Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aussteifen eines großflächigen, dünnen Werkstücks mit geringer Eigensteifigkeit.

Beispielsweise bei der Bearbeitung von großflächigen dünnen Aluminiumblechen besteht der Wunsch, aus Gründen der Gewichtseinsparung Bereiche dieser Werkstücke spanabhebend zu bearbeiten, beispielsweise die Schichtdicke bereichsweise durch Fräsen zu reduzieren. Derartige Anforderungen bestehen beispielsweise im Bereich des Flugzeugbaus. Um eine hohe Bearbeitungsgenauigkeit einzuhalten und unerwünschte Schwächungen der Bauteile durch einen zu hohen Materialabtrag zu vermeiden, besteht die Anforderung, das spanabhebende Werkzeug, beispielsweise einen Fräskopf, möglichst exakt zu führen, wobei dementsprechend auch die Lage des Werkstücks dementsprechend präzise sichergestellt sein muss. Nachgiebigkeiten des Werkstücks würden dazu führen, dass das Werkstück unter dem Bearbeitungsdruck dem Werkzeug ausweicht und somit nicht ausreichend bearbeitet würde. Um solche Nachgiebigkeiten des Werkstücks zu vermeiden, ist vorgesehen, die Werkstücke einzuspannen und durch die Spannmittel auszusteifen.

So ist es beispielsweise aus der Praxis bekannt, sogenannte Spanntische zu verwenden, die mit einer Vielzahl matrixartig angeordneter Aktuatoren versehen ist. Die Aktuatoren weisen an ihrem freien Ende üblicherweise Saugeinrichtungen auf, mit denen sie das Werkstück halten und fixieren können. Die Aktuatoren sind individuell verstellbar, also der Saugkopf eines jeden Aktuators unabhängig von den anderen Aktuatoren in der Höhe

BESTÄTIGUNGSKOPIE und in der Neigung verstellbar, so dass ein gesamtes Feld von Aktuatoren der Sollkontur des Werkstücks entsprechend ausgerichtet werden kann. Derartige Spanntische sind vergleichsweise teuer, da jeder einzelne Aktuator mehr als 1.000,00 Euro kosten kann und die Aktuatoren möglichst eng gesetzt werden sollten, um eine optimale Unterstützung des Werkstückes zu gewährleisten. In der Praxis ist dennoch immer wieder zu beobachten, dass zwischen den Aktuatoren das dünnwandige Werkstück ausbeult, also dem Bearbeitungswerkzeug nachgibt, so dass an diesen Stellen entweder keine vollständige Bearbeitung des Werkstücks erfolgt oder nur mit einem sehr hohen apparativen und messtechnischen Aufwand die vollständige Bearbeitung des Werkstücks durch dessen entsprechende Nachführung gewährleistet werden kann.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Aussteifen eines großflächigen dünnen Werkstückes geringer Eigensteifigkeit zu schaffen, welches eine hervorragende Unterstützung des Werkstücks bietet und wirtschaftlich herstellbar ist.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Die Erfindung schlägt mit anderen Worten vor, eine biegsame Platte zu verwenden. Die Biegsamkeit wird dadurch erreicht, dass die Platte von Luftkanälen durchzogen ist, die sich jeweils durch die Kontaktschicht und in die Zwischenschicht erstrecken, so dass diese Schichten verformbar sind und dementsprechend eine problemlose Anpassbarkeit der Platte an die vergleichsweise großen Radien der großflächigen Werkstücke problemlos möglich ist. Die vorschlagsgemäße Spannplatte ist dabei wenigstens dreischichtig aufgebaut: Die erwähnte Kontaktschicht ist dem Werkstück benachbart, wobei diese Kontaktschicht die Kontaktfläche der Spannplatte bildet, mit welcher Kontaktfläche die Spannplatte dem Werkstück anliegt. Die erwähnten Luftkanäle können in Form von sich kreuzenden Nuten ausgestaltet sein, so dass eine Biegsamkeit der Spannplatte in zwei Richtungen ermöglicht wird. Damit ist es möglich, die Spannplatte auch sphärisch gekrümmten Werkstücken anzulegen.

Alternativ können die Luftkanäle dadurch geschaffen sein, dass zwei so genannte Wabenplatten übereinander angeordnet sind. Beispielsweise können zwei Wabenplatten des selben Typs um 90° versetzt übereinander angeordnet werden. Aufgrund von Fertigungstoleranzen und aufgrund des Versatzes um 90° ist sichergestellt, dass die Zellenwände der Waben nicht exakt übereinanderliegend angeordnet sind, so dass sich eine luftdurchlässige Verbindung zwischen diesen beiden Wabenplatten ergibt und eine Luftströmung ermöglicht wird, indem die Luft mäander- förmig durch die Zellen der beiden übereinanderliegenden Wabenplatten strömt.

Auf der gegenüberliegenden, rückwärtigen, also vom Werkstück abgewandten Seite weist die Spannplatte eine Rückenschicht auf. Während die Kontaktschicht durch die Luftkanäle in eine Vielzahl einzelner Segmente unterteilt ist, kann die Rückenschicht ununterbrochen sein, so dass sie einerseits zur Stabilität der Spannplatte maßgeblich beiträgt, und insbesondere eine geschlossene Oberfläche bereitstellt, die es beispielsweise ermöglicht, die Spannplatte auf das vorerwähnte Aktuatorenfeld eines Spanntisches aufzuspannen. Die geschlossene Ausgestaltung der Rückenschicht ermöglicht dabei die Festlegung der Spannplatte an den Saugern der Aktuatoren mittels Unterdruck.

Bei vorhandenen Spanntischen kann daher mit Hilfe der vorschlagsgemäßen Spannplatte problemlos und vergleichsweise kostengünstig eine sehr viel genauere und präzisere Halterung des Werkstücks erfolgen, da im Bearbeitungsbereich eine nahezu vollständige, unterbrechungsfreie Unterstützung des Werkstückes ermöglicht wird, selbst wenn die einzelnen Aktuatoren mit vergleichsweise großen Abständen zueinander angeordnet sind. Die Aktuatoren können mit ihren Saugern die Rückenschicht der Spannplatte zuverlässig halten, so dass lediglich die Schichtdicke der Spannplatte bei der Bearbeitung des Werkstücks berücksichtigt und mit einbezogen werden muss, ansonsten die Bearbeitung des Werkstücks auf dem mit Aktuatoren versehenen Spanntisch nahezu unverändert wie bislang üblich erfolgen kann. Dabei weist die Bearbeitung jedoch den Vorteil erheblich höherer Genauigkeit auf, da in den Zwischenräumen zwischen den Aktuatoren das Ausbeulen des Werkstücks, also dessen Nachgiebigkeit angesichts des durch das Werkzeug aufgebrachten Anpressdrucks, ausgeschlossen oder zumindest sehr stark reduziert wird.

Die vorschlagsgemäße Spannplatte weist ihrerseits Haltemittel zur Festlegung der Spannplatte am Werkstück auf. Dabei ist vorgesehen, das Werkstück mittels Unterdruck an der Spannplatte zu halten. Die Kontaktschicht weist daher Durchbrüche, Öffnungen, Nuten oder dergleichen auf, so dass durch die Luftkanäle Luft gesaugt werden kann und an der Kontaktfläche der Spannplatte ein Unterdruck angelegt werden kann, der das Werkstück an der Spannplatte festlegt. Dementsprechend wird ein sogenannter Haltebereich geschaffen, der dadurch definiert ist, dass er von einer umlaufenden Dichtung umgeben ist, wobei innerhalb dieses Haltebereichs ein Sauganschluss vorgesehen ist, so dass dieser Haltebereich evakuierbar ist, wenn die

Spannplatte und insbesondere deren Dichtung dem Werkstück anliegt. Die Evakuierung des Haltebereichs ermöglicht nicht nur die Festlegung der Spannplatte an dem Werkstück, sondern bewirkt zusätzlich eine verbesserte Steifigkeit des Verbundes, der aus der zunächst flexiblen Spannplatte und dem Werkstück gebildet ist.

Die Dichtung kann ausschließlich als umlaufende, den Haltebereich zirkumferent begrenzende Dichtung ausgestaltet sein. Die Dichtung erstreckt sich bis zur Kontaktfläche der Kontaktschicht, so dass sie dort dem Werkstück abdichtend anliegt.

Wenn beispielsweise das Werkstück größer ist als die Spann- platte, kann die Dichtung außen am Rand der Spannplatte umlaufend angeordnet sein. Wenn das Werkstück jedoch kleiner ist als die Spannplatte, kann vorgesehen sein, dass die Dichtung in einer Nut verläuft, die als geschlossener Ring verläuft. Dieser Ring kann eine beliebiger Kontur aufweisen, die vorteilhaft an die Form des Werkstücks angepasster sein kann.

Um jedoch nicht für verschiedene derartig kleine Werkstücke stets eigens angepasste Spannplatten mit speziellen Dichtungskonturen bereitstellen zu müssen, kann die Dichtung vorteilhaft zweiteilig ausgestaltet sein: eine umlaufende Randdichtung begrenzt den Haltebereich zirkumferent. Dabei kann vorteilhaft die maximale Fläche der Spannplatte nutzbar gemacht werden, indem die Dichtung außen am Rand der Spannplatte umläuft. Die durch das Werkstück nicht abgedeckte Fläche der Kontakt- schicht wird mittels einer Flächendichtung abgedeckt, so dass hier kein Vakuum-Leck entstehen kann. Die Flächendichtung kann beispielsweise in Form einer Gummimatte oder eines Tuchs mit einer gummiartigen Beschichtung ausgestaltet sein. Unterschiedliche Werkstücke erfordern also lediglich unter- schiedliche Flächendichtungen.

Zwischen der Kontaktschicht und der Rückenschicht ist eine möglichst leichtgewichtige Zwischenschicht vorgesehen, in welche sich die in der Kontaktschicht vorgesehenen Nuten auch noch erstrecken, um so die Biegsamkeit der Spannplatte zu verbessern.

Diese Zwischenschicht kann vorteilhaft eine Vielzahl von Hohlräumen aufweisen, um auf diese Weise einen möglichst leicht- gewichtigen Aufbau der gesamten Spannplatte zu ermöglichen. In dem Fall, dass die Luftkanäle durch sich kreuzende Nuten gebildet sind, können die Hohlräume vorteilhaft geschlossenzel- lig ausgestaltet sein. Wenn Hohlräume durch das Einbringen der sich kreuzenden Nuten in die Spannplatte angeschnitten werden, verhindert die geschlossenzellige Ausgestaltung dieser Hohlräume, dass eine nahezu unbegrenzte Leckage entsteht. Durch die geschlossenzellig ausgestalteten Hohlräume wird vielmehr die Evakuierbarkeit des Haltebereichs der Spannplatte nicht beeinträchtigt.

Wenn die Zwischenschicht als Wabenplatte ausgestaltet ist, wird eine vorteilhafte Kombination der Eigenschaften„geringes Gewicht" und„Steifigkeit" ermöglicht. Je nach verwendetem Material für die Waben kann vorgesehen sein, die Biegsamkeit der Wabenplatte durch Schlitze oder Nuten zu verbessern, die beispielsweise in einem Kreuzmuster in die Wabenplatte eingebracht werden. Dies kann beispielsweise bei metallischen Waben vorgesehen sein. Andere Materialien wie beispielsweise Papier oder papierähnliche Werkstoffe können bereits in sich eine ausreichende Biegsamkeit aufweisen, um die gewünschte Anpassung der Spannplatte an die Werkstückkonturen zu ermöglichen. Dabei ist zu berücksichtigen, dass häufig vergleichsweise große Biegeradien mit entsprechend lediglich geringer Krümmung vorgesehen sind, wie dies am Beispiel der Flugzeugindustrie und der dort vorhandenen Werkstücke erläutert wurde.

Die Waben von vorschlagsgemäß verwendbaren Wabenplatten können sehr unterschiedliche Zellenformen bzw. Wabenformen aufweisen, mit beispielsweise rechteckigen, sechseckigen oder Omega-förmigen Grundrissen.

Wenn auch die Kontaktschicht durch eine Wabenplatte gebildet ist, wie dies weiter oben erwähnt wurde, kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass die Waben der Kontaktschicht an der Kontaktfläche mit einem Dichtungswerkstoff beschichtet sind. Beispielsweise kann die Wabenplatte in einen entsprechenden flüs- sigen Dichtungswerkstoff eingetaucht werden, so dass etwa 1 bis 2 mm weit die Zellenwände der Waben mit dem Dichtungswerkstoff versehen werden. Nach Austrocknen bzw. Härten dieses Dichtungswerkstoffs kann die Wabenplatte als Kontaktschicht einer Spannplatte an ein Werkstück angelegt werden, und die dichtungswirksam ausgestalteten Ränder der Zellenwände bewirken, dass beim Anlegen eines Unterdrucks das Werkstück zuverlässig an dieser Wabenplatte gehalten wird und Leckagen vermieden sind.

Vorteilhaft kann die Spannplatte eine ferromagnetische Schicht aufweisen. Diese kann ggf. dazu dienen, die Spannplatte an dem zu bearbeitenden Werkstück zu halten und provisorisch zu fixieren, bevor die eigentlichen Haltemittel einen sicheren Halt der Spannplatte am Werkstück sicherstellen. In der überwiegenden Vielzahl der in der Praxis vorkommenden Bearbeitungsfälle wird die ferromagnetische Schicht allerdings nicht für einen provisorischen Halt nutzbar sein, weil die zu bearbeitenden

Werkstücke nicht ihrerseits ferromagnetisch sind, wie z. B. bei Materialien wie CFK und Aluminium. Die ferromagnetische Schicht kann daher insbesondere vorgesehen sein, um ein Reflexionsschicht zu schaffen, die zur Bestimmung der Werkstückdicke an der jeweils zu bearbeitenden Stelle genutzt werden kann:

In der Praxis besteht nämlich das Problem, dass die Materialstärke des Werkstücks nicht ideal konstant ist. Wenn beispielsweise ein metallisches Werkstück über einer Form gezogen wird, um eine gewünschte Kontur anzunehmen, so kann allein durch diesen Formvorgang das Material des Werkstücks zu fließen beginnen, so dass letztlich bereichsweise unterschiedliche Materialstärken des Werkstücks resultieren. Wenn nun eine bereichsweise Bearbeitung des Werkstückes erfolgen soll und die verbleibende Materialstärke des Werkstücks definiert ist, so muss sich die Bearbeitungstiefe bereichsweise entlang dem Werkstück unterscheiden, nämlich in Abhängigkeit von der Aus- gangsmaterialstärke, die das Werkstück an der jeweiligen Bearbeitungsstelle aufweist. Daher kann vorteilhaft vorgesehen werden, an der zu bearbeitenden Stelle die Schichtdicke des Werkstücks zerstörungsfrei zu ermitteln, beispielsweise mittels einer Ultraschallmessung. Zu diesem Zweck kann die ferromagneti- sche Schicht der Spannplatte als Reflexionsfläche genutzt werden, um klare und eindeutige Messwerte bei der Ultraschallmessung zu erhalten.

Grundsätzlich kann die ferromagnetische Schicht irgendwo in der Spannplatte vorgesehen sein; denn der entsprechende Abstand von der Kontaktfläche, also von der Außenseite des zu bearbeitenden Werkstücks, kann rechnerisch berücksichtigt werden. Besonders vorteilhaft kann allerdings die Kontaktschicht, welche die dem Werkstück anliegende Kontaktfläche bildet, ferromagnetisch ausgestaltet sein, so dass die Kontaktfläche auch gleichzeitig die Reflexionsfläche für die Ultraschallwellen bildet und die tatsächliche Grenze des Werkstücks repräsentiert. Auf diese Weise wird eine möglichst direkte Messung ermöglicht und evtl. auftretenden Ungenauigkeiten, die ansonsten durch den Abstand der Reflexionsfläche vom Werkstück auftreten könnten, werden auf diese Weise zuverlässig ausgeschlossen.

Eine möglichst flexible Ausgestaltung der Spannplatte kann vorteilhaft dadurch bewirkt werden, dass die von Luftkanälen freie Schichtdicke der Spannplatte möglichst gering gehalten wird. Daher kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass sich die Luftkanäle nicht nur durch die Kontaktschicht, sondern auch vollständig durch die Zwischenschicht erstrecken, also bis an die Rück- schicht heran.

Je nach Ausgestaltung des Werkstückes können unterschiedliche Vorgehensweisen bei der Bearbeitung des Werkstücks vorgesehen werden: Einerseits kann vorgesehen sein, dass die Spannplatte zunächst in eine Form gebracht wird, welche der Sollkontur des Werkstücks entspricht. So kann beispielsweise vorgesehen sein, in an sich bekannter Weise die Aktuatoren eines Spanntisches entsprechend auszurichten, so dass die auf den Aktuatoren aufliegende Spannplatte entlang ihrer Kontaktfläche die gewünschte Werkstückaußenkontur aufweist. Anschließend wird nun das dünne, nicht formstabile Werkstück auf die Spannplatte aufgelegt und durch die an der Spannplatte vorgesehenen Haltemittel an der Spannplatte festgelegt.

Die Aktuatoren können in an sich bekannter Weise in Art einer Punktmatrix über die Fläche des Spanntisches verteilt angeordnet sein. Sie sind einzeln höhenverstellbar und können somit nahezu beliebigen Konturen in Form von Oberflächenverläufen angepasst werden. Beispielsweise im Flugzeugbau sind immer häufiger die Außenflächen des Rumpfes und des Tragwerks in Form so genannter Freiformflächen gestaltet, die eine komplexere Oberflächengeometrie aufweisen als Standardflächen wie z. B. eine plane Ebene oder die Oberfläche einer Kugel, eines Kegels oder eines Zylinders. An derartige Freiformflächen lassen sich die Aktuatoren des Spanntisches problemlos anpassen, indem die einzelnen Aktuatoren individuell jeweils auf das erforderliche Höhenmaß eingestellt werden. Bei dieser Anpassung wird die An ihren freien Enden weisen sie Halterungen auf, beispielsweise Unterdrucksauger, so dass die vorschlagsgemäße, verformbare Spannplatte an den Aktuatoren fixiert werden kann. Ein Feinjustage der Aktuatoren kann dann den Oberflächenverlauf der Spannplatte in exakte Übereinstimmung mit der gewünschten Sollkontur des Werkstücks bringen. Wenn das Werkstück anschließend an die Spannplatte angelegt und festgelegt wird, nimmt es die Sollkontur an.

Alternativ zu dieser Vorgehensweise kann vorgesehen sein, das Werkstück so zu lagern, dass es seine Sollkontur an der äußeren Oberfläche aufweist. Anschließend wird die Spannplatte an das Werkstück angelegt, wobei sich die Kontur der Spannplatte der Werkstückkontur anpasst. Nun wird das Werkstück mit den an der Spannplatte vorgesehenen Haltemitteln mit der Spannplatte verbunden, so dass nun das Werkstück und die Spannplatte unter Beibehaltung der Werkstückkontur bewegt werden können.

Diese Beweglichkeit kann insbesondere auch dann genutzt werden, wenn die Spannplatte gar nicht zum Bearbeiten des Werkstücks als eine Hilfsvorrichtung dienen soll, sondern wenn der Einsatz dieser Spannplatte ausschließlich auf den Transport des Werkstücks gerichtet ist: Bei dem Transport großflächiger Werkstücke, beispielsweise im Bereich des Flugzeugbaus, kommen üblicherweise speziell an die Werkstückkontur ange- passte Tragvorrichtungen zum Einsatz, beispielsweise entsprechend der Werkstückkontur gefertigte Sauger. Mit Hilfe der vorschlagsgemäßen Spannplatte kann eine Vielzahl unterschiedlicher, speziell an ein bestimmtes Werkstück angepasst geformter Sauger durch die Spannplatte ersetzt werden, so dass eine Art Universaltrageinrichtung geschaffen wird, die nicht nur Werkstücktoleranzen mehrerer an sich gleicher Werkstücke auszugleichen vermag, sondern die auch zum Transport unterschiedlicher Werkstücke mit unterschiedlichen Sollkonturen genutzt werden kann. Auf diese Weise wird der wirtschaftliche Aufwand sowie der bereitzustellende Lagerraum für die Bereitstellung einer Vielzahl unterschiedlich ausgestalteter, an die jeweiligen Werkstücke speziell angepasster Sauger erheblich verringert.

Ausführungsbeispiele vorschlagsgemäßer Spannplatten werden anhand der rein schematischen Darstellung nachfolgend näher erläutert. Dabei zeigt

Fig. 1 eine perspektivische, teilweise weggebrochene Ansicht auf ein erstes Ausführungsbeispiel einer Spannplatte,

Fig. 2 einen Querschnitt durch die Spannplatte von Fig. 1 , und Fig. 3 einen Querschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel einer Spannplatte samt darauf befindlichem Werkstück.

In den Zeichnungen ist mit 1 insgesamt eine Spannplatte bezeichnet, die aus drei Schichten besteht: Eine unten dargestellte sogenannte Rückenschicht 2 ist als einteilige, ununterbrochene Schicht dargestellt, welche die eine Oberfläche einer Sandwichplatte bildet. Die gegenüberliegende Oberfläche der Sandwichplatte ist als Kontaktschicht 3 bezeichnet, welche dem Werkstück angelegt wird. Zwischen der Rückenschicht 2 und der Kontaktschicht 3 befindet sich eine Zwischenschicht 6, die bei den beiden dargestellten Ausführungsbeispielen als Wabenstruktur ausgestaltet ist.

Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 und 2 ist diese Kontaktschicht 3 durch in die Spannplatte 1 eingefräste, sich kreuzende Nuten 4 in eine Vielzahl von einzelnen Segmenten 5 aufgeteilt. Die freie Oberfläche dieser Segmente 5 bildet die Kontaktfläche der Kontaktschicht 3, also die Oberfläche der Spannplatte 1 , welche in Kontakt mit dem Werkstück gerät, wenn die Spannplatte 1 dem Werkstück angelegt wird.

Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 und 2 ist aus Gründen der zeichnerischen Einfachheit die Zwischenschicht 6 stets mit gleicher Schichtdicke über die gesamte Plattenfläche hinweg dargestellt. Tatsächlich jedoch erstrecken sich die Nuten 4, wie aus Fig. 2 deutlicher hervorgeht, nicht nur durch die Kontaktschicht 3, sondern auch in die Zwischenschicht 6 hinein, so dass die Schichtdicke der Wabenstruktur im Bereich der Nuten 3 reduziert ist. Insbesondere ist bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel vorgesehen, dass sich die Nuten 4 durch die gesamte Zwischenschicht 6 bis zur Rückenschicht 2 erstrecken. Die Zwischenschicht 6 ist also beispielsweise im Bereich der Nuten 4 vollständig weggefräst worden, so dass auf diese Weise

/ die Beweglichkeit und Verformbarkeit der Spannplatte 1 optimiert ist.

Durch die eigene Flexibilität kann die Spannplatte 1 mit ihrer Kontaktschicht 3 an die äußere Kontur des Werkstücks ange- passt werden. Den sicheren Halt des Werkstücks an der Spannplatte 1 ermöglichen Haltemittel der Spannplatte 1 , die bei dem darstellten Ausführungsbeispiel als Saugeinrichtung ausgestaltet sind:

Eine in der Rückenschicht 2 vorgesehener Sauganschluss 7 kann beispielsweise als Stutzen ausgestaltet sein, der über die Spannplatte 1 hinaus nach hinten ragt, so dass eine entsprechende Saugleitung an diesen Sauganschluss 7 angeschlossen werden kann. Der Sauganschluss 7 mündet in einem als Haltebereich 8 bezeichneten Bereich der Spannplatte 1 , der von einer um den Haltebereich 8 umlaufenden Dichtung 9 begrenzt wird. Der Anteil der Spannplatte 1 , der sich außerhalb der Dichtung 9 befindet, ist dementsprechend als freier Bereich 10 bezeichnet, da er nicht durch die Haltemittel an dem Werkstück gehalten ist. Dieser freie Bereich 10 kann gleichwohl zur Abstützung des Werkstückes bei dessen Bearbeitung dienen: Beispielsweise wenn die Spannplatte 1 mit ihrer Rückenschicht 2 an den Saugern einer Vielzahl von Aktuatoren eines Spanntisches befestigt ist und das Werkstück auf der Spannplatte 1 aufliegt, kann eine Unterstützung des Werkstückes auch durch den freien Bereich 10 gewährleistet werden, um beispielsweise zu verhindern, dass das Werkstück ausbeult und angesichts der Krafteinwirkung durch das Werkzeug, beispielsweise ein Fräskopf, zwischen zwei Aktuatoren nachgibt.

Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 ist ein Werkstück 11 dargestellt, an welches die Spannplatte 1 angelegt ist. Sowohl die Kontaktschicht 3 als auch die Zwischenschicht 6 sind jeweils in Form einer Wabenplatte ausgestaltet. Dabei ist ersichtlich, dass Zellwände 12 der beiden Wabenplatten nicht genau mit- einander fluchten, so dass sich Luftkanäle ergeben, die vom Sauganschluss 7 bis zur Oberfläche der Kontaktschicht 3, also bis zum Werkstück 11 , eine Luftströmung ermöglichen und so das Anlegen eines Unterdrucks ermöglichen, um das Werkstück 11 an der Spannplatte 1 festzulegen.

Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 ist die Dichtung 9 zweiteilig ausgestaltet, da das Werkstück 11 kleiner ist als die Spannplatte und demzufolge die Oberfläche der Kontaktschicht 3 nicht vollständig abdeckt. Eine am Rand der Spannplatte 1 umlaufende Randdichtung 9a verhindert Leckagen an den Rändern der Wabenplatten, also an den Rändern der Kontaktschicht 3 und der Zwischenschicht 6. Eine Flächendichtung 9b in Form einer Gummimatte umgibt das Werkstück 11 und liegt der Kontaktfläche der Kontaktschicht 3 an, so dass auch an der Oberfläche der Spannplatte 1 keine Leckage und somit kein Verlust des angelegten Unterdrucks auftreten kann.