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Patent Searching and Data


Title:
フォトレジストとして有用な縮合4員複素環を有する多環式基を有するフッ素化モノマー、フッ素化ポリマー、および微細平版印刷のための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2005535709
Kind Code:
A
Inventors:
アンドリュー イー. フェイリング
フランク エル. シャット ザ サード
ブャチェスラフ アレキサンドロビッチ ペトロフ
ブルース エドムント スマート
ウィリアム ブラウン ファーナム
Application Number:
JP2004527970A
Publication Date:
November 24, 2005
Filing Date:
August 08, 2003
Export Citation:
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Assignee:
イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
E.I.DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
International Classes:
G03F7/039; C07D205/12; C07D305/14; C07D493/10; C08F2/00; C08F34/00; C08F214/26; C08F232/08; G03F7/004; G03F7/038; (IPC1-7): C07D305/14; C07D493/10; C08F34/00; C08F214/26; G03F7/039
Attorney, Agent or Firm:
谷 義一
阿部 和夫