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Title:
自己修正型浮遊SIL先端
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017509921
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】固浸レンズ(solid immersion lens、SIL)用の光学配置が開示される。【解決手段】該配置によりSILが自在に傾転可能になる。該配置は、SILの係合面と背面とから延びる光学軸を有するSILと、SILを受け入れるように構成されてその内でSILが自在に傾転可能であるキャビティを有するSIL筐体と、SIL筐体に取り付けられてSILがキャビティから出ることを防ぐように構成されたSIL保持部とを含み、該キャビティは、光学軸が通過するように配置されてSILにより収集された光を対物レンズに伝播可能にする孔を含む。【選択図】図3

Inventors:
Frank, jonathan
Sabineni, Prasad
Application Number:
JP2016557064A
Publication Date:
April 06, 2017
Filing Date:
March 11, 2015
Export Citation:
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Assignee:
DCG SYSTEMS INC.
International Classes:
G02B21/00
Domestic Patent References:
JPH05189796A1993-07-30
JP2011238920A2011-11-24
JP2005510737A2005-04-21
Foreign References:
US20120092655A12012-04-19
WO2007014621A12007-02-08
US20060261829A12006-11-23
US5121256A1992-06-09
Attorney, Agent or Firm:
Iseki Katsumori
Shuhei Kaneko