Bei der Fabrikation von Wafern wird eine auf den Wafer aufge- brachte und belichtete Photoresistmaske mittels einer Ent- wicklerflüssigkeit entwickelt. Ein bekannter Entwickler ba- siert auf einer 2,5% Lösung von Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) in Wasser, wobei der Lösung in geringer Menge ein Ten- sid beigesetzt ist. Das Tensid hat die Eigenschaft, die Grenzflächenspannung der Entwicklerlösung auf einen geeigne- ten, definierten Wert herabzusetzen.

Die Menge von in einer Waferfabrik benötigter Entwicklerlö- sung ist beträchtlich : Für die Entwicklung einer Photore- sistmaske auf einem einzigen Wafer werden etwa 50 ml Entwick- lerlösung benötigt. Gegenwärtig umfaßt die Herstellung eines fertigen Wafers ungefähr 20 Lithographieschritte, was bedeu- tet, daß auch 20 Entwicklungsschritte ausgeführt werden müs- sen. Eine Waferfabrik mit einer Produktion von 10.000 Wafern pro Woche benötigt daher in der Woche etwa 10.000 Liter Ent- wicklerflüssigkeit. Die Kosten für den Antransport der Ent- wicklerflüssigkeit sind somit beträchtlich.

Es wurde bereits vorgeschlagen, eine TMAH-Lösung erhöhter Konzentration (beispielsweise 25%) anzuliefern und erst in der Fabrik auf die gewünschte Endkonzentration zu verdünnen.

Das hierfür erforderliche deionisierte und hochreine Wasser ist in jeder Waferfabrik vorhanden. Durch diese Maßnahme ließe sich eine Reduzierung der Transportkosten erreichen.

Dabei tritt in der Praxis jedoch das Problem auf, daß das Tensid in einer derartigen konzentrierten Entwicklerlösung bei Normaltemperatur nicht lösbar ist. Das Tensid fällt in der konzentrierten Lösung aus, d. h. assoziiert zu unlöslichen Aggregaten, die sich an Behälterwandungen absetzen können.

Aus diesem Grund ist es nicht möglich, das Tensid in einer konzentrierten TMAH-Lösung zu transportieren.

Prinzipiell würde die Möglichkeit bestehen, die Entwicklerlö- sung in konzentrierter Form ohne Tensid anzuliefern und das Tensid erst nach der Verdünnung der Entwicklerlösung auf ihre gebrauchsfertige Konzentration (etwa 2,5%) zuzusetzen. Bei dieser Vorgehensweise müßte das Tensid jedoch separat in vor- verdünnter Form angeliefert werden und es wäre neben der Ver- dünnung mit Wasser ein weiterer, in bezug auf die Reinheits- erfordernisse riskanter Zumischungsschritt erforderlich. Der wesentliche Nachteil besteht jedoch darin, daß es in der Wa- ferfabrik in der Regel nicht möglich ist, die Menge an zuge- mischtem Tensid ausreichend exakt zu überwachen und zu steu- ern. Diese Nachteile sind so gravierend, daß diese Vorge- hensweise in der Praxis nicht durchgeführt wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Entwicklerlö- sung zu schaffen, die die mit dem Entwicklungsschritt in Zu- sammenhang stehenden Kosten bei der Herstellung von Wafern reduziert. Ferner besteht eine Aufgabe der vorliegenden Er- findung darin, ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Lösung anzugeben.

Zur Lösung der ersten Aufgabe sind die kennzeichnenden Merk- male des Anspruchs 1 vorgesehen.

Die erfindungsgemäße Lösung hat den Vorteil, daß sie sowohl in einer konzentrierten, insbesondere für Transportzwecke ge- eigneten Form als auch in einer gebrauchsfertigen, niederkon- zentrierten Form vorliegen kann.

In der konzentrierten Form-beispielsweise bei einer TMAH- Konzentration von 5%-40% und insbesondere 25%-bewirkt die hydrotrope Komponente, daß die tensidische Komponente auch bei dieser erhöhten TMAH-Konzentrationen löslich ist. Die erfindungsgemäße TMAH-Lösung ist daher in ihrer konzentrier- ten Form transportierbar, wodurch sich die Menge an zu trans- portierender Lösung und damit die Transportkosten entspre- chend verringern.

Die erfindungsgemäße gebrauchsfertige Entwicklerlösung, die eine Konzentration von etwa 2,5% TMAH aufweist, kann durch einfaches Verdünnen der konzentrierten TMAH-Lösung mit deio- nisiertem, hochreinen Wasser gewonnen werden. Dabei hat sich gezeigt, daß die hydrotrope Komponente das Entwicklungsver- halten der Lösung nicht beeinträchtigt.

Die hydrotrope Komponente besteht vorzugsweise aus einem oder mehreren der Stoffe Cumolsulfonsäure, Tetramethylammoniumcu- molsulfonat, Tetramethylammoniumxylolsulfonat, Tetramethylam- moniumtoluolsulfonat, Tetramethylammoniumphenolsulfonat und Tetramethylammoniumbenzolsulfonat.

Die zweite Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird gemäß dem kennzeichnenden Merkmal des Anspruchs 6 gelöst.

Zur Herstellung einer für den Transport vorgesehenen, konzen- trierten erfindungsgemäßen Lösung kennzeichnet sich das er- findungsgemäße Verfahren dadurch, daß in Schritt b) die ten- sidische Komponente in einer Konzentration oberhalb des Trü- bungspunktes zugegeben wird und daß in Schritt c) die hy- drotrope Komponente in einer Menge zugegeben wird, die aus- reicht, um die Löslichkeit der in Schritt b) zugegebenen ten- sidischen Komponente zu bewirken. Die Reihenfolge der Zugabe des Tensids und des Hydrotrops ist dabei beliebig.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Die Erfindung wird im folgenden in beispielhafter Weise an- hand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen erläutert : Nach einem ersten Ausführungsbeispiel wird zu 100 g einer 25% TMAH Lösung 1 g von statistischem n-Dodecanolpentaoxethylat CH3- (CH2-) loCH2-0- (CH2-CH2-O-) 5H hinzugegeben, welches als grenzflächenaktive Substanz (Tensid) wirkt. Das Tensid fällt aus und es bildet sich unter Rühren eine trübe Lösung. Nach- folgend wird 1,2 g Cumolsulfonsäure als Lösungsvermittler (Hydrotrop) hinzugegeben. Unter Rühren wird die Lösung bei Raumtemperatur klar. Der Trübungspunkt der Lösung, der auch als Krafft-Punkt bezeichnet wird, ist temperaturabhängig und liegt bei 33°C. Dies bedeutet, daß die Lösung in ihrer kon- zentrierten Form bis zu einer Temperatur von 33°C stabil ist.

Wenn anstelle von 1,2 g Cumolsulfonsäure 1,7 g Cumolsulfon- saure hinzugegeben wird, erhöht sich der Trübungspunkt auf 55°C.

Durch 10-fache Verdünnung der Lösung mit Wasser wird eine ge- brauchsfertige Entwicklerlösung aufgebaut.

Nach einem zweiten Ausführungsbeispiel wird zu 100 g einer 25% TMAH Lösung 1 g von statistischem Nonylphenoloctadecylo- xethylat CH3- (CH2-) 8C6H4-O-(CH2-CH2-O-) 18H hinzugegeben, welches als grenzflächenaktive Substanz (Tensid) wirkt. Aufgrund der Ausfällung des Tensids bildet sich unter Rühren eine trübe Lösung. Nachfolgend wird 1,25 g Cumolsulfonsäure als Lö- sungsvermittler (Hydrotrop) hinzugegeben. Unter Rühren wird die Lösung klar. Der Trübungspunkt der Lösung liegt bei 35°C.

Wenn anstelle von 1,25 g Cumolsulfonsäure 1,70 g Tetramethyl- ammoniumcumolsulfonat (CH3) 4-N+-S03-C6H4-CH- (CH3) 2 als in Was- ser gelöstes Konzentrat hinzugegeben wird, wird ein Trübungs- punkt von ebenfalls 35°C erreicht.

Durch 10-fache Verdünnung der Lösung mit Wasser wird wiederum eine gebrauchsfertige Entwicklerlösung erhalten. Das Verhal- ten dieser Lösung beim Entwicklungsvorgang wird durch das zu- gesetzte Hydrotrop nicht beeinträchtigt. Bei Tetramethylam- moniumcumolsulfonat als Hydrotrop läßt sich dies darauf zu- rückführen, daß die an dem aromatischen Ring des Tetramethy- lammoniumcumolsulfonats vorhandene Alkyl-Gruppe aufgrund ih- rer Kürze in einer 2,5% verdünnten TMAH-Lösung keinerlei Oberflächenaktivität zeigen kann.

Allen vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen ist ge- meinsam, daß durch Zugabe eines Hydrotrops in ausreichender Menge eine Phasentrennung in einer konzentrierten TMAH-Lösung mit tensidischer Komponente sicher verhindert werden kann, wodurch erreicht wird, daß das Tensid auch in der konzen- trierten TMAH-Lösungen (beispielsweise 25%) in einer stabilen und klaren Lösung gehalten werden kann. Dies ermöglicht es, die gebrauchsfertige Entwicklerlösung im Rahmen einer Vor- Ort-Verdünnung der konzentrierten TMAH-Lösung in der Waferfa- brik herzustellen, wodurch eine wesentliche Reduzierung der Transportkosten erzielt wird.