以下、この発明の一実施の形態を図面を参� ��しながら説明する。 
 図1は部品の接続装置としての実装装置の概 略的構成を示し、この実装装置は装置本体1� �備えている。この装置本体1には、水平方向� ��ある、X方向とY方向とに駆動されるステー� �としてのXYテーブル2が設けられている。こ� �XYテーブル2にはたとえば液晶セルなどの第1� ��電子部品としての基板3が供給され、一側部 をXYテーブル2の上面から突出させた状態で上 記XYテーブル2の上面に真空吸着などの保持手 段によって保持される。

 上記基板3の一側部の上面には、図2Aに示� ��ように複数の第1の金属端子3aが所定間隔で� ��けられている。この第1の金属端子3aには、� ��2の電子部品としての複数のTCP5(1つだけ図示 )が上記基板3の一側部に所定間隔で、各TCP5に 設けられた第2の金属端子5aを対向させてたと えば熱硬化性又は熱可塑性の樹脂からなるシ ート状の接着剤4によって仮接続されている� �

 つまり、基板3に対してTCP5がこれらの金� �端子3a,5aが互いに対向するよう重ね合わされ て接着剤4によって保持されている。なお、� �着剤4は基板3のTCP5が接続される部分だけに� �けるようにしているが、基板3の一側部の上� ��全長にわたって設けるようにしてもよい。

 図1に示すように、上記装置本体1には、� �記XYテーブル2に保持された基板3の一側部の� ��面を上端面によって支持する支持体として� ��バックアップツール6が設けられている。こ のバックアップツール6の上端面に支持され� �基板3の側部に仮接続された上記TCP5は、加圧 ツール7の下端の加圧面7aによって後述するよ うに加圧されて接合固定される。

 上記加圧ツール7にはヒータ7bが内蔵され� ��いる。このヒータ7bは上記加圧ツール7が基� ��3に接着剤4によって仮接続されたTCP5を加圧� ��たとき、この加圧ツール7を上記接着剤4が� �融硬化される温度、たとえば約500℃程度に� �熱するようになっている。

 上記加圧ツール7は加圧ヘッド8の下面に� �述する超音波振動器11を介して設けられてい る。上記加圧ヘッド8は、リニアガイド9に沿� ��て図中矢印で示すZ方向、つまり上下方向に スライド可能となっていて、Z駆動源10によっ てZ方向に駆動されるようになっている。

 上記超音波振動器11は金属製の角柱状の� �ーン12を有し、このホーン12の上面が上記加� ��ヘッド8の下面に固定され、下面に上記加圧 ツール7が一体的に設けられている。上記ホ� �ン12の一端には振動子13が連結されていて、� ��の振動子13には図示しない発振器からたと� �ば40kHz程度の高周波電圧が印加されるように なっている。

 それによって、上記振動子13が超音波振� �し、その振動がホーン12を介して上記加圧ツ ール7に伝播されるようになっている。この� �施の形態では、加圧ツール7は水平方向、つ� ��り横方向に振動するようになっている。

 上記装置本体1の上記加圧ツール7の下方� �あって、上記バックアップツール6よりも上� ��にはレール部材21が水平方向に沿って設け� �れている。装置本体1には、上記レール部材2 1に沿ってカセット22を着脱することができる ようになっている。

 上記カセット22を装置本体1に図中矢印Xで 示す方向に沿って装着すると、所定の位置で 上記カセット22に設けられたストッパ(図示せ ず)が上記装置本体1に設けられた当接部(図示 せず)に当接する。それによって、上記カセ� �ト22が位置決めされるようになっている。

 上記カセット22は、連結軸23によって所定 の間隔で連結された矩形状の一対の側板24(一 方のみ図示)を有する。連結軸23は少なくとも 上記側板24の四隅部を連結している。

 一対の側板24の長手方向一端部には上記� �板Wの一側部の長さ寸法と同等以上の幅寸法� ��有するシート状部材25が巻装された、軸状� �供給リール26が上記側板24に対して回転可能� ��つ着脱可能に設けられている。

 上記側板24の長手方向他端部には上記供� �リール26に巻装されたシート状部材25を、複� ��の中継ローラ27を介して巻き取る巻き取り� �ール28が設けられている。この巻き取りリー ル28は、カセット22を装置本体1の所定の位置� ��装着したとき、この装置本体1に設けられた 図示しない巻き取り駆動源に連結される。し たがって、巻き取り駆動源を作動させれば、 上記供給リール26に巻装されたシート状部材2 5を上記巻き取りリール28に巻き取ることがで きるようになっている。

 上記シート状部材25は、上記超音波振動� �11を作動させながら、上記加圧ツール7の加� �面7aによって基板Wに重ねられたTCP5を加圧し� ��とき、振動子13からホーン12を介して上記加 圧ツール7に伝播された超音波振動を、この� �圧ツール7の加圧面7aから上記TCP5に効率よく� ��播することができる材料によって形成され� ��いる。

 上記シート状部材25は、たとえば上面と� �面が上記加圧ツール7の加圧面7aと上記TCP5の� ��面に対して比較的高い摩擦抵抗を有して接� ��する凹凸上の面に形成されていて、加圧ツ� ��ル7からの超音波振動を受けたときにその振 動方向(水平方向)に弾性変形し難い硬さを有� ��、さらに加圧ツール7に設けられたヒータ7b� ��熱に対して耐性を備えた材料、たとえばガ� ��ス繊維を編んだガラスクロスや炭素繊維を� ��んだカーボンクロスなどが好ましい。

 つぎに、上記構成の実装装置によって基板3 に接着剤4で仮接続されたTCP5を接合固定する� ��きの作用について図2A~図2Cを参照しながら� �明する。 
 図2AはTCP5が接着剤4によって基板3に仮接続� �れた状態を示し、XYテーブル2に供給載置さ� �た上記基板3の一側部の下面をバックアップ� ��ール6の上端面に支持させ、その一側部の上 面に仮接続された上記TCP5が加圧ツール7の加� ��面7aに対向するよう上記XYテーブル2を位置� �めする。

 ついで、超音波振動器11を作動させて加� �ツール7に超音波振動を付与したならば、Z駆 動源10を作動させて加圧ヘッド8を図2Bに示す� ��うに下降させ、この加圧ヘッド8に設けられ た加圧ツール7の加圧面7aによってシート状部 材25を介して基板3の一側部に所定間隔で設け られた複数のTCP5を同時に加圧する。このと� �、加圧ツール7に設けられたヒータ7bの熱に� �って基板3にTCP5を仮接着した接着剤4が加熱� �れる。

 接着剤4は熱硬化性の樹脂によって形成さ れている。そのため、加圧ツール7によって� �熱されると溶融して流動性が増加した後、� �定温度に到達することで硬化する。それに� �って、接着剤4は基板3にTCP5を接着固定する� �とになる。

 接着剤4が溶融すると、TCP5からはみ出し� �加圧ツール7の加圧面7aに付着して硬化し、� �圧面7aの平坦度が低下して加圧精度が低下す る虞がある。しかしながら、TCP5からはみ出� �た接着剤4はシート状部材25によって加圧面7a に付着するのが阻止されるから、上記加圧面 7aの平坦度が接着剤4によって損なわれるのが 防止される。

 TCP5が接着剤4によって基板Wに接着固定さ� ��る前に、TCP5が加圧ツール7によって加圧さ� �ることで、図2Cに示すようにTCP5の第2の金属� ��子5aが基板3の第1の金属端子3aに接触する。

 その状態で、振動子13の超音波振動が加� �ツール7によってTCP5を介して第1の金属端子3a と第2の金属端子5aに伝播されると、その超音 波振動によって上記第1の金属端子3aと第2の� �属端子5aが共晶結合されることになる。この とき、加圧ツール7がヒータ7bによって加熱さ れていることによって、上記第1の金属端子3a と第2の金属端子5aの共晶結合が促進されるこ とになる。

 上記加圧ツール7の超音波振動はシート状 部材25を介してTCP5に伝播される。このシート 状部材25は、超音波振動を加圧ツール7からTCP 5に効率よく伝播することができる材料と素� �によって形成されている。

 すなわち、超音波振動を伝播できる硬度� ��及び加圧ツール7の加圧面7aとシート状部材2 5の上面とが滑ることなく、しかも摩擦力が� �大する凹凸状の面、つまりシート状部材25が ガラスクロスやカーボンクロスなどであれば 、その編目の凹凸により摩擦力が増大する。 そのため、基板3の第1の金属端子3aに、TCP5の� ��2の金属端子5aを効率よく、しかも確実に共� ��結合することが可能となる。

 上記シート状部材25は耐熱性を備えてい� �。そのため、ヒータ7bによって加熱された加 圧ツール7によってTCP5を加圧するときに加熱� ��れても、その熱影響によって損傷すること� ��ない。

 基板3の第1の金属端子3aに、TCP5の第2の金� ��端子5aが共晶結合されたのち、上述したよ� �に上記接着剤4が硬化して基板3にTCP5が接着� �定される。基板3にTCP5が接着剤4によって接� �固定されれば、共晶結合された第1の金属端� ��3aと第2の金属端子5aの接続部分に応力が加� �り難いから、TCP5に外力が加わるなどしても� ��これら端子3a,5aの電気的接続状態が損なわ� �るのを防止することができる。つまり、TCP5� ��基板3から剥離し難い。

 上記一実施の形態では第1の電子部品とし ての基板の一側に、第2の電子部品としてのTC Pを接続する場合を例に挙げて説明したが、� �1の電子部品や第2の電子部品の種類は限定さ れるものでなく、要は互いに金属端子を有し 、これら金属端子を電気的に接続することが 要求される2つの電子部品であれば、この発� �の接合装置及び接合方法を適用することが� �きる。

 また、シート状部材にガラスクロスやカ� ��ボンクラスなどの繊維を用いれば、そのシ� ��ト状部材に通気性を持たせることができる� ��そのため、加圧ツールの加圧面に吸着孔を� ��口形成し、この吸着孔に上記シート状部材� ��介して第2の部品を吸着保持し、その状態で 第2の部品を第1の部品に加圧するようにして� ��よい。その場合、第2の部品としては半導体 チップなどであってもよく、第1の部品とし� �はリードフレームやテープキヤリアなどで� �ってもよく、部品の種類は制限されるもの� �ない。

 また、超音波振動器によって加圧ツール� ��超音波振動を付与してから、加圧ヘッドを� ��降させたが、加圧ツールに超音波振動を付� ��するタイミングは加圧ツールが電子部品を� ��圧下直後であっても差し支えない。