Title:
イオン源、質量分析計、及び、イオン源製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024046384
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ロバスト性を向上させることを課題とする。【解決手段】放電ガスおよび試料が導入される筒状の誘電体１２１と、誘電体１２１の外側に密着するように設置され、高周波電圧が印加される外筒電極１２２と、誘電体１２１の内側に、誘電体１２１と密着するように設置され、直流電圧が印加される内筒電極１１０と、外筒電極１２２と内筒電極１１０との間の放電で生成したイオンを誘電体１２１の外部へ引き出すためのオリフィス１３１が開口しているオリフィス電極１３０と、を有し、内筒電極１１０は、両端が開口しているとともに、一端がオリフィス電極１３０に接続し、オリフィス電極側とは反対側の開口部であるキャピラリ側開口部１１２を有し、キャピラリ側開口部１１２とは別の開口部であるオリフィス側開口部１１３を有し、キャピラリ側開口部１１２は、オリフィス側開口部１１３の外径未満であることを特徴とする。【選択図】図２
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Inventors:
Yasuaki Takada
Masuyuki Sugiyama
Shun Kumano
Hideki Hasegawa
Masakazu Sugaya
Masuyuki Sugiyama
Shun Kumano
Hideki Hasegawa
Masakazu Sugaya
Application Number:
JP2022151737A
Publication Date:
April 03, 2024
Filing Date:
September 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Hitachi High-Tech Solutions Co., Ltd.
International Classes:
H01J49/10; G01N27/62; G01N27/68; H01J49/24; H01J49/42
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Isono International Patent and Trademark Office