Title:
付加的安定状態をもたらすための突出部を有する電気機械システムデバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016502469
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、１つまたは複数の突出部がＥＭＳデバイスの表面に接続された電気機械システム（ＥＭＳ）デバイスのためのシステム、方法、および装置を提供する。一態様では、ＥＭＳデバイスは、基板と、基板の上の静止電極と、静止電極の上の可動電極とを含む。可動電極は、可動電極と静止電極との間の静電作動によって、ギャップにわたって３つ以上の位置に移動するように構成される。突出部が、ギャップにわたる位置のうちの１つにおいてＥＭＳデバイスのいずれかの表面と接触すると、突出部は、ＥＭＳデバイスの剛性を変える。１つまたは複数の突出部と接触している表面のうちの少なくとも１つは非剛性である。いくつかの実装形態では、突出部は約２０ｎｍよりも大きい高さを有する。
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Inventors:
Edward Quit Lim Chang
Isaac Clarke Lines
Bin Wen
Jeong Wook Lee
Isaac Clarke Lines
Bin Wen
Jeong Wook Lee
Application Number:
JP2015534510A
Publication Date:
January 28, 2016
Filing Date:
September 04, 2013
Export Citation:
Assignee:
Qualcomm Mems Technologies Incorporated
International Classes:
B81B3/00; B81C1/00; G02B26/02; G09F9/00; G09F9/30
Attorney, Agent or Firm:
Yasuhiko Murayama
Shinya Mitsuhiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mitsuhiro
Tatsuhiko Abe