以下、本発明を図1~11を参照して、一実施 例であるバリ取り装置により説明する。

 図1、3~6において符号10は研磨槽を保持す� ��本体側の固定フレームである。固定フレー� ��10は、4本の縦支柱12(12a、12a、12b、12b)をそれ らの下端を4本の下枠材14で結合すると共に、 それらの上端を4本の上枠材16で結合したもの である。正面側の2本の縦支柱12a、12aの間お� �び後面側の2本の縦支柱12b、12bの間にはそれ� ��れ梁材18a、18bが同じ高さに掛け渡されてい� ��。これら両梁材18a、18bは左右一対の前後梁2 0、20で連結されている。この前後梁20、20に� �後記する第1の振動制御板28が弾性支持され� �。

 梁材18bとその下方の下枠材14との間は縦� �強材22、22で連結され、両縦補強材22、22はさ らに水平補助材24で結合されている。この水� ��補助材24には後記する補助フレーム50を昇降 させるエアシリンダ68の下端が支持される。� ��た後面側の縦支柱12b、12bを結合する上枠材1 6と下枠材14の後面には、後記する補助フレー ム50を昇降可能に保持する昇降ガイドレール� ��付用縦支柱26、26が縦補強材22、22に沿うよ� �に固定されている。

 このように構成される固定フレーム10に� �、前後梁20、20の上面に第1の振動制御板28が� ��性支持される。すなわち第1の振動制御板28� ��左右縁の下面に沿って配設した左右2個ずつ の指向性防振バネ30によって前後梁20、20の上 に取付けられている。ここに指向性防振バネ 30はステンレスなどの金属細線を編んだワイ� ��ロープをコイル状に巻いたものである。

 指向性防振バネ30は図11に示すように、中 心軸線32を水平にして編込みワイヤロープを� ��イル状に巻いて、このコイルの上下をそれ� ��れ2本の固定バー34、36に挟み複数のビス38で ワイヤと固定バー34、36とを一体に固定した� �のである。この指向性防振バネ(コイルばね) 30は下の固定バー34、36に対して上の固定バー 34、36が中心軸線32方向に柔らかく、中心軸線 32に交叉する方向に硬くなる特性を持つ。す� ��わち防振方向に指向性を有する。なおコイ� ��ばね30はその長手方向中央でワイヤの巻き� �向を逆にして、下の固定バー34、36に対する� ��の固定バー34、36の水平方向の復帰力を対称 にしている。

 この指向性防振バネ30は、その中心軸線32 を平行かつ前後方向に一致させて、第1の振� �制御板28の左右側縁付近と前後方向の前後梁 20、20との間に取付けられる。すなわち4個の� ��向性防振バネ30の下の固定バー34、36が梁20� �固定され、上の固定バー34、36が第1の振動制 御板28に固定される(図1,4)。この結果第1の振� ��制御板28は、コイル30の中心軸線32方向(前後 方向)に柔らかく(振動し易く)、他の方向に硬 く(振動しにくく)なる状態で固定フレーム10� �弾性支持される。

 第1の振動制御板28には、これを上下方向� ��貫通して研磨槽40が固定されている。この� �磨槽40は上方が開いた略半円筒形である。す なわちその内底面は指向性防振バネ30のコイ� ��中心軸線32方向と平行な垂直面による断面� �略半円形であり(図1、5、6、10参照)、上方に� ��く開口は長方形である。研磨槽40はその下� �が第1の振動板28に設けた長方形の開口42を上 方から貫通して下方へ突出し、その上部が開 口42の上方に突出している。

 研磨槽40の外底面すなわち中央下面には� �第1の加振機44が取付けられている。この加� �機44は不平衡振動モータで形成され、その不 平衡重りを持つ回転軸は指向性防振バネ30の� ��イル中心軸線32に直交しかつ水平となるよ� �に配置される。なおこの加振機44の不平衡重 りの偏心率と振動数(回転速度)は制御可能で� ��る。

 研磨槽40の中には研磨砥粒などからなる� �磨メディア46が入れられる。48は被加工物で� ��り、後記する補助フレーム50に弾性支持さ� �て図5、6、10に示すように研磨槽40内のメデ� �ア46に接触あるいは埋没する状態に保持され る。

 次に被加工物48を弾性支持する補助フレ� �ム50を説明する。補助フレーム50は、固定フ� ��ーム10に対して上下位置可変に保持された� �降フレーム52と、この昇降フレーム52に水平� ��方向の回動軸54の回りに回動可能に保持さ� �た枠状の回動フレーム56とを持つ。昇降フレ ーム52は図2、3に示すように、左右一対の支� �腕58、58の一端部と中間部とをそれぞれ連結� ��60、62で結合し一体化したものである。

 支持腕58、58の外側縁は、昇降ガイドレー ル64を介して固定フレーム10の昇降ガイドレ� �ル取付用縦支柱26、26の内側対向面に上下ス� ��イド自在に保持されている。中間の連結腕6 2の中央部の下面と、前記固定フレーム10の水 平補助材24に固定したブラケット66(図1、2、5� ��6)とはエアシリンダ68で連結されている。従 ってこのエアシリンダ68の伸縮によって昇降� ��レーム52は昇降ガイドレール64、64にガイド� ��れて昇降する。

 回動フレーム56は左右一対の側枠56a、56a� �前後一対の枠56b、56bで結合して四角形の枠� �としたものであり、回動フレーム56の側枠50a は昇降フレーム52の支持腕58、58の前端に固定 した軸受70、70に軸支され、水平軸54回りに回 動可能である(図2)。昇降フレーム52の連結腕6 0、62の上面にはカバー板72が掛け渡され、こ� ��カバー板72にピボット軸受74が固定されてい る。回動フレーム56の右側の側枠56aに固定し� ��起立腕76とこのピボット軸受74との間にエア シリンダ78が介装されている。従ってこのエ� ��シリンダ78の伸縮によって回動フレーム56は 、図5に示す水平位置と、図6に示す垂直位置� ��の間で回動する。

 回動フレーム56の左右の側枠56aには第2の� ��動制御板80が弾性支持されている。すなわ� �この振動制御板80は、前記指向性防振バネ30� ��同じ構造を持つ他の4つの指向性防振コイル バネ30Aによって支持されている。ここに指向 性防振コイルバネ30Aは、そのコイル中心軸を 前後方向(枠56aと平行な前後方向)にして枠56a� ��上面に左右2個ずつ取付けられる。第2の振� �制御板80の上面中央には第2の加振機82が取付 けられている。この第2の加振機82は前記第1� �加振機44と同じ構造のものであり、偏心重り の偏心率を設定可能であり、回転速度(加振� �波数)は制御可能である。第2の加振機82は回� ��軸が水平横向きである。

 この実施例では、第2の振動制御板80に被� ��工物48を直接固定せず、コイルばね84を介し て弾性支持している。すなわち第2の振動制� �板80の下面には前後方向に3個ずつ左右2列に� ��べた合計6個のコイルばね84の上端が固定さ� ��、6個のコイルばね84の下端に水平な保持板8 6を固定し、さらにこの保持板86の下面に適切 な長さの延長台88を挟んで被加工物48を固定� �たものである(図2,8)。

 次にこの実施例の動作を説明する。第1の 加振機44の円周方向の回転振動力により、第1 の振動制御板28は指向性防振コイルバネ30の� �イル中心軸線32方向および上下方向の偏位に より回転振動する。この振動制御板28の回転� ��動は、この振動制御板28に固定された研磨� �40に伝えられる。第1の加振機44、第1の振動� �御板28および研磨槽40の重さ、指向性防振バ� ��30のばね定数、研磨槽40に収容したメディア 46の量(重さ)などで決まる第1の振動系の共振� ��波数と、加振機44の加振周波数が一定の関� �になると、振動系は共振状態に近い状態と� �って激しく回転振動する。この時にはメデ� �ア46は図5、10に示すように研磨槽40内で内底� ��に案内されて円を描きながら激しく振動し� ��がら循環する。

 また被加工物48、第2の振動制御板80、保� �板86、第2の加振機82、指向性防振バネ30A、コ イルばね84、被加工物48とメディア46との抵抗 などで決まる第2の振動系の共振周波数と、� �2の加振機82の加振周波数が一定の条件にな� �と、この第2の振動系は共振状態となり、被� ��工物48は激しく振動する。

 このように被加工物48は第2の加振機82に� �って加振されているので、メディア46と被加 工物48との相対速度の変動が著しく大きくな� ��、振動しながら回転流動するメディア46は� �の被加工物48に激しく衝突する。このため、 被加工物48のバリは能率よく除去され、表面� ��理が促進される。また被加工物48は補助フ� �ーム50と共に昇降させて研磨槽40から出し入� ��すればよいので処理能率を向上させること� ��できる。

 なお研磨槽40の内底面には、メディア40の 送り方向に対して直交方向(振動中心軸線方� �)に長い凸条90を設けておくのがよい(図10)。� ��ディア46をこれら1または複数の凸条90によ� �て、メディア46が研磨槽40の内面を滑るのを� ��ぎ、メディア46の流動および振動を強くで� �るからである。