Title:
自己修正型浮遊SIL先端
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017509921
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】固浸レンズ(solid immersion lens、SIL)用の光学配置が開示される。【解決手段】該配置によりSILが自在に傾転可能になる。該配置は、SILの係合面と背面とから延びる光学軸を有するSILと、SILを受け入れるように構成されてその内でSILが自在に傾転可能であるキャビティを有するSIL筐体と、SIL筐体に取り付けられてSILがキャビティから出ることを防ぐように構成されたSIL保持部とを含み、該キャビティは、光学軸が通過するように配置されてSILにより収集された光を対物レンズに伝播可能にする孔を含む。【選択図】図3
Inventors:
Frank, jonathan
Sabineni, Prasad
Sabineni, Prasad
Application Number:
JP2016557064A
Publication Date:
April 06, 2017
Filing Date:
March 11, 2015
Export Citation:
Assignee:
DCG SYSTEMS INC.
International Classes:
G02B21/00
Domestic Patent References:
JPH05189796A | 1993-07-30 | |||
JP2011238920A | 2011-11-24 | |||
JP2005510737A | 2005-04-21 |
Foreign References:
US20120092655A1 | 2012-04-19 | |||
WO2007014621A1 | 2007-02-08 | |||
US20060261829A1 | 2006-11-23 | |||
US5121256A | 1992-06-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Iseki Katsumori
Shuhei Kaneko
Shuhei Kaneko