Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines thermischen Sensors, wobei der thermische Sensor zumindest ein erstes Sensorelement und eine Elektronikeinheit aufweist. Des Weiteren betrifft die Erfindung einen thermischen Sensor, welcher dazu ausgestaltet ist, mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens betrieben zu werden.

Zur Bestimmung eines Durchflusses, bzw. der Strömungsgeschwindigkeit eines Messmediums, bzw. eines Fluides, beispielsweise eines Gases, Gasgemisches oder einer Flüssigkeit, sind thermische Strömungssensoren bekannt. Diese nutzen aus, dass ein (strömendes) Messmedium Wärme von einer beheizten Fläche abtransportiert. Thermische Strömungssensoren bestehen typischerweise aus mehreren Funktionselementen, üblicherweise zumindest aus einem niederohmigen Heizelement und einem hochohmigen Widerstandselement, welches als Temperatursensor dient. Alternativ sind thermische Strömungssensoren mit mehreren niederohmigen Heizelementen als Heizer und Temperatursensor aufgebaut.

Kalorimetrische thermische Strömungssensoren bestimmen über eine Temperaturdifferenz zwischen zwei Temperatursensoren, welche flussabwärts (engl „downstream“) und flussaufwärts (engl „upstream“) von einem Heizelement angeordnet sind, den Durchfluss bzw. die Flussrate des Fluids in einem Kanal. Hierzu wird ausgenutzt, dass die Temperaturdifferenz bis zu einem gewissen Punkt linear zu dem Durchfluss bzw. der Flussrate ist. Dieses Verfahren bzw. die Methode ist in der einschlägigen Literatur ausgiebig beschrieben.

Anemometrische thermische Strömungssensoren bestehen aus zumindest einem Heizelement, welches während der Messung des Durchflusses erhitzt wird. Durch die Umströmung des Heizelements mit dem Messmedium findet ein Wärmetransport in das Messmedium statt, der sich mit der Strömungsgeschwindigkeit verändert. Durch Messung der elektrischen Größen des Heizelements kann auf die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums geschlossen werden.

Ein solcher anemometrischer thermischer Strömungssensor wird typischerweise in einem der folgenden beiden Regelarten betrieben:

Bei der Regelart „Constant-Current Anemometry“ (CCA) wird das Heizelement mit einem konstanten Strom beaufschlagt. Durch die Umströmung mit dem Messmedium ändert sich der Widerstand des Heizelements und damit die am Heizelement abfallende Spannung, welche das Messsignal darstellt. Analog dazu funktioniert die Regelart „Constant-Voltage Anemometry“ (CVA), bei welcher das Heizelement mit einer konstanten Spannung beaufschlagt wird. Bei der Regelart „Constant-Temperature Anemometry (CTA)“ wird das Heizelement auf einer im Mittel konstanten Temperatur gehalten. Mittels dieser Regelart sind relativ hohe Strömungsgeschwindigkeiten messbar. Je nach Strömungsgeschwindigkeit wird mehr oder weniger Wärme durch das fließende Messmedium abtransportiert und es muss entsprechend mehr oder weniger elektrische Leistung nachgeführt werden, um die Temperatur konstant zu halten. Diese nachgeführte elektrische Leistung ist ein Maß für die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums.

Die abtransportierte Wärme bei anemometrischen oder kalorimetrischen thermischen Strömungssensoren ist jedoch von thermischen Parametern des Messmediums abhängig - in erster Linie sind dies die Wärmeleitfähigkeit und die Wärmekapazität des Messmediums. Demzufolge muss der thermische Strömungssensor vorab in einer speziellen Kalibrationseinrichtung für ein spezifisches Messmedium kalibriert werden. Wechselt das Messmedium, so muss der thermische Strömungssensor von Neuem in der Kalibrationseinrichtung kalibriert werden bevor dieser wieder richtige Werte ausgibt.

Es existieren bereits Messprinzipansätze von Membranströmungssensoren für Gas, die in einem ersten Schritt Wärmeleitfähigkeit und Wärmekapazität messen (mittels konstanter Leistung oder Wechselstrom-getrieben) und diese Information in der Messung der Strömungsgeschwindigkeit zur Kompensation der Fluidabhängigkeit in einem zweiten Schritt nutzen. Oftmals werden aber gewisse Informationen über die Eigenschaft des Gases a priori benötigt, damit diese Selbstkalibrierung funktionieren kann.

Des Weiteren müssen die Wärmeleitfähigkeit und die Wärmekapazität des Messmediums oft getrennt gemessen werden, bzw. bekannt sein. Diese getrennte Bestimmung erfordert häufig auch unterschiedliche Messbedingungen (beispielsweise ein Nicht-Strömen des Messmediums, also eine Strömungsgeschwindigkeit von Null), bzw. Messsequenzen, was eine Durchführung aufwendiger macht, das heißt, es können mehrere Schritte, unterschiedliche Sensoren und Elektronikkomponenten benötigt werden. Eine derart aufwendige Umsetzung kann oft zu höheren Produktionskosten und somit auch zu höheren Preisen führen.

In der DE 102018 130 548 A1 ist ein Verfahren beschrieben, bei welchem ein thermischer Strömungssensor die thermischen Parameter eines Messmediums mittels einer 3-Omega-Methode erfasst. Die vom thermischen Strömungssensor erfasste Strömungsgeschwindigkeit des Fluids wird anschließend anhand der thermischen Parameter spezifisch auf das Messmedium angepasst.

In der zum Anmeldetag dieser Patentanmeldung noch unveröffentlichten Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen DE102020114487.3 ist ein Verfahren beschrieben, in welchem die durch einen thermischen Strömungssensor erfasste Strömungsgeschwindigkeit eines Messmediums auf Basis eines mathematischen, bzw. physikalischen Modells kompensiert wird. Hierfür werden für das Messmedium vorab spezifische Messdaten erhoben.

Bei beiden Verfahren erfolgt die Bestimmung der für die Kompensation relevanten Daten bei einer Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums von Null. Wird das Messmedium geändert, so muss der laufende Betrieb für ein erneutes Erheben dieser Daten stets unterbrochen werden. Ein Betreiben des Strömungssensors mit einem sich ändernden Messmedium kann unter Umständen in unpräzise Strömungswerten resultieren.

Ausgehend von dieser Problematik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren vorzustellen, ein Erfassen von Messwerten betreffend die Eigenschaften eines Messmediums im laufenden Messbetrieb erlaubt.

Die Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Betreiben eines thermischen Sensors gelöst, wobei der thermische Sensor zumindest ein erstes Sensorelement und eine Elektronikeinheit aufweist, wobei das erste Sensorelement mit einem Behältnis, insbesondere einer Rohrleitung, in thermischen Kontakt gebracht wird, wobei das Behältnis von einem Messmedium mit einer beliebigen Strömungsgeschwindigkeit durchströmt wird, wobei das erste Sensorelement mittels einer in das Sensorelement eingebrachten Wechselspannung periodisch erwärmt wird und simultan ein Verlauf der Temperatur des ersten Sensorelements erfasst wird, wobei eine Messgröße des Messmediums anhand eines Vergleichs des Verlaufs der dritten harmonischen Oberschwingung der in das erste Sensorelement eingebrachten Wechselspannung mit dem Verlauf der dritten harmonischen Oberschwingung der Temperatur des ersten Sensorelements, insbesondere durch Berechnung der Phasenverschiebung zwischen dem Verlauf der dritten harmonischen Oberschwingung der Wechselspannung und dem Verlauf der Amplitude der dritten harmonischen Oberschwingung der Temperatur, bestimmt wird, und wobei eine Frequenz der Wechselspannung derart ausgewählt wird, dass eine Eindringtiefe der emittierten Wärme des ersten Sensorelements in das Strömungsprofil des Messmediums vorliegt, in welcher die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums nahezu Null beträgt.

Im erfindungsgemäßen Verfahren wird also eine 3-Omega-Messmethode angewandt, um die Messgröße des Messmediums zu bestimmen. Die Messgröße besteht aus einer Amplituden- und/oder Phasendifferenz zwischen der in das Sensorelement eingebrachten Wechselspannung und der nachziehenden Temperatur des Sensorelements (jeweils betrachtet für die dritte harmonischen Oberschwingung) und hängt von den thermischen Eigenschaften eines spezifischen Messmediums ab. Der wesentliche Punkt des Verfahrens ist, dass sich die Eindringtiefe der durch die eingebrachten Wechselspannung von dem Sensorelement emittierten Temperatur durch die Frequenz dieser Wechselspannung beeinflussen lässt. Die Frequenz wird dabei derart gewählt, dass die Eindringtiefe zwar bis in das Messmedium reicht, jedoch in einem Bereich liegt, in welchem die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums nahezu null beträgt. Dies ist insbesondere in der Nähe der Wandung des Behältnisses der Fall. In diesem Bereich ist die dominieren die Einflüsse der Eigenschaften des Messmediums die erfasste Messgröße gegenüber dem Einfluss der Strömungsgeschwindigkeit. Damit lässt sich die Messgröße auch im laufenden Betrieb, also bei Vorliegen einer Strömungsgeschwindigkeit im Behälter von größer Null, erfassen.

Die Eindringtiefe ist abhängig von der gewählten Frequenz:

ET bezeichnet hierbei die Eindringtiefen, f die Frequenz.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass die Frequenz entsprechend der Formel a

/ berechnet und ausgewählt wird, wobei f die Frequenz bezeichnet, wobei a ein

Maß der thermischen Diffusivität des ersten Messmediums bezeichnet, wobei R einer halben Kanalbreite des Behältnisses an derjenigen Stelle entspricht, an welcher das erste Sensorelement mit dem Behältnis in thermischen Kontakt steht, wobei g eine dimensionslose Größe bzgl. der Strömungsgeschwindigkeit ist und ist in einem Bereich zwischen 0 und 0,2 liegt.

Durch Anwenden der Formel wird ein Frequenzbereich bestimmt, durch welchen die Eindringtiefe den gewünschten Bereich im Behältnis erreicht. Für die Diffusivität a genügt die Kenntnis darüber, in welchem Aggegratzustand (flüssig oder gasförmig) das Messmedium vorliegt, da die Diffusivität zwischen verschiedenen Aggregatzuständen mediumsunabhängig sehr unterschiedlich ist. Je genauer jedoch Informationen über das Messmedium vorliegen, desto genauer kann der Frequenzbereich gewählt werden. Ist beispielsweise bekannt, dass ein Gemisch von Wasser/Alkohol benutzt wird, so ist die Konzentrationen der einzelnen Komponenten für die Bestimmung der optimalen Frequenz unwichtig, da sich die Diffusivität nur geringfügig unterscheidet. Des Weiteren ist ein Frequenzbereich sehr vorteilhaft, da der thermische Sensor für eine Palette unterschiedlicher Messmedien funktionieren soll, deren Eigenschaften a priori unbekannt sind.

Die Frequenz, bzw. der Frequenzbereich kann unabhängig von der genauen Ausgestaltung des thermischen Sensors (in puncto Aufbau, Geometrie, verwendet Materialien, etc.) bestimmt werden und ist im Wesentlichen abhängig von der durch das Behältnis vorgegebenen Kanalbreite.

Unter Anwendung dieses Grundprinzips lassen sich drei Applikationsvarianten alternativ oder ergänzend realisieren:

Gemäß einer ersten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass der thermische Sensor als thermischer Strömungssensor betrieben wird, weiter umfassend:

Berechnen einer Korrekturgröße, wobei die Korrekturgröße Abweichungen der Messgröße des Messmediums zu einer Referenzmessgröße eines Referenzmessmediums kompensiert; und

Erfassen einer Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums und Erstellen von mittels der Korrekturgröße kompensierten Messwerten der Strömungsgeschwindigkeit.

Der thermische Strömungssensor kann nach zumindest einer der im einleitenden Teil der Beschreibung beschriebenen Regelarten betrieben werden.

Der Begriff „Strömungsgeschwindigkeit“ umfasst ebenso den Volumenstrom eines Messmediums.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der ersten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass ein mathematisches Modell des thermischen Sensors für das Berechnen der Korrekturgröße verwendet wird, wobei das mathematische Modell eine Abhängigkeit eines erstellten Messwerts einer erfassten Strömungsgeschwindigkeit von einer Messgröße eines jeden beliebigen Messmediums beschreibt. Die Messgröße ist also ein direktes Maß für die Kompensation, bzw. für die zu erwartende Abweichung der gemessenen Strömungsgeschwindigkeit zu der tatsächlich vorliegenden Strömungsgeschwindigkeit.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der ersten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass der thermische Sensor ein weiteres Sensorelement umfasst, wobei das weitere Sensorelement das Messmedium mittels der Wechselspannung für den Schritt des Bestimmens Messgröße periodisch erwärmt und wobei das erste Sensorelement zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums verwendet wird. Es kann dadurch instantan auf eine Änderung des Messmediums, bzw. einer Zusammensetzung des Messmediums reagiert werden und die Messwerte der Strömungsgeschwindigkeit unmittelbar in Hinblick auf die Änderung kompensiert werden, da die Strömungsgeschwindigkeit und die Messgröße des Messmediums simultan erfasst werden.

Gemäß einer zweiten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass im Falle, dass das Messmedium als binäres Gemisch zweier bekannten Inhaltsstoffe vorliegt, mittels der Messgröße die Konzentrationen der jeweiligen Inhaltsstoffe in dem Messmedium berechnet wird. „Bekannt“ bedeutet in diesem Zusammenhang, dass für beide Inhaltsstoffe eine Referenzmessgröße (im Sinne des mittels des 3-Omega-Verfahrens erhobenen Messwerts des Messmediums) vorhanden ist. Die Messgröße des Messmediums befindet sich dann zwischen den beiden Referenzmessgrößen. Die Konzentrationen, bzw. der Anteil der Inhaltsstoffe in dem Messmedium kann dann aus dem „Abstand“ der Messgröße von den jeweiligen Grenzen, also den Referenzmessgrößen, berechnet werden.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der ersten Variante und der zweiten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass der Schritt des Bestimmens der Messgröße mitsamt dem Berechnen der Korrekturgröße, sowie der Schritt des Erfassens der Strömungsgeschwindigkeit oder der Schritt des Berechnens der Konzentrationen simultan durchgeführt wird. Hierbei bestimmt das weitere Sensorelement die Messgröße, während das (erste) Sensorelement die Strömungsgeschwindigkeit. Die Elektronikeinheit kann dadurch simultan aus der Messgröße die Konzentrationen sowie die Korrekturgröße berechnen.

Gemäß einer dritten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass der thermische Sensor als Detektionssensor verwendet wird, wobei die Elektronikeinheit die Messgröße in regelmäßigen Abständen neu bestimmt und mit einer Vergleichsmessgröße eines bekannten Messmedium vergleicht, und wobei die Elektronikeinheit ein Signal erstellt und ausgibt, wenn sich die Messgröße um mehr als einen vorbestimmten Faktor von der Vergleichsgröße unterscheidet. Hierbei wird vorab die Messgröße eines bekannten Messmediums bestimmt, oder zu einem Zeitpunkt t ₀ der Startwert für das im Behältnis befindliche Messmedium bestimmt. Ändert sich die Zusammensetzung des Messmediums, bzw. das Messmedium selbst, so ändert sich die aktuelle Messgröße des Messmediums.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der ersten Variante und/oder der zweiten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass der Schritt des Bestimmens der Messgröße des Messmediums mitsamt dem Berechnen der Korrekturgröße periodisch wiederholt wird und sich mit dem Schritt des Erfassens der Strömungsgeschwindigkeit oder dem Schritt des Berechnens der Konzentrationen abwechselt, wobei für Erstellen der kompensierten Messwerte die aktuell berechnete Korrekturgröße verwendet wird. Auf diese Art und Weisekann durch einen solchen alternierenden Modus auch mit nur einem Messmedium regelmäßig die aktuelle Messgröße des Messmediums bestimmt werden.

Des Weiteren wird die Aufgabe durch einen thermischen Sensor gelöst, welcher dazu ausgestaltet ist, mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens betrieben zu werden. Der thermische Sensor kann auf vielfältige Art und Weise ausgestaltet sein, hinsichtlich des Herstellungsverfahrens (MEMS, analoge Bauteile, etc.), der Materialien der enthaltenen Komponente, der Dimensionen, etc.

Als vorteilhaft erweist es sich wenn der thermische Sensor sehr sensitiv ist und eine geringe Ansprechzeit aufweist, beispielsweise bedingt durch die Ausgestaltung als MEMS-Sensor.

Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 : eine schematische Darstellung einer beispielhaften Applikation eines thermischen Sensors im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren;

Fig. 2: ein Ablaufschema des erfindungsgemäßen Verfahrens;

Fig. 3: einen Graphen, welcher unkompensierte Messwerte für Strömungsgeschwindigkeiten unterschiedlicher Messmedien zeigt; und

Fig. 4: einen Graphen, welcher Messgrößen der 3-Omega-Methode unterschiedlicher Messmedien bei verschiedenen Strömungsgeschwindigkeiten zeigt.

In Fig. 1 ist eine Beispielapplikation des erfindungsgemäßen Verfahrens gezeigt. Ein thermischer Sensor 100 in die Wandung eines Behältnisses 3 angebracht, bspw. mittels eines Löt- oder Klebeverfahrens. Bei dem Behältnis 3 handelt es sich um eine Rohrleitung, welche von einem fluiden (gasförmig oder flüssig) Messmedium 2 in Durchflussrichtung v durchflossen wird. Die Rohrleitung weist hierbei einen kreisförmigen Querschnitt aus.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist auf viele Varianten einer solchen Applikation anwendbar. So kann es vorgesehen sein, den thermischen Sensor 100 auf der Innenwand des Behältnisses 3 anzubringen (beispielsweise eingebracht in einen Thermowell) oder an die Außenwand des Behältnisses 3 aufzubringen, beispielsweise mittels eines Lötverfahrens. Der Querschnitt des Behältnisses 3 kann alternativ eine beliebige Form aufweisen, bspw. quadratisch. Der thermische Sensor 100 weist ein Substrat 120 auf. Auf das Substrat 120 sind per Dickschichtoder Dünnschichttechnologie zumindest ein oder mehrere Sensorelemente 101 aufgebracht. Dieses besteht insbesondere aus Platin oder einem ähnlichen Material mit einem definierten temperaturabhängigen Widerstandswert (NTC oder PTC).

Im vorliegenden Fall ist der thermische Sensor 100 als thermischer Strömungssensor ausgestaltet.

In einem solchen Fall dient das Sensorelement 101 dem abwechselnden zeitweisen Erhitzen des Messmediums 2 und dem Bestimmen der Temperatur des Messmediums 2.

Es kann vorgesehen sein, zwei oder mehrere, insbesondere in Flussrichtung v angeordnete, Sensorelemente 101, 102, 103 zu verwenden, wobei eines der Sensorelemente 101 als Heizelement ausgestaltet und mittig angeordnet ist und wobei jeweils eines der Sensorelemente 102, 103 als Temperatursensoren ausgestaltet sind und in Flussrichtung F aufwärts und in Flussrichtung F abwärts vom Heizelement angeordnet sind.

Ein solcher thermischer Strömungssensor 100 ist in den herkömmlichen bekannten Betriebsmodi „kalorimetrische Strömungsmessung“, „anemometrische Strömungsmessung“ und „Time-of-Flight- Strömungsmessung“ betreibbar und weist neben den Sensorelementen 100 eine Elektronikeinheit 110, welche eine Steuereinheit, eine Auswerteeinheit und eine Spannungs-/Stromquelle umfasst, sowie Verdrahtungen zwischen den Sensroelementen und der Elektromikeinheit 110 auf.

Kalorimetrische thermische Strömungssensoren 100 bestimmen über eine Temperaturdifferenz zwischen zwei Sensorelementen 102, 103 in Gestalt von Temperatursensoren, welche flussabwärts (engl „downstream“) und flussaufwärts (engl „upstream“) von einem als Heizelement ausgestalteten Sensorelement 101 angeordnet sind, den Durchfluss bzw. die Flussrate des Messmediums 2 in einem Kanal. Hierzu wird ausgenutzt, dass die Temperaturdifferenz bis zu einem gewissen Punkt linear zu dem Durchfluss bzw. der Flussrate ist. Dieses Verfahren bzw. die Methode ist in der einschlägigen Literatur ausgiebig beschrieben.

Anemometrische thermische Strömungssensoren bestehen 100 aus zumindest einem Sensorelement 101 in Gestalt eines Heizelements, welches während der Messung des Durchflusses erhitzt wird. Durch die Umströmung des Heizelements mit dem Messmedium 2 findet ein Wärmetransport in das Messmedium statt, der sich mit der Strömungsgeschwindigkeit verändert. Durch Messung der elektrischen Größen des Heizelements kann auf die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums geschlossen werden.

Strömungssensoren nach dem sogenannten „Time-of-Flight“-Messprinzip weisen zumindest ein Sensorelement 101 in Gestalt eines Heizelements und ein Sensorelement 102, 103 in Gestalt eines Temperatursensors auf. Durch das Heizelement wird ein kurzzeitiger Wärmeimpuls in das Messmedium 2 abgegeben, welcher eine lokale Erwärmung des Messmediums 2 verursacht. Das fließende Messmedium 2 verursacht eine Bewegung der lokalen Erwärmung entsprechend des vorliegenden Flusses. Gelangt die lokale Erwärmung in die Nähe des Temperatursensors, wird diese von dem Temperatursensor erfasst. Eine Auswerteeinheit bestimmt die Zeitdifferenz zwischen dem Induzieren des Wärmeimpulses und der Detektion der lokalen Erwärmung durch den Temperatursensor. Die Zeitdifferenz stellt ein Maß für die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums dar. Je niedriger die Zeitdifferenz ist, desto höher ist die vorliegende Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums 2, und vice versa.

Anstatt der Ausgestaltung eines Sensorelements 101 , 102, 103 als Heizelement kann dieses auch als Kühlelement, beispielsweise ein Peltierelement, ausgestaltet. Die obig beschriebenen Betriebsmodi sind unter Benutzung eines Kühlelements ebenfalls ausführbar, es wird hierbei ein Kühlimpuls in das Messmedium induziert.

Auf dem Substrat und dem, bzw. den Sensorelementen 101 , 102, 103 ist eine Passivierungsschicht 130, beispielsweise aus Glas, aufgebracht. Das Material und die Dicke des Substrats ist abhängig von der Art der Befestigung des thermischen Sensors 100 an dem Behältnis 3.

Im Falle, dass der thermische Sensor 100 an der Außenwand des Behältnisses angebracht werden soll, kann die Passivierungsschicht 130 ist hierfür lotfähig ausgestaltet sein. Der thermische Sensor 1 kann somit per Passivierungsschicht 130 mit den Sensorelementen 101 , 102, 103 an die Außenwand des Behältnisses 3 gelötet werden, wodurch die thermische Leitfähigkeit in Richtung des Mediums erhöht wird. Das Substrat sollte hierbei einen hohen thermischen Widerstand, beispielsweise indem es aus einem keramischen Material besteht. Hierdurch wird die von den Sensorelementen 101 , 102, 103 emittierte Wärme in Richtung des Messmediums 2 geleitet.

Im Falle, dass der thermische Sensor 100 umgekehrt, also per Substrat 120, mit der Außenwand des Behältnisses verbunden wird, ist das Substrat 120 derart ausgestaltet, dass es einen geringen Wärmewiderstand aufweist. Hierfür ist das Substrat 120 beispielsweise dünn ausgestaltet und besteht aus einem metallischen Material.

Die Aufgabe des thermischen Sensors 100 ist es, zum einen die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums 2, als auch die Zusammensetzung des Messmediums 2 zu ermitteln. Im vorliegenden Fall besteht das Messmedium aus zwei Inhaltsstoffen, Wasser und Harnstoff (Urea).

Fig. 2 zeigt ein Ablaufschema des erfindungsgemäßen Verfahrens. Herstellerseitig H erfolgt in einem Verfahrensschritt a eine Grundkalibrierung des thermischen Sensors 100. Hierfür wird der thermische Sensor 100 in eine Kalibriereinrichtung eingebaut, welche mit zwei Referenzfluiden durchströmt wird - bei dem ersten Referenzfluid handelt es sich um Wasser, bei dem zweiten Referenzfluid handelt es sich um Harnstoff oder um eine Harnstoff-Wasser-Mischung (bspw.

AdBlue; 32 % Harnstoff, 68 % Wasser). Es kann hierbei vorgesehen sein, dass der thermische Sensor 100 fest mit dem Behältnis 3 verbunden ist, welches mit dem Sensor also mitgeliefert wird (bspw. als Teilrohr mit Anschlüssen) und entsprechend in die Kalibrationsanlage und in der späteren Applikation beim Kunden eingesetzt wird. In einem ersten Teilschritt wird die Kalibriereinrichtung mit Wasser durchströmt. Hierfür werden verschiedenen Werte der Strömungsgeschwindigkeit des Wassers eingestellt und ein Messwert des thermischen Sensors 100 für jede Strömungsgeschwindigkeit mittels einer Elektronikeinheit 110 des thermischen Sensors 100 erfasst. Hierdurch wird eine Grundkalibration des Strömungsmessung, also eine Abhängigkeit des Messwerts von der tatsächlich anliegenden Strömung, erstellt.

In einem zweiten Teilschritt wird zuerst Wasser in die Kalibrationseinrichtung eingeleitet, anschließend Wasser. Für beide Referenzmedien werden anschließend spezifische mediumsabhängige Messgrößen n _3w mittels einer 3-Omega-Methode mittels der Elektronikeinheit erfasst. Hierfür wird das Sensorelement 101 von der Elektronikeinheit 100 mit einer Wechselspannung beaufschlagt. Die Frequenz der Wechselspannung soll hierbei so gewählt werden, dass die Eindringtiefe der von dem Sensorelement 101 emittierten Wärme in einem Bereich liegen, in welchem die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums 2 nahezu null beträgt. Dies ist insbesondere in der Nähe der Innenwand des Behältnisses 3 der Fall. In diesem Bereich ist die dominieren die Einflüsse der Eigenschaften des Messmediums die erfasste Messgröße gegenüber dem Einfluss der Strömungsgeschwindigkeit.

Die Messgröße n _3w ist insbesondere eine Phasenverschiebung zwischen dem Verlauf der dritten harmonischen Oberschwingung der Wechselspannung und dem Verlauf der Amplitude der dritten harmonischen Oberschwingung der Temperatur und/oder Maximalamplitude des Verlaufs der dritten harmonischen Oberschwingung der Temperatur.

Der genaue Wert der Frequenz, bzw. des Frequenzbereichs, bei welchem obig beschriebenes Phänomen auftritt, lässt sich unabhängig vom genauen Aufbau des thermischen Sensors 101 mittels folgender Formel berechnen: Hierbei bezeichnet f die gesuchte Frequenz, wobei a ein Maß der thermischen Diffusivität des ersten Messmediums bezeichnet, wobei R einer halben Kanalbreite des Behältnisses an derjenigen Stelle entspricht, an welcher das erste Sensorelement mit dem Behältnis in thermischen Kontakt steht, wobei Y eine dimensionslose Größe bzgl. der Strömungsgeschwindigkeit ist und ist in einem Bereich zwischen 0 und 0,2 liegt. Die halben Kanalbreite muss hierbei für das jeweilige Behältnis bekannt sein.

Im Falle, dass der thermische Sensor 100 an der Außenwand des Behältnisses angebracht wird, beeinflusst die Rohrwand gegebenenfalls die Diffusivität a, was für das korrekte Anwenden der Formel beachtet werden muss. In einem solchen Falle wird von einer effektiven Diffusivität gesprochen, welche durch das erste Messmedium und dem thermischen Sensor 100, bzw. dessen Anbringung am Behältnis 3 abhängt.

Die Grundkalibrierung bezüglich der Strömungsgeschwindigkeit und die Messgrößen V _3u) der beiden Referenzmedien werden in der Elektronikeinheit 110 gespeichert.

Auf Anwendungsseite A wird der thermische Sensor entsprechend der Applikation eingebaut. Anschließend erfolgt in einem Verfahrensschritt b die Charakterisierung des Messmediums 2, welches aktuell das Behältnis 3 durchströmt. Bei dem Messmedium 2 handelt es sich um ein Wasser-Harnstoff-Gemisch. Simultan oder anschließend wird in einem Verfahrensschritt c ein Messwert der aktuellen Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums 2 erfasst.

Für den Verfahrensschritt b wird wiederum eine 3-Omega-Messung entsprechend des oben beschriebenen Ablaufs durchgeführt und die Messgröße V _3u) des aktuellen Messmediums erfasst.

In einem Verfahrensschritt d erfolgt eine Berechnung der aktuellen Konzentration des Messmediums 2, also der Anteil der Komponenten Wasser und Harnstoff im Messmedium, sowie eine Kompensation der Strömungsgeschwindigkeit durch die Elektronikeinheit 110.

Für die Berechnung der Konzentrationen wird auf die beiden Messgrößen der Referenzmessmedien n _3w zurückgegriffen. Die Messgröße n _3w des aktuellen Messmediums 2 befindet zwischen den beiden Referenzmesswerten. Die Konzentrationen, bzw. der Anteil der Inhaltsstoffe in dem Messmedium 2 kann dann aus dem „Abstand“ der aktuellen Messgröße n _3w von den jeweiligen Grenzen, also den Referenzmessgrößen n _3w , berechnet werden.

Die Kompensation des Messwerts der Strömungsgeschwindigkeit wird basierend auf der aktuellen Messgröße n _3w und der Grundkalibration vorgenommen. Fig. 3 zeigt Messkurven unkompensierter Messwerte der Strömungsgeschwindigkeit für verschiedene Konzentrationen des Messmediums 2. Auf der x-Achse ist die Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums 2 aufgetragen. Auf der y- Achse ist der Messwert des thermischen Sensors 100 für die jeweilige Strömungsgeschwindigkeit aufgetragen. Für die Messkurve mit den kreisförmigen Punkten wurde ein Messmedium mit den Anteilen 100 % Wasser und 0 % Harnstoff verwendet. Für die Messkurve mit den quadratischen Punkten wurde ein Messmedium mit den Anteilen 90 % Wasser und 10 % Harnstoff verwendet. Für die Messkurve mit den dreieckförmigen Punkten wurde ein Messmedium mit den Anteilen 67,5 % Wasser und 32,5 % Harnstoff verwendet. Es ist gut erkennbar, dass die Art des Messmediums 2, bzw. die im Messmedium vorhandenen Inhaltsstoffe und deren Anteile großen Einfluss auf die vom thermischen Sensor erfassten Messwerte haben. Aus diesem Grund müssen die Messwerte kompensiert werden. Hierfür wird eine Korrekturgröße berechnet, wobei die Korrekturgröße Abweichungen der Messgröße des Messmediums zu einer Referenzmessgröße eines Referenzmessmediums kompensiert. Hierfür wird ein mathematisches Modell des thermischen Sensors für das Berechnen der Korrekturgröße verwendet, wobei das mathematische Modell eine Abhängigkeit eines erstellten Messwerts einer erfassten Strömungsgeschwindigkeit von einer Messgröße n _3w eines jeden beliebigen Messmediums 2 beschreibt. Die Messgröße n _3w ist also ein direktes Maß für die Kompensation, bzw. für die zu erwartende Abweichung der gemessenen Strömungsgeschwindigkeit zu der tatsächlich vorliegenden Strömungsgeschwindigkeit.

Die Messgröße n _3w des Messmediums 2 ist hierbei nur von dem Messmedium 2 abhängig, jedoch nicht, wie obig beschrieben, aufgrund der gewählten Frequenz der 3-Omega-Messung von der aktuellen Strömungsgeschwindigkeit des Messmediums 2. In Fig. 4 ist die Abhängigkeit der Messgrößen n _3w (y-Achse) - in diesem Fall die Maximalamplitude - der jeweils in Fig. 3 gezeigten Messmedien von der Strömungsgeschwindigkeit (x-Achse) abgebildet. Es ist ersichtlich, dass die Messgrößen n _3w durch obig beschriebene Wahl der Frequenz im Wesentlichen unabhängig von der Strömungsgeschwindigkeit sind und sich untereinander stark unterscheiden.

Im einem letzten Verfahrensschritt e werden die Konzentrationen und der aktuelle kompensierte Messwert der Strömungsgeschwindigkeit ausgegeben. Es kann vorgesehen sein, dass die Verfahrensschritte b bis e in regelmäßigen Zeitabständen erneut durchgeführt werden. Bei Verwendung eines einzelnen Sensorelements 101 können die Schritte des Bestimmens der Strömungsgeschwindigkeit und des Erfassens der Messgröße n _3w alternierend ausgeführt werden. Bei Verwendung zumindest eines weiteren Sensorelements 102, 103 können diese Schritte simultan ausgeführt werden, wobei eines der Sensorelemente den Schritt des Bestimmens der Strömungsgeschwindigkeit und das anderes Sensorelement den Schritt des Erfassens der Messgröße n _3w durchführt. Zusätzlich oder alternativ kann der thermische Sensor auch als Detektionssensor ausgestaltet sein. Dieser erfasst in regelmäßigen Zeitabständen die Messgröße V _3u des Messmediums 2 und vergleicht diese mit einer Referenzmessgröße. Im Falle, dass die aktuelle Messgröße n _3w um einen vorgegebenen Faktor von der Referenzmessgröße abweicht, gibt die Elektronikeinheit 110 einen Alarm aus.

Bezugszeichenliste

100 thermischer Sensor

101 , 102, 103 Sensorelemente

110 Elektronikeinheit

120 Substrat

130 Passivierungsschicht

2 Messmedium

3 Behältnis

ET Eindringtiefe

R halbe Kanalbreite

Verfahrensschritte v Strömungsgeschwindigkeit n _3w Messgröße des Messmediums