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Title:
光学素子を製造する方法、光学素子、光学素子を製造する装置、二次ガス、及び投影露光システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023543850
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、特に投影露光システム（４００）用の光学素子（２）を製造する方法であって、保護材料からなる保護層（１１）が保護層厚に達するまで本体（７）の表面に塗布され、本体（７）は反射層（１８）が塗布された基板（１７）を含む方法に関する。本発明によれば、保護層（１１）は少なくとも事実上欠陥がない。

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Inventors:
Anastasia Gonchar
Jorn Weber
Vitaly Schrobert
Application Number:
JP2023519711A
Publication Date:
October 18, 2023
Filing Date:
September 22, 2021
Export Citation:
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Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; C23C14/34; G02B5/08
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Takayoshi Kawai



 
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