Title:
圧電アクチュエータおよび圧電アクチュエータの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011132532
Kind Code:
A1
Abstract:
従来よりも簡素な構成および簡素な製造フローで形成可能な圧電アクチュエータを実現する。ベース基板（１１）には、固定電極（１２）が形成されている。ベース基板（１１）の表面には、誘電体層（１３）が形成されている。誘電体層（１３）の表面には、少なくとも一部がベース基板（１１）から離間した形状の下部電極（１４）が形成されている。下部電極（１４）の表面には、圧電体層（１５）が形成されている。圧電体層（１５）の表面側には、上部電極（１６）が形成されている。圧電駆動電圧の印加による圧電体層（１５）の歪により、上部電極（１６）もしくは下部電極（１４）の少なくとも一部が可動する可動電極となっている。
Inventors:
Yamamoto Kansho
Teiji Yamamoto
Excavation Ibo Ryu
Teiji Yamamoto
Excavation Ibo Ryu
Application Number:
JP2012511604A
Publication Date:
July 18, 2013
Filing Date:
April 06, 2011
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
H01L41/09; H01H57/00; H01L41/18; H01L41/187; H01L41/22; H01L41/316; H01L41/331; H02N2/00
Domestic Patent References:
| JP2008258186A | 2008-10-23 | |||
| JP2008238330A | 2008-10-09 | |||
| JP2007273800A | 2007-10-18 | |||
| JP2009055683A | 2009-03-12 | |||
| JP2009256147A | 2009-11-05 | |||
| JPH05231815A | 1993-09-07 | |||
| JP2008079461A | 2008-04-03 |
Attorney, Agent or Firm:
Kaede International Patent Office