Title:
ツルアー成形方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024001517
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 ツルアーの作成にかかる時間と費用の節減と品質の均一化を図ると共に、ツルーイングの転写率、加工性、ツルアーに形成される溝の精度を向上し、特に、ツルアーのエッジ形状の精度をより一層向上させるツルアー形成方法の提供。【解決手段】 ウェーハの面取り部を研削する砥石の溝を円盤状のツルアーによって形成するツルーイングにおけるツルアー成形方法であって、上記ツルアーを成形するマスター砥石によって、上記ツルアーの直径、及び、粗形状を整える工程Ａと、上記ツルアーのエッジを目標の形状に成形する工程Ｂと、を含み、上記工程Ａ、及び、上記工程Ｂは、上記マスター砥石が有する、形状の異なる複数のマスター溝のそれぞれを用いて行われるか、又は、上記工程Ａ、及び、上記工程Ｂは、上記マスター砥石が有する、少なくとも１つのマスター溝における形状の異なる部分のそれぞれを用いて行われる、ツルアー成形方法。【選択図】図４
Inventors:
Shinichi Kishishita
Yuki Ishii
Yuki Ishii
Application Number:
JP2022100214A
Publication Date:
January 10, 2024
Filing Date:
June 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
International Classes:
B24B9/00; B24B19/08; B24B53/00; B24B53/07
Attorney, Agent or Firm:
Yoshinobu Kanayama
Shohei Sakai
Shohei Sakai