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Title:
樹脂組成物、それを用いたシート、積層体、パワー半導体装置、プラズマ処理装置および半導体の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018030079
Kind Code:
A1
Abstract:
(A)下記一般式(1)で表される構造を有するジアミン残基を全ジアミン残基中60モル%以上含有するポリイミド樹脂、(B)熱硬化性樹脂および(C)熱伝導性フィラーを含有する樹脂組成物であって、(A)ポリイミド樹脂、(B)熱硬化性樹脂および(C)熱伝導性フィラーの合計100体積部に対して、(C)熱伝導性フィラーを60体積部以上含有する樹脂組成物。耐熱性および熱伝導性に優れ、弾性率が低く熱応答性に優れたシートを得ることのできる樹脂組成物を提供する。【化1】

Inventors:
Akira Shimada
Masao Tomikawa
Application Number:
JP2017547010A
Publication Date:
June 06, 2019
Filing Date:
July 18, 2017
Export Citation:
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Assignee:
TORAY INDUSTRIES,INC.
International Classes:
C08L79/08; B32B27/20; B32B27/34; C08G73/10; C08K3/00; C08L63/00; H01L21/3065; H01L23/36; H01L23/373
Domestic Patent References:
JP2013030727A2013-02-07
JP2008171899A2008-07-24
JP2012255061A2012-12-27
JP2015048400A2015-03-16
JP2011157447A2011-08-18
JP2011137085A2011-07-14
Foreign References:
WO2014115637A12014-07-31