welches den gleichen Aufbau wie das Sensorelement ohne elektrisch leitfähige Schicht aufweist, ermittelt, wobei die Widerstandswerte in beiden Fällen durch das gleiche Messprinzip bestimmt werden.

Da der Widerstandswert der elektrisch leitfähigen Schicht von der Geometrie des Elektrodensystems abhängig ist, muss die Ausgestaltung der elektrisch leitfähigen Schicht und die Auswahl des elektrisch leitfähigen Materials auf das entsprechende Elektrodensystem angepasst werden.

Dies kann zum einen empirisch erfolgen, das heißt indem zunächst eine elektrisch leitfähige Schicht eines elektrisch leitfähigen Materials mittels Siebdruckverfahren aufgetragen, gegebenenfalls gesintert, und der resultierende Widerstandswert gemessen wird. Falls der Widerstandswert der elektrisch leitenden Schicht nicht in dem erfindungsgemäßen Widerstandsbereich liegt, kann beispielsweise einerseits das elektrisch leitfähige Material verändert werden oder andererseits die Schichtdicke durch das Auftragen weiteren elektrisch leitfähigen Materials sukzessiv vergrößert werden bis ein Widerstandswert, der in dem erfindungsgemäßen Widerstandsbereich liegt, erreicht wird. Zum anderen kann die Ausgestaltung einer elektrisch leitfähigen Schicht mit einem erfindungsgemäßen Widerstandswert zumindest näherungsweise über mathematische

Methoden bestimmt werden.

Die elektrisch leitfähige Schicht kann bei Raumtemperatur einen Widerstandswert von > 0,3 kω bis < 10 Mω, beispielsweise von > 0,4 kω bis < 1 Mω oder von > 0,5 kω bis < 500 kω, insbesondere von > 10 kω bis < 150 kω, aufweisen.

Vorzugsweise wird der Widerstandswert der elektrisch leitfähigen Schicht derart gewählt, dass der Widerstandswert eines mit der elektrisch leitfähigen Schicht versehenen Sensors dem Minimalwiderstandswert eines mit den zu detektierenden Teilchen beladenen Sensors gleicher Geometrie ohne elektrisch leitfähige Schicht kurz vor Beginn der Regeneration entspricht.

Der Minimalwiderstandswert der zu detektierenden Teilchen lässt sich durch die Anlagerungsspannung eines Teilchensensors ohne elektrisch leitfähige Schicht und den Wert des Stromflusses, der kurz vor der Regeneration durch die Teilchen fließt bestimmen.

Beispielsweise, wenn bei einem herkömmlichen Rußsensor ohne elektrisch leitfähige Schicht bei einer Anlagerungsspannung von 30 V ein Stromfluss durch die Rußteilchen von bis zu einigen mA, insbesondere von 1 mA, vorliegt, ergibt sich aus 30 V und 1 mA ein minimaler Rußwiderstand von 30 kω. Im Fall eines derartigen Sensors könnte die

elektrisch leitfähige Schicht beispielsweise einen Widerstandswert von 30 kω aufweisen. Bei der Teilchenmessung wird der Rußteilchenwiderstand dem Widerstand der elektrisch leitfähigen Schicht parallel geschaltet, sodass sich ein Gesamtwiderstand von 15 kω ergibt, was bei einem Gesamtstromfluss von 2 mA eine Leistung von 0,06 W zur Folge hat. Diese Leistung reicht jedoch nicht aus, um die Rußteilchen zu desorbieren und/oder zu verbrennen.

Daher beeinflusst eine erfindungsgemäße elektrisch leitfähige Schicht die eigentliche Teilchenmessung nicht oder kaum; jedoch kann die elektrisch leitfähige Schicht im später erläuterten erfindungsgemäßen Verfahren beim Anlegen einer höheren Spannung dazu genutzt werden, die Teilchen zu desorbieren und/oder zu verbrennen.

Darüber hinaus fungiert eine elektrisch leitfähige Schicht mit einem Widerstandswert der dem Minimalwiderstandswert der zu detektierenden Teilchen entspricht nicht als Strombegrenzung, weshalb der Signalhub eines erfindungsgemäßen Sensors in etwa dem

Signalhub eines unbeschichteten Sensors entspricht.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist die elektrisch leitfähige Schicht beispielsweise über, unter und/oder zwischen den Elektroden des Elektrodensystems angeordnet.

Dabei kann die elektrisch leitfähige Schicht über dem Elektrodensystem angeordnet sein und die Bereiche zwischen den Elektroden, insbesondere den Elektrodenfingern, des Elektrodensystems vollständig ausfüllen, sodass die elektrisch leitfähige Schicht gemeinsam mit den Elektroden des Elektrodensystems eine einheitliche Schicht ausbildet. Die elektrisch leitfähige Schicht kann jedoch auch über dem Elektrodensystem angeordnet sein und der durch die Elektroden des Elektrodensystems vorgegebenen, beispielsweise burgzinnen-förmigen, Kontur folgen.

Ist die elektrisch leitfähige Schicht unter dem Elektrodensystem angeordnet, so kann die elektrisch leitfähige Schicht eine einheitliche Schicht unter dem

Elektrodensystem ausbilden oder das Elektrodensystem kann

zumindest teilweise in den oberen Bereich der darunter liegenden elektrisch leitfähigen Schicht eingebettet sein.

Die elektrisch leitfähige Schicht kann jedoch auch ausschließlich zwischen den Elektroden, insbesondere den Elektrodenfingern, des Elektrodensystems angeordnet sein. Obwohl im Rahmen der vorliegenden Erfindung die Summe von Elektrodenfingern der Elektroden des Elektrodensystems im Allgemeinen sowohl einer geraden als auch ungraden Zahl entsprechen kann, ist es von Vorteil, wenn die Summe von

Elektrodenfinger der Elektroden des Elektrodensystems einer geraden Zahl entspricht. Dies liegt darin begründet, dass die elektrisch leitfähige Schicht über die äußeren Elektrodenfinger kontaktiert und eine gleichmäßige Erwärmung, insbesondere auch an den Rändern, gewährleistet werden kann. Im Rahmen einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weisen die Elektroden des Elektrodensystems daher eine gerade Anzahl von Elektrodenfingern auf.

Beispielsweise weist die elektrisch leitfähige Schicht eine spezifische elektrische Leitfähigkeit bei Raumtemperatur von > 10 ^" S/m bis < 10 S/m, beispielsweise von > 10 ^" S/m bis < 1 S/m, insbesondere von > 10 ^" S/m bis < 10 ^" S/m, auf.

Beispielsweise umfasst die elektrisch leitfähige Schicht dotiertes Zirkoniumoxid oder undotiertes Zirkoniumoxid mit einer Korngröße im nm-Bereich, dotiertes Aluminiumoxid, dotiertes oder undotiertes Rutheniumoxid, dotiertes oder undotiertes Indiumoxid, Siliciumcarbid, nitridgebundenes Siliciumcarbid, nitridgebundenes Siliciumaluminiumcarbid und/oder ein Delafossit. Insbesondere umfasst die elektrisch leitfähige Schicht undotiertes Zirkoniumdioxid mit einer Korngröße im nm-Bereich oder Yttrium-dotiertes Zirkoniumdioxid, Fe ₂ ü3-, MnO- und/oder MgO-dotiertes Aluminiumoxid, Rutheniumdioxid, zinndotiertes Indiumoxid

(beispielsweise In ₂ O ₃ :SnO ₂ ), Siliciumcarbid, nitridgebundenes

Siliciumcarbid, nitridgebundenes Siliciumaluminiumcarbid und/oder ein Delafossit der allgemeinen Formel AMO ₂ , in der A beispielsweise für Cu und/oder Ag und M beispielsweise für Al, Ga und/oder In steht.

Die mindestens zwei Elektroden des Elektrodensystems können kammartig ineinander greifen. Beispielsweise handelt es sich bei den Elektroden des Elektrodensystems um Interdigitalelektroden . Ein interdigitales Elektrodensystem aus mindestens zwei Interdigitalelektroden kann auf einfache Weise durch Verfahren wie Siebdruckverfahren auf eine darunter liegenden Schicht, beispielsweise auf eine elektrisch leitfähige Schicht, aufgedruckt werden. Wenn es sich bei den Elektroden des Elektrodensystems um Interdigitalelektroden handelt, liegen diese daher zweckmäßigerweise in einer Ebene. Bei dem Elektrodenmaterial handelt es sich beispielsweise um Metalle wie Platin, Gold oder Kupfer, wobei Platin bevorzugt wird. Vorzugsweise weist das Elektrodensystem eine Schichtdicke in einem Bereich von > 1 μm bis ≤ 100 μm, beispielsweise von > 2 μm bis ≤ 50 μm, insbesondere von ≥ 5 μm bis ≤ 40 μm, auf.

Im Rahmen einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst der erfindungsgemäße Sensor weiterhin eine isolierende Schicht, welche die elektrisch leitfähige

Schicht von den Elektroden des Elektrodensystems teilweise elektrisch trennt. Eine „isolierende Schicht" im Sinn der vorliegenden Erfindung weist bei Raumtemperatur einen elektrischen Widerstand von >> 100 Mω auf. Beispielsweise umfasst eine erfindungsgemäße Schicht ein Material mit einer

—R spezifischen Leitfähigkeit bei Raumtemperatur von < 10 S/m. Beispielsweise umfasst die erfindungsgemäße isolierende Schicht ein Aluminiumoxid, insbesondere Aluminiumdioxid. Vorzugsweise weist die isolierende Schicht eine Schichtdicke in einem Bereich von ≥ 1 μm bis ≤ 200 μm, beispielsweise von

> 10 μm bis ≤ 100 μm, insbesondere von > 20 μm bis ≤ 60 μm, auf .

Dabei ist die isolierende Schicht beispielsweise zwischen dem Elektrodensystem und der elektrisch leitfähigen Schicht angeordnet. Die isolierende Schicht kann in die elektrisch leitfähige Schicht eingebettet sein, sodass die elektrisch leitfähige und die isolierende Schicht eine einheitliche Schicht bilden. Beispielsweise ist die isolierende Schicht derart angeordnet, dass sie die innen liegenden Finger der Elektroden des Elektrodensystems vollständig von der elektrisch leitfähigen Schicht trennt, den äußeren Fingern, die jeweils zu unterschiedlichen Elektroden gehören, den Kontakt mit der elektrisch leitfähigen Schicht jedoch ermöglicht. Auf diese Weise kann beim Anlegen einer hohen Spannung an die Elektroden des Elektrodensystems trotz der Anwesenheit einer isolierenden Schicht ein zum Erzeugen der Heiztemperatur notwendiger Strom von einer Elektrode durch die elektrisch leitfähige Schicht zu der anderen Elektrode fließen.

Im Rahmen einer weitern Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst der erfindungsgemäße Sensor weiterhin eine Trägerschicht, insbesondere eine Trägerfolie. Beispielsweise umfasst die erfindungsgemäße Trägerschicht ein Aluminiumoxid und/oder ein undotiertes oder dotiertes Zirkoniumoxid. Insbesondere umfasst die erfindungsgemäße Trägerschicht Aluminiumdioxid und/oder undotiertes oder Yttrium-dotiertes Zirkoniumdioxid. Beispielsweise weist die Trägerschicht eine Schichtdicke in einem Bereich von ≥ 100 μm bis ≤ 2,5 mm auf. Im Rahmen einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung fungiert die Trägerschicht zusätzlich als elektrisch leitfähige Schicht oder isolierende Schicht. Beispielsweise fungiert eine dotiertes oder undotiertes Zirkoniumoxid, insbesondere Zirkoniumdioxid, umfassende Trägerschicht als elektrisch leitfähige Schicht und eine

Aluminiumoxid, insbesondere Aluminiumdioxid, umfassende Trägerschicht als isolierende Schicht.

Ein erfindungsgemäßer Sensor umfasst vorteilhafterweise keine separate Heizvorrichtung zur Regeneration des Sensors. Dies liegt darin begründet, dass durch das Anlegen einer hohen Spannung an die Elektroden des Elektrodensystems ein zur Heizung ausreichender Stromfluss durch die elektrisch leitfähige Schicht hervorgerufen wird, der die zur Regeneration des Sensors benötigten hohen Temperaturen realisiert. Dabei findet hauptsächlich eine Erwärmung der Elektroden und der elektrisch leitfähigen Schicht statt. Folglich wird hauptsächlich der von angelagerten Teilchen zu befreiende Bereich erwärmt, was den Vorteil hat, dass Energiekosten, Aufwärm- und Abkühlzeiten gesenkt werden und somit die Messbereitschaft des Sensors erhöht wird. Die hohen Spannungen zwischen den Elektroden des Elektrodensystems können beispielsweise durch eine Wandlerschaltung generiert werden.

Im Rahmen einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das Elektrodensystem in Kombination mit der elektrisch leitfähigen Schicht auch als Temperaturmessvorrichtung zur Bestimmung der Temperatur des Sensors verwendet werden. Dabei kann die Bestimmung der Temperatur durch eine Widerstandsmessung und Korrelation/Vergleich der gemessenen Widerstandswerte mit den im Rahmen einer zuvor durchgeführten Kalibrierung gemessenen temperaturabhängigen Widerstandswerten erfolgen. Zweckmäßigerweise sollte der Widerstandswert des Elektrodensystems und der elektrisch leitfähigen Schicht während der Temperaturmessung nicht durch andere Faktoren als die Temperatur, wie angelagerte Teilchen, beeinflusst werden. Vorzugsweise findet die Bestimmung der Temperatur des

Sensors daher zu einem Zeitpunkt statt, an dem der Sensor frei von angelagerten Teilchen ist. Beispielsweise erfolgt die Bestimmung der Temperatur nach oder während der Regeneration des Sensors.

Da im Rahmen der vorliegenden Erfindung das Elektrodensystem in Kombination mit der elektrisch leitfähigen Schicht als Messvorrichtung zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom, als Heizvorrichtung zur Regeneration des Sensors und/oder als Temperaturmessvorrichtung zur Bestimmung der Temperatur des Sensors verwendet werden kann, werden anstelle von üblicherweise vier bis sechs Kontakten zur Verbindung einer Messvorrichtung, einer separate Heizvorrichtung und/oder einer

Temperaturmessvorrichtung mit einer Spannungsversorgungs-, Spannungsmess-,

Strommess- und/oder Steuervorrichtung nur zwei Kontakte für den Betrieb des Elektrodensystems und der elektrisch leitfähigen Schicht als Messvorrichtung, Heizvorrichtung und/oder Temperaturmessvorrichtung benötigt.

Vorteilhafterweise wird daher in einem erfindungsgemäßen Sensor an das

Elektrodensystem eine Spannung angelegt, sodass das Elektrodensystem und die elektrisch leitfähige Schicht in Abhängigkeit von der an das Elektrodensystem angelegten Spannung

- als Messvorrichtung zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom und/oder - als Heizvorrichtung zur Regeneration des Sensors und/oder

- als Temperaturmessvorrichtung zur Bestimmung der Temperatur des Sensors dienen.

Es ist im Rahmen einer weiteren Ausführungsform der Erfindung jedoch ebenso möglich, dass der erfindungsgemäße Sensor eine, insbesondere separate, Temperaturmessvorrichtung umfasst.

Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom mit einem erfindungsgemäßen Sensor, wobei in einer Messphase an das Elektrodensystem eine Messspannung angelegt wird und der sich durch Anlagerung von Teilchen einstellende Stromfluss, Spannungsabfall und/oder elektrische Widerstand gemessen und als Maß für die Konzentration und/oder den Massenstrom der Teilchen ausgegeben wird.

Im Rahmen einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden in einer an die Messphase anschließenden Regenerationsphase die angelagerten Teilchen teilweise oder vollständig entfernt, indem an das Elektrodensystem eine Regenerationsspannung angelegt wird, die höher als die Messspannung ist.

Dabei beruht die Erfindung auf dem Prinzip, dass sich durch das Anlegen einer hohen Regenerationsspannung ein Stromfluss durch die elektrisch leitfähige Schicht einstellt, der ausreicht, die elektrisch leitfähige Schicht so stark zu erwärmen, dass die

angelagerten Teilchen teilweise oder vollständig entfernt, insbesondere desorbiert und/oder verbrannt, werden.

Vorteilhafterweise werden die Messphase und die Regenerationsphase alternierend wiederholt werden.

Im Rahmen einer bevorzugten Ausführungsform des erfmdungsgemäßen Verfahrens ist die Regenerationsspannung 10- bis 1000-mal, beispielsweise 20- bis 500-mal oder 50- bis 150-mal, insbesondere 80- bis 120-mal, höher als die Messspannung.

Vorzugsweise wird die Höhe der Regenerationsspannung so eingestellt, dass die durch das Anlegen der Regenerationsspannung umgesetzte Regenerationsleistung 100- bis 1.000.000-mal, beispielsweise 400- bis 250.000-mal oder 2500- bis 22500-mal, insbesondere 6400- bis 14400-mal, höher ist als die am Ende der Messphase bei angelegter Messspannung umgesetzte Messleistung.

In der Messphase ist zu beachten, dass eine Messspannung angelegt wird, die nicht ausreicht angelagerte Teilchen durch Erwärmung zu entfernen. Zweckmäßigerweise kann die Messspannung in einem Bereich von > 0,1 V bis < 100 V, beispielsweise in einem Bereich von > 1 V bis < 80 V, insbesondere in einem Bereich von > 25 V bis < 60 V liegen. Die am Ende der Messphase bei angelegter Messspannung umgesetzte Messleistung kann in einem Bereich von > 0,001 mW bis < 200 mW, beispielsweise in einem Bereich von > 0,005 mW bis < 100 mW, insbesondere in einem Bereich > 0,01 mW bis < 60 mW, liegen.

Da sich die elektrisch Leitfähigkeit und der elektrische Widerstand der elektrisch leitfähigen Schicht aufgrund von äußeren Einflüssen, wie Temperatur und Alterung des Schichtmaterials, verändern, wird im Rahmen einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die Höhe der Regenerationsspannung dahingehend variiert, dass das Verhältnis der Regenerationsleistung zur Messleistung konstant ist.

Im Rahmen einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann, um die Temperatur, beispielsweise zur Begrenzung der Regenerationstemperatur, zu bestimmen, während der Regenerationsphase eine Widerstandsmessung durchgeführt und der daraus resultierende Widerstandswert mit einer zuvor durchgeführten

Temperaturabhängigkeitsuntersuchung des Widerstandes verglichen werden.

Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist die Verwendung eines erfindungsgemäßen Sensors und/oder die Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens in einem Werkstattmessgerät zur Abgasuntersuchung oder in einem Messgerät zur Kontrolle der Luftqualität oder zur überwachung der Betriebsweise eines

Verbrennungsmotors, beispielsweise eines Dieselmotors, oder einer Verbrennungsanlage, beispielsweise einer ölheizung, oder zur überwachung der Funktionsfähigkeit eines Partikelfilters und/oder des Beladungszustandes eines Partikelfilters oder zur überwachung von chemischen Herstellungsprozessen, Abluftanlagen und/oder Abluftnachbehandlungsanlagen.