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Patent Searching and Data


Title:
TRANSPARENT HEAT PROTECTION FOIL AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/1997/013003
Kind Code:
A2
Abstract:
Known heat protection foils have several metal layers which reflect thermal radiation and let light through. Systems of alternating metal and non-metal layers are also known. Their disadvantage is that in particular the metal layers are subject to corrosion. The outermost protection layer is not sufficiently scratch-resistant either. Consequently, such heat protection foils may hardly be used on the outer side of glass panes. They are not weather-resistant either. According to the invention, a selectively reflecting system of alternating layers is applied on the plastic foil, together with an anti-abrasive layer. The system of alternating layers consists of corrosion-resistant metal, oxide, nitride and/or oxinitride layers. The anti-abrasive layer consists of an at least 1 'mu'm thick, highly transparent and homogeneous amorphous oxide layer with high packing density and a micro-hardness of at least 4 Gpa. These layers are applied by high-speed sputtering by means of a dual magnetron. The anti-abrasive layer is applied by plasma- and/or ion-assisted high-speed vapour deposition. This heat protection foil may be applied on the outer side of window panes of buildings and vehicles.

Inventors:
KIRCHHOFF VOLKER (DE)
SCHILLER SIEGFRIED (DE)
NEUMANN MANFRED (DE)
MILDE FALK (DE)
Application Number:
PCT/DE1996/001905
Publication Date:
April 10, 1997
Filing Date:
October 02, 1996
Export Citation:
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Assignee:
FRAUNHOFER GES FORSCHUNG (DE)
KIRCHHOFF VOLKER (DE)
SCHILLER SIEGFRIED (DE)
NEUMANN MANFRED (DE)
MILDE FALK (DE)
International Classes:
C23C14/00; C23C14/06; C23C14/08; C23C14/35; C23C28/00; (IPC1-7): C23C14/20; B65D65/00
Foreign References:
EP0279550A11988-08-24
DE4211363A11993-10-07
US4861680A1989-08-29
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Claims:
Patentansprüche
1. Transparente Warmeschutzfolie für Außenanwendung, bestehend aus ei¬ ner Kunststoffolie und einem selektiv reflektierenden Wechselschichtsy stem, auf dem eine Abriebschutzschicht aufgebracht ist, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß das Wechselschichtsystem aus korrosionsbeständigen Me¬ tall, Oxid, Nitrid und/oder Oxinitridschichten besteht und die Abrieb¬ schutzschicht aus einer mindestens 1 μm, vorzugsweise 2 bis 5 μm dicken, hochtransparenten und homogenen amorphen Oxidschicht mit hoher Pak kungsdichte und einer Mikroharte von mindestens 4 GPa, vorzugsweise von 5 GPa bis 10 GPa, besteht.
2. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Kunststoffolie eine hochtransparente Polyesterfohe mit minimalem Füll stoffanteil und maximaler Oberflachenglatte ist.
3. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wechselschichtsystem abwechselnd aus dielektrischen Oxidschichten und elektrisch leitfähigen Nitridschichten aufgebaut ist, und daß die erste auf der Kunststoffolie aufgebrachte Schicht und die letzte Schicht des Wechselschichtsystems eine dielektrische Oxidschicht ist .
4. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wechselschichtsystem aus elektrisch leitfahigen Oxidschichten und elektrisch leitfähigen Nitridschichten aufgebaut ist, und daß die erste auf der Kunststoffolie aufgebrachte Schicht und die letzte Schicht des Wech¬ selschichtsystems eine elektrisch leitfähige Oxidschicht ist.
5. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wechselschichtsystem aus dielektrischen oder elektrisch leitfähigen Oxidschichten und Metallschichten aufgebaut ist, und daß die erste auf der Kunststoffolie aufgebrachte Schicht und die letzte Schicht des Wechsel¬ schichtsystems eine dielektrische bzw. elektrisch leitfähige Oxidschicht ist.
6. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wechselschichtsystem aus transparenten dielektrischen oder elek¬ trisch leitfähigen Oxidschichten und einem jeweils zwischen diesen befind¬ lichen Dreischichtsystem aufgebaut ist, daß das Dreischichtsystem aus zwei Nitridschichten und einer dazwischen befindlichen Metallschicht be¬ steht.
7. Warmeschutzfolie nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Dreischichtsystem aus zwei Oxinitridschichten und einer dazwischen be¬ findlichen Nitridschicht aufgebaut ist.
8. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrischen Oxidschichten aus Titanoxid, Zirkoniumoxid, Hafnium¬ oxid, Zinnoxid, Zinkoxid, Tantaloxid, Bleioxid oder Kombinationen von die¬ sen bestehen.
9. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitfähigen Oxidschichten aus IndiumZinnOxid oder Zink¬ oxid bestehen.
10. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Nitridschichten aus Titannitrid, Zirkoniumnitrid oder Hafniumnitrid be¬ stehen.
11. Warmeschutzfolie nach Anspruch 1 , 2, 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschichten aus Platin, Titan, Zirkonium, Chrom, Nickel, aus deren Legierungen oder aus rostfreiem Stahl bestehen.
12. Warmeschutzfolie nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 11 , da¬ durch gekennzeichnet, daß die Abriebschutzschicht aus den Oxiden von Aluminium, Zirkonium, Titan oder deren Legierungen besteht.
13. Verfahren zur Herstellung einer transparenten Warmeschutzfolie gemäß Anspruch 1 , indem auf die hochtransparente Kunststoffolie das Wechsel¬ schichtsystem und darauf die Abriebschutzschicht in einem Vakuum Beschichtungsprozeß aufgebracht werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Metall, Oxid, Nitrid und/oder Oxinitridschichten des Wechselschicht Systems auf die Kunststoffolie in wechselnder Folge durch unipolares oder bipolares Pulsmagnetronsputtern aufgebracht werden, und daß das Oxid für die Abriebschutzschicht durch plasma und/oder ionengestütztes Hochratebedampfen aufgebracht wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxid, Nitrid und Oxinitridschichten des Wechselschichtsystems durch reaktives bipolares Pulsmagnetronsputtern mit DualMagnetrons aufgebracht wer¬ den.
15. Verfahren nach Ansprüchen 13 und 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Abriebschutzschicht aus Oxiden von Zirkonium, Titan oder deren Legie¬ rungen durch plasmagestütztes reaktives Elektronenstrahlverdampfen von Zirkonium, Titan oder deren Legierungen unter Verwendung einer Hohlka¬ toden oder diffusen Bogenentladung aufgebracht wird.
16. Verfahren nach Anspruch 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Abriebschutzschicht aus Aluminiumoxid durch plasmagestütztes reaktives Verdampfen von Aluminium aus Schiffchenverdampfern aufgebracht wird, und daß das erforderliche intensive Plasma durch Hohlkatodenbogen oder gepulste Magnetronentladung erzeugt wird.
Description:
Transparente Wämneschutzfolie und Verfahren zu deren Herstellung

Die Erfindung betrifft eine transparente, abriebfeste Wärmeschutzfolie für Au ßen - anwendung, insbesondere zum Aufbringen auf die Außenseite von Fensterflä¬ chen von Gebäuden und Fahrzeugen und ein Verfahren zu deren Herstellung. Das Aufkleben derartiger Wärmeschutzfolien hat gegenüber der direkten Vaku¬ umbeschichtung der Fensterflächen den Vorteil, daß auch bereits installierte Fenster nachträglich mit Wärmeschutzfolien ausgerüstet werden können. Außer- dem ist das Auftragen von Wärmeschutzschichten auf Kunststoffolien von Rolle zu Rolle mit höherer Produktivität und daher mit geringeren Kosten möglich als das Beschichten einzelner Glasscheiben.

Die Beschichtung von Fensterflächen mit transparenten Wärmeschutzschichten gewinnt steigende Bedeutung im Zusammenhang mit der Einsparung von Klima¬ tisierungskosten im Sommer und der Einsparung von Heizkosten im Winter.

Es sind Wärmeschutzfolien zur Verringerung der Sonneneinstrahlung zum Auf¬ kleben auf Fensterflächen von Gebäuden und Fahrzeugen bekannt. In den mei- sten Fällen handelt es sich dabei um Polyesterfolien, die im Vakuum durch Be¬ dampfen oder Sputtern mit dünnen Metallschichten versehen wurden. Diese Me¬ tallschichten haben eine annähernd wellenlängenunabhängige Reflexion, so daß sie neben der Wärmeeinstrahlung in etwa gleichem Ausmaß auch die Lichtdurch¬ lässigkeit verringern. Außerdem halten diese Wärmeschutzfolien mechanischen Beanspruchungen, wie sie bei Fahrzeugscheiben - insbesondere Windschutz¬ scheiben - auftreten, nicht stand.

Es ist auch bekannt, durch Einsatz von Wechselschichtsystemen anstelle einfa¬ cher Metallschichten die Lichtdurchlässigkeit von Wärmeschutzfolien bei gleich- zeitig hoher Wärmestrahlenreflexion zu erhöhen (DE 4020696). Dabei handelt es sich im allgemeinen um Wechselschichten, das sind einander abwechselnde Schichten aus Metall und Nichtmetall, wobei als Metall meist Silber verwendet wird. Wegen der hohen Korrosionsempfindlichkeit der Silberschichten und der

Kratzempfmdlichkeit der sehr dünnen Wechselschichtsysteme müssen diese Wärmeschutzfolien mit der Schichtseite gegen das Glas geklebt werden. Damit ist der Nachteil verbunden, daß die zu reflektierende Wärmestrahlung zweimal die Kunststoffolie durchdringen muß und dadurch einen Teil der Wärme absorbiert. Diese Anordnung hat weiterhin den Nachteil, daß die relativ weiche Kunststoffolie nach außen zeigt und beim üblichen Reinigen der Fenster relativ schnell zerkratzt wird. Außerdem können derartige Folien wegen der mangelhaften Witterungs¬ und UV-bestandigkeit der Kunststoffolien nicht auf die Außenseite der Fenster¬ scheiben aufgeklebt werden. Das hat beim Einsatz als Sonnenschutzfohe wieder- um zur Folge, daß die Sonnenstrahlung zweimal die äußere Glasscheibe passie¬ ren muß und dadurch die Scheibe erwärmt. Das verringert die Effektivität der Warmestrahlenreflexion und kann bei lokal unterschiedlicher Erwärmung sogar zum Zerspringen der Scheibe führen

Es ist weiterhin bekannt, mit Hilfe sogenannter Hard-coats, das sind durch War¬ me-, Plasma- oder Koronabehandlung gehartete organische Schichten, die Ab¬ riebfestigkeit von Wärmeschutzfolien zu erhöhen Diese Schichten können sowohl auf das Wechselschichtsystem als auch auf die Ruckseite der Kunststoffolie auf¬ getragen werden (US 5,306,547, US 4,799,745) Damit ist zumindest eine gewis- se Kratzfestigkeit für die Innenanwendung gewährleistet Für die Außenanwen¬ dung ist diese Losung wegen der ungenügenden Witterungs- und UV- Bestandigkeit und der doch begrenzten Abriebfestigkeit der Hard-coats ebenfalls ungeeignet

Es ist auch bekannt, Warmeschutzschichten auf Glasscheiben mit anorganischen Abriebschutzschichten zu versehen, die eine bessere Witterungsbestandigkeit als organische Hard-coats aufweist (US 5,085,926; JP-A 63-206333). Diese Abrieb¬ schutzschichten ergeben jedoch bei Anwendung auf flexiblen Wärmeschutzfolien völlig unzureichende Abriebfestigkeiten, insbesondere wenn es sich um relativ harte Beanspruchungen wie bei Windschutzscheiben von Fahrzeugen handelt. Das ist wahrscheinlich durch die im Vergleich zum Glas wesentlich höhere Nach¬ giebigkeit der Kunststoffolien bedingt, die in Mikrobereichen zur Verformung und damit zur Beschädigung der Abriebschutzschichten führt

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine transparente Warmeschutzfolie mit einem abriebfesten und witterungsbeständigen, selektiv reflektierenden Schichtsystem für die Außenanwendung zu schaffen. Die Warmeschutzfolie soll vorzugsweise zum Aufkleben auf Fensterflächen von Gebäuden oder Fahrzeugen geeignet sein, indem das wärmereflektierende Schichtsystem nach außen zeigt. Bei der dadurch bedingten hohen Abrieb- und Korrosionsbeanspruchung soll die Warmeschutzfolie eine wesentlich höhere Lebensdauer als die bisher bekannten Wärmeschutzfolien aufweisen. Das Grundmateπal soll eine Kunststoffolie, vor¬ zugsweise Polyester sein. Es ist weiterhin ein Verfahren zur Herstellung dieser Wärmeschutzfolien zu schaffen, das relativ geringe Herstellungskosten ermög¬ licht, um eine breite Anwendung zu gewahrleisten Zur Ausübung des Verfahrens sind weitgehend bekannte und hochproduktive Verfahren der Vakuumbeschich- tungstechnik einzusetzen.

Die Aufgabe, eine Warmeschutzfolie zu schaffen, wird nach dem Anspruch 1 ge¬ löst. Das zur Herstellung erforderliche Verfahren wird nach Anspruch 13 gelöst Vorteilhafte Ausgestaltungen der Warmeschutzfolie und des Herstellungsverfah¬ rens sind in den Ansprüchen 2 bis 12 bzw 14 bis 16 beschrieben

Die hohe Korrosionsbeständigkeit des Wechselschichtsystems wird zunächst er¬ reicht durch gezielte Auswahl der Schichtmateπalien aus der Vielzahl der bereits bekannten Materialien. Besonders korrosionsbeständig sind Oxid-, Nitπα- oder Oxinitridschichten Aber auch Metallschichten aus Ti, Zr, Cr und Ni weisen eine hohe Korrosionsbeständigkeit auf Die Anordnung der genannten Schichten im Wechselschichtsystem erfolgt in an sich bekannter Weise, wobei sich leitfähige Metall- oder Nitridschichten mit reflexionsmindernden, meist dielektrischen Oxid¬ oder Oxinitridschichten abwechseln.

Die hohe Korrosionsbeständigkeit der Warmeschutzfolie insgesamt wird durch Kombination dieses bereits in hohem Maße korrosionsbeständigen Wechsel¬ schichtsystems mit einer oxidischen Abriebschutzschicht erreicht, die infolge ihrer Dicke, ihrer homogenen, amorphen Struktur sowie ihrer hohen Packungsdichte besondere korrosionsschützende Eigenschaften aufweist

Ein wesentlicher Grund für das Erreichen der hohen Abriebfestigkeit der erfin¬ dungsgemaßen Warmeschutzfolie ist in der Dicke und der gleichzeitig hohen Härte dieser Schicht zu sehen. Bei einer Dicke der Abriebschutzschicht von min¬ destens 1 μm, vorzugsweise 2 bis 5 μm, und einer Mikrohärte von mindestens 4 GPa, vorzugsweise 5 GPa bis 10 GPa, sind bisher nicht erreichte Korrosions-, Witterungs- und UV-Beständigkeiten zu erreichen.

Überraschenderweise wurde gefunden, daß die große Dicke im Zusammenwirken mit der hohen Packungsdichte und Mikrohärte der Schicht gewährleistet, daß trotz Verwendung der relativ weichen Kunststoffolien Abriebfestigkeiten erreicht wer¬ den, wie sie bisher nur bei Warmeschutzschichten auf Glas erzielt wurden. Bei geringeren Dicken oder geringeren Mikrohärten können Staubkörner, insbesonde¬ re im Zusammenwirken mit Scheibenwischern an Fahrzeugen, entweder zu Mi- krodeformationen und Mikrorissen oder zum Anritzen der Abriebschutzschicht führen. Die Zerstörung der Abriebschutzschicht geht nach Auftreten dieser Defek¬ te um so schneller vonstatten, je geringer die Haftfestigkeit der Abriebschutz¬ schicht zum darunter liegenden Wechselschichtsystem ist.

Die hohe Korrosionsbeständigkeit und Abriebfestigkeit der erfindungsgemäßen Warmeschutzfolie ist außer von der Auswahl geeigneter Materialien entscheidend vom Herstellungsverfahren abhängig.

Erfindungsgemäß wird die hohe Korrosionsbeständigkeit des Wechselschichtsy¬ stems nicht nur durch die gezielte Auswahl besonders korrosionsbeständiger Schichtmaterialien, sondern vor allem durch den Einsatz spezieller Beschich- tungsverfahren und die dazu verwendeten Anlagen erreicht. So ist dazu ganz be¬ sonders zum Aufbringen der einzelnen Schichten das Pulsmagnetronsputtern geeignet und erzielt überraschenderweise die hervorragenden Eigenschaften des Schichtsystems. Dieses erst seit kurzem bekannte Sputterverfahren hat im Ver- gleich zu anderen bekannten Sputterverfahren den Vorteil, daß besonders defekt¬ freie und daher korrosionsstabile Schichten abgeschieden werden. Durch den impulsweise erfolgenden Sputterprozeß werden Mikroentladungen auf der Target¬ oberfläche und dadurch bedingte Defekte vermieden. Besonders für das Abschei-

den elektrisch isolierender oder schlecht leitender Oxide, Oxinitride oder Nitride ist das bipolare Pulsmagnetronsputtern unter Verwendung sogenannter Dual- Magnetrons vorteilhaft. Hierbei wird nicht nur eine hohe Defektfreiheit, sondern durch das Vermeiden der Anodenverschmutzung auch eine hohe Langzeitstabili- tat des Beschichtungsprozesses erzielt. Das gestattet die Einhaltung sehr enger Toleranzen in den Schichteigenschaften, was sowohl für eine optimale Wär¬ mestrahlenreflexion als auch für eine reproduzierbare Korrosionsbeständigkeit von Bedeutung ist. Darüber hinaus ermöglicht das bipolare Pulsmagnetronsput¬ tern mit Dual-Magnetrons, vor allem in Verbindung mit der Plasma-Emissions- Monitorierung, besonders hohe Beschichtungsraten, die wiederum eine kosten¬ günstige Herstellung der erfindungsgemäßen Warmeschutzfolie gestatten.

Die hohe Abriebfestigkeit der Abriebschutzschicht in Verbindung mit einem hohen Korrosionsschutz für das darunterliegende Wechselschichtsystem wird erfin- dungsgemäß nicht nur durch die Auswahl des Materials, sondern vor allem durch das Abscheiden mittels plasma- bzw. ionengestützter Hochratebedampfung er¬ reicht. Damit wird sowohl eine hohe Beschichtungsrate für die kostengünstige Herstellung der Abriebschutzschicht als auch die erforderliche hohe Härte und eine homogene, amorphe Struktur mit hoher Packungsdichte erreicht. Darüber hinaus wurde eine hervorragende Haftfestigkeit der Abriebschutzschichten auf den verschiedenen Wechselschichtsystemen festgestellt. Vermutlich ist es neben der Härte vor allem die hohe Haftfestigkeit, die die außergewöhnliche Abriebfe¬ stigkeit des Schichtsystems bewirkt. Darüber hinaus ist auch die homogene, amorphe Struktur von Bedeutung, da sie bei der Abriebbeanspruchung, insbe- sondere in Verbindung mit Staub und Sandkörnern, keine Ansatzpunkte für die Schichtzerstörung bietet.

Auch für die zusätzliche Korrosionsschutzwirkung der Abriebschutzschicht ist eine homogene, amorphe Struktur mit hoher Packungsdichte von großer Bedeutung. Im Gegensatz zu lockeren, säulenförmig zerklüfteten Schichten geringer Pak- kungsdichte, die bei dem üblichen Hochratbedampfen ohne Plasmaaktivierung entstehen, wird eine wesentliche Barrierewirkung gegenüber korrosiven Medien erreicht.

Erfindungsgemaß ist es zweckmäßig, zum Herstellen von Abriebschutzschichten aus den Oxiden von Zirkonium, Titan oder deren Legierungen die entsprechen¬ den Metalle unter Zugabe von Sauerstoff mit dem Elektronenstrahl zu verdampfen und in der Bedampfungszone ein intensives Plasma mit Hilfe einer Hohlkatoden- bogenentladung oder einer diffusen Bogenentladung zu erzeugen. Dagegen ge¬ nügt für die Herstellung von Abriebschutzschichten aus Aluminiumoxid das plas¬ magestützte reaktive Verdampfen mit Hilfe einfacher Schiffchenverdampfer. Al¬ lerdings ist wie beim Elektronenstrahlverdampfen das Erzeugen hoher Plasma¬ dichten in der Bedampfungszone erforderlich, wobei außer Hohlkatodenbogenent- ladungen auch gepulste Magnetronentladungen geeigent sind.

An einem Ausführungsbeispiel wird die Erfindung näher erläutert.

Die zugehörige Zeichnung zeigt einen Querschnitt durch eine Warmeschutzfolie.

Auf die Kunststoffolie 1 aus hochtransparentem Polyester ist zunächst das Wech¬ selschichtsystem 2 und darauf die Abriebschutzschicht 3 aufgebracht. Das Wech¬ selschichtsystem 2 besteht aus einer unmittelbar auf die Kunststoffolie 1 aufge¬ brachten Titanoxidschicht 4 von 36 nm Dicke, einer darüber befindlichen Zirkoni- umnitridschicht 5 von 12 nm Dicke, einer zweiten Titanoxidschicht 4 von 80 nm Dicke, einer zweiten Zirkoniumnitridschicht 5 von 18 nm Dicke und einer dritten Titanoxidschicht 4 von 36 nm Dicke. Die Abriebschutzschicht 3 besteht aus 4 μm dickem, homogen-amorphem Oxid ohne Stengelstruktur mit einer Mikrohärte von 6 GPa und einer Packungsdichte von 80 % einer massiven Aluminiumoxidkera- mik.

Das Verfahren zur Herstellung der Wämeschutzfolie wird wie folgt ausgeführt: Die zu beschichtende Kunststoffolie wird in einer bekannten Beschichtungsanlage in einem Vakuumbehälter von einer Abwickelrolle zu einer Aufwickelrolle geführt. Der Vakuumbehälter ist in mehrere Kammern unterteilt, in denen sich jeweils eine Kühlwalze befindet, über die die Kunststoffolie geführt wird. Die Anzahl der Kam¬ mern richtet sich nach der Anzahl der aufzubringenden Schichten. Die Schichten werden mittels Dual-Magnetrons mit Titan- oder Zirkonium-Target bei dosiertem

Sauerstoff- oder Stickstoffeinlaß, je nach der aufzubringenden Schicht bzw. des Wechselschichtsystems, aufgespürter! Die Dual-Magnetrons werden mit einer Pulsfrequenz von 60 kHz betrieben.

Die Abriebschutzschicht aus Aluminiumoxid wird durch plasmagestützte reaktive Aluminiumverdampfung durch Verdampfen von Aluminium aus Schiffchenver¬ dampfern aufgebracht. Die erforderliche Plasmaaktivierung erfolgt durch eine ge¬ pulste Magnetron-Plasmaquelle mit hoher Dampfdichte.