Title:
高周波スパッタリング装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5648189
Kind Code:
B2
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Inventors:
クラッツァー マーティン
Application Number:
JP2011536994A
Publication Date:
January 07, 2015
Filing Date:
November 20, 2009
Export Citation:
Assignee:
エリコン アドバンスド テクノロジーズ アーゲー
International Classes:
C23C14/34
Attorney, Agent or Firm:
Takayuki Hirose