放射線検出器の製造方法および放射線検出器

Japanese Patent JPWO2012137429

A1

チャンバ３１内にグラファイト基板１１を収容して、ポンプＰにより真空引きを行う。そして、真空中でカーボンを加熱することでカーボン中の不純物を蒸発させて、カーボンを純化する。グラファイト基板１１のカーボンを純化することで、グラファイト基板１１のカーボンに含まれる半導体層のドナー・アクセプタ元素、さらには金属元素の不純物を0.1ppm以下に抑えることができる。その結果、リーク電流や異常リーク点の発生を抑制し、半導体層における結晶の異常成長を抑制することができる。

JP5653611	Radiation sensor and radiation imaging device
JPS6025032	[Title of the Invention] A manufacturing method of an infrared detection element
WO/2021/215066	LIGHT DETECTOR AND ELECTRONIC INSTRUMENT

Masano Kaino
Satoshi Tokuda
Toshinori Yoshimuta
Hiroyuki Kishihara
Yoshimatsu sacred vegetables
Toshiyuki Sato
Shoji Kuwahara

JP2013508738A

July 28, 2014

March 19, 2012

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SHIMADZU CORPORATION

H01L27/144; G01T1/24; H01L27/146; H01L31/08; H04N5/32; H04N5/374

Tsutomu Sugiya
Hiroyuki Todaka
Tomohiko Sugitani
Kurihara Kaname

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