Anzeigevorrichtung mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbarer Bildpunkte

Es wird eine Anzeigevorrichtung angegeben.

Es ist eine Aufgabe, eine Anzeigevorrichtung anzugeben, die einen besonders zuverlässigen, effizienten Betrieb der

Anzeigevorrichtung erlaubt.

Es wird eine Anzeigevorrichtung angegeben. Insbesondere umfasst die Anzeigevorrichtung eine Mehrzahl getrennt voneinander betreibbarer Bildpunkte, welche eine

Halbleiterschichtenfolge zur Erzeugung von

elektromagnetischer Strahlung umfasst. Die

Halbleiterschichtenfolge weist zum Beispiel eine erste

Halbleiterschicht, eine aktive Schicht und eine zweite

Halbleiterschicht auf. Bei der Anzeigevorrichtung kann es sich beispielsweise um eine Leuchtdiode, insbesondere um eine Dünnfilm-Leuchtdiode handeln, welche frei von einem

Aufwachssubstrat für die Halbleiterschichtenfolge ist.

Die Anzeigevorrichtung erstreckt sich in einer vertikalen Richtung zwischen einer ersten Hauptebene und einer zweiten Hauptebene, wobei die vertikale Richtung quer oder senkrecht zur ersten und/oder zweiten Hauptebene verlaufen kann. Bei den Hauptebenen kann es sich beispielsweise um die

Haupterstreckungsebenen an der Deckfläche und der Bodenfläche der Anzeigevorrichtung handeln. Die Anzeigevorrichtung ist in lateraler Richtung, also zum Beispiel zumindest stellenweise parallel zu den Hauptebenen flächig ausgedehnt und weist in der vertikalen Richtung eine Dicke auf, die klein ist gegenüber einer maximalen Erstreckung der Anzeigevorrichtung in lateraler Richtung.

Beispielsweise enthält die Halbleiterschichtenfolge,

insbesondere die aktive Schicht, ein III-V-Verbindungs-

Halbleitermaterial . III-V-Verbindungs-Halbleitermaterialien sind zur Strahlungserzeugung im ultravioletten

(Al _x In _y Gai- _x - _y N) über den sichtbaren (Al _x In _y Gai- _x - _y N,

insbesondere für blaue bis grüne Strahlung, oder

Al _x In _y Gai- _x - _y P, insbesondere für gelbe bis rote Strahlung) bis in den infraroten (Al _x In _y Gai- _x - _y As) Spektralbereich besonders geeignet. Hierbei gilt jeweils O ^ x ^ l, O ^ y ^ l und x + y < 1, insbesondere mit x ¥= 1 , y ¥= 1, x ^ O und/oder y + 0. Mit III-V-Verbindungs-Halbleitermaterialien,

insbesondere aus den genannten Materialsystemen, können weiterhin bei der Strahlungserzeugung hohe interne

Quanteneffizienzen erzielt werden.

Die aktive Schicht ist zwischen der ersten Halbleiterschicht und der zweiten Halbleiterschicht angeordnet. Die erste

Halbleiterschicht und die zweite Halbleiterschicht weisen zweckmäßigerweise voneinander verschiedene Leitungstypen auf. Insbesondere kann es sich bei der ersten Halbleiterschicht um eine p-dotierte Halbleiterschicht handeln und bei der zweiten Halbleiterschicht um eine n-dotierte Halbleiterschicht.

Bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung gehen die

Bildpunkte vorzugsweise aus einer gemeinsamen

Halbleiterschichtenfolge hervor. Die einem jeweiligen

Bildpunkt zugeordneten Halbleiterschichten, also ein

lateraler Bereich der Halbleiterschichtenfolge, der den

Bildpunkt bildet, können bezüglich ihrer

Materialzusammensetzung und ihrer Schichtdicken abgesehen von herstellungsbedingten Schwankungen identisch zu

Halbleiterschichten sein, die einem weiteren Bildpunkt der Anzeigevorrichtung zugeordnet sind. Beispielsweise weist die Anzeigevorrichtung einen Träger auf. Der Träger kann beispielsweise eine Mehrzahl von Schaltern aufweisen, die jeweils zur Steuerung von zumindest einem Bildpunkt dem jeweiligen Bildpunkt zugeordnet sind. Der

Träger kann die Halbleiterschichtenfolge beispielsweise mechanisch stabilisieren.

Die erste Hauptebene befindet sich beispielhaft auf der dem Träger abgewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge.

Entsprechend befindet sich die zweite Hauptebene beispielhaft auf der der Halbeiterschichtenfolge abgewandten Seite des Trägers .

In zumindest einer Ausführungsform umfasst die

Anzeigevorrichtung eine erste Kontaktstruktur zur

Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht. Ferner umfasst die Anzeigevorrichtung eine zweite Kontaktstruktur zur

Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht.

Die erste Kontaktstruktur ist beispielsweise zwischen der Halbleiterschichtenfolge und dem Träger angeordnet. Die erste Kontaktstruktur ist insbesondere elektrisch leitend mit der ersten Halbleiterschicht verbunden. Mittels der ersten

Kontaktstruktur ist die erste Halbleiterschicht von der zweiten Hauptebene her elektrisch kontaktierbar .

Beispielsweise besteht die erste Kontaktstruktur aus einer metallischen Schicht oder einem metallischen Schichtenstapel. Bevorzugt besitz die erste Kontaktstruktur eine optische Spiegelwirkung. Beispielhaft besteht die erste

Kontaktstruktur aus einem Material wie AI, Ag, Au, oder Rh, oder weist ein solches Material auf. Insbesondere ist eine Schichtdicke der ersten Kontaktstruktur zwischen 50nm und 500nm.

Zusätzlich oder alternativ ist zwischen der

Halbleiterschichtenfolge und der metallischen Schicht bzw. dem metallischen Schichtenstapel eine transparente leitfähige Oxid (TCO) Schicht eingebracht. Beispielhaft besteht diese aus einem Material wie ITO, SnO, ZnO, oder weist ein solches auf. Insbesondere ist eine Schichtdicke einer solchen Schicht kleiner als lOOnm. Zusätzlich kann zwischen der transparenten leitfähigen Oxid Schicht und der metallischen Schicht bzw. dem metallischen Schichtenstapel ein Dielektrikum oder ein dieleketrischer Schichtenstapel angeordnet sein. Beispielhaft besteht diese bzw. dieser aus Si02 oder weist Si02 auf. Insbesondere ist eine Schichtdicke hiervon zwischen lOOnm und lOOOnm. Das

Dielektrikum bzw. der der dielektrische Schichtenstapel kann beispielsweise Ausnehmungen aufweisen, insbesondere

vereinzelt. Somit ist eine elektrisch leitende Verbindung zwischen der transparenten leitfähigen Oxid Schicht und der metallischen Schicht bzw. dem metallischen Schichtenstapel gegeben .

Die zweite Kontaktstruktur ist beispielsweise ebenfalls zwischen dem Träger und der Halbleiterschichtenfolge

angeordnet. Die zweite Kontaktstruktur ist insbesondere elektrisch leitend mit der zweiten Halbleiterschicht

verbunden. Mittels der zweiten Kontaktstruktur ist die zweite Halbleiterschicht von der zweiten Hauptebene her elektrisch kontaktierbar .

Die erste Kontaktstruktur und/oder die zweite Kontaktstruktur oder zumindest eine Teilschicht davon sind beispielsweise reflektierend ausgebildet, insbesondere im Hinblick auf die im Betrieb der Anzeigevorrichtung erzeugte Strahlung.

In zumindest einer Ausführungsform weist die erste

Kontaktstruktur getrennt voneinander betreibbare erste

Kontakte auf. Die ersten Kontakte erstrecken sich jeweils lateral unterbrechungsfrei entlang der ersten

Halbleiterschicht. Mit ihrer Kontur begrenzen die ersten Kontakte jeweils einen Bildpunkt lateral.

Den ersten Kontakten kann in diesem Zusammenhang

beispielsweise jeweils ein Schalter zugeordnet sein zur

Steuerung von zumindest einem Bildpunkt. Insbesondere sind die ersten Kontakte elektrisch mit dem jeweiligen Schalter verbunden. Die ersten Kontakte kontaktieren die erste

Halbleiterschicht jeweils getrennt voneinander elektrisch. In einer Draufsicht der Anzeigevorrichtung in vertikaler

Richtung begrenzt die laterale Kontur jeweils eines der ersten Kontakte jeweils einen Bildpunkt. In anderen Worten ist eine laterale Erstreckung eines Bildpunkts durch eine laterale Erstreckung eines jeweiligen ersten Kontakts

gebildet. Die ersten Kontakte sind insbesondere jeweils einem Bildpunkt zur Steuerung des Bildpunkts zugeordnet,

insbesondere eineindeutig zugeordnet.

In zumindest einer Ausführungsform weisen die

Halbleiterschichtenfolge und die erste Kontaktstruktur mindestens eine bezüglich eines jeweiligen Bildpunkts lateral angrenzende Ausnehmung auf. Die mindestens eine Ausnehmung erstreckt sich durch die erste Kontaktstruktur, die erste Halbleiterschicht und die aktive Schicht hindurch in die zweite Halbleiterschicht hinein.

Insbesondere erstreckt sich die mindestens eine Ausnehmung von der zweiten Hauptebene quer oder senkrecht hin zu der ersten Hauptebene. Die mindestens eine Ausnehmung unterbricht hierbei insbesondere die erste Kontaktstruktur.

Beispielsweise sind mittels der mindestens einen Ausnehmung jeweils lateral aufeinanderfolgende erste Kontakte

voneinander elektrisch getrennt. Die mindestens eine

Ausnehmung erstreckt sich in lateraler Richtung insbesondere in einem Bereich einer optischen Trennung zwischen den einzelnen Bildpunkten in Draufsicht der Anzeigevorrichtung. Bei der optischen Trennung handelt es sich insbesondere um eine laterale Trennung der einzelnen Bildpunkte, die

beispielsweise durch einen Betrachter in Draufsicht der

Anzeigevorrichtung direkt wahrgenommen werden kann und/oder durch geeignete Vergrößerung messbar ist und/oder zumindest indirekt beispielsweise in Form eines erhöhten

Schärfeeindrucks durch den Betrachter in Draufsicht

wahrgenommen werden kann. In zumindest einer Ausführungsform weist die zweite

Kontaktstruktur zweite Kontakte auf. Die zweiten Kontakte erstrecken sich von einer der ersten Kontaktstruktur

zugewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge durch die mindestens eine Ausnehmung.

Die zweiten Kontakte kontaktieren die zweite

Halbleiterschicht jeweils elektrisch. Dabei können die zweiten Kontakte insbesondere miteinander elektrisch in Form einer gemeinsamen Elektrode der Anzeigevorrichtung verbunden sein .

Die zweiten Kontakte sind insbesondere von der ersten

Halbleiterschicht elektrisch isoliert. In diesem Zusammenhang kann die Anzeigevorrichtung eine Trennstruktur aufweisen, die die zweiten Kontakte von den ersten Kontakten und/oder der ersten Halbleiterschicht elektrisch trennt. Beispielsweise begrenzt die Trennstruktur die mindestens eine Ausnehmung hierzu lateral. Beispielsweise füllen die zweiten Kontakte die durch die Trennstruktur lateral begrenzte mindestens eine Ausnehmung vollständig aus. Alternativ dazu bedecken die zweiten Kontakte die Trennstruktur und die zweite

Halbleiterschicht an einer Stirnfläche der mindestens einen Ausnehmung, füllen die jeweilige Ausnehmung also insbesondere nicht vollständig aus.

Eine Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht mittels der zweiten Kontakte erstreckt sich insbesondere in dem Bereich der optischen Trennung zwischen den einzelnen Bildpunkten in Draufsicht der Anzeigevorrichtung. Die optische Trennung zwischen den Bildpunkten kann also insbesondere mit der

Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht kombiniert werden. Beispielsweise kann die Trennstruktur in diesem

Zusammenhang reflektierend ausgebildet sein, insbesondere im Hinblick auf die im Betrieb der Anzeigevorrichtung erzeugte Strahlung. Die Trennstruktur besteht beispielsweise aus einem teilweise oder vollständig transparenten Dielektrikum, beispielsweise aus Siliziumoxid und/oder Siliziumnitrid und/oder Aluminiumoxid. Beispielsweise kann so eine Reflexion winkelabhängig in Form von Totalreflexion an dem Dielektrikum direkt stattfinden, oder an der bezüglich eines Strahlengangs der im Betrieb erzeugten Strahlung dahinter liegenden Metallschicht der zweiten Kontaktstruktur statt. Die zweite Kontaktstruktur ist hierzu in vorteilhafterweise aus einem hochreflektierendem Material ausgebildet, wie beispielsweise Silber .

In zumindest einer Ausführungsform umfasst die

Anzeigevorrichtung mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbarer Bildpunkte eine Halbleiterschichtenfolge zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung. Die

Halbleiterschichtenfolge weist eine erste Halbleiterschicht, eine aktive Schicht und eine zweite Halbleiterschicht auf.

Die Anzeigevorrichtung umfasst ferner eine erste

Kontaktstruktur zur Kontaktierung der ersten

Halbleiterschicht und eine zweite Kontaktstruktur zur

Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht. Die erste

Kontaktstruktur weist getrennt voneinander betreibbare erste Kontakte auf, die sich jeweils lateral unterbrechungsfrei entlang der ersten Halbleiterschicht erstrecken. Die ersten Kontakte begrenzen jeweils mit ihrer Kontur einen Bildpunkt lateral .

Die Halbleiterschichtenfolge und die erste Kontaktstruktur weisen mindestens eine bezüglich eines jeweiligen Bildpunkts lateral angrenzende Ausnehmung auf, die sich durch die erste Kontaktstruktur, die erste Halbleiterschicht und die aktive Schicht hindurch in die zweite Halbleiterschicht hinein erstreckt. Die zweite Kontaktstruktur weist zweite Kontakte auf, die sich von einer der ersten Kontaktstruktur

zugewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge durch die mindestens eine Ausnehmung erstrecken. Dies ermöglicht eine besonders vorteilhafte laterale

Flächenausnutzung der Anzeigevorrichtung, bei der ein

Trenngraben zwischen den einzelnen Bildpunkten der ersten Kontaktstruktur und der ersten Halbleiterschicht als

Durchgangs-Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht genutzt wird. Ein Verhältnis von strahlender Fläche der Anzeigevorrichtung zu nicht-strahlender Fläche kann so besonders hoch gehalten werden, so dass zu einer hohen

Effizienz der Anzeigevorrichtung beigetragen wird. Des

Weiteren wird durch Kontaktierung in einem lateralen

Randbereich bezüglich der einzelnen Bildpunkte ein

unterbrechungsfreies Leuchtbild der jeweiligen Bildpunkte ermöglicht. Insbesondere kann dabei eine

kontaktierungsbedingt dunkel wahrnehmbare Stelle innerhalb eines Bildpunkts vermieden werden. Ferner wird eine

redundante Kontaktierung der Bildpunkte ermöglicht, so dass zu einer Zuverlässigkeit der Anzeigevorrichtung beigetragen wird . In zumindest einer Ausführungsform sind die ersten und zweiten Kontakte jeweils in direktem Kontakt zu den ersten und zweiten Halbleiterschichten. Die ersten und zweiten

Kontakte kontaktieren die jeweiligen Halbleiterschichten elektrisch insbesondere unmittelbar. Beispielsweise grenzen die ersten Kontakte und die erste Halbleiterschicht lateral flächig unmittelbar aneinander an. Beispielsweise erstrecken sich die zweiten Kontakte durch eine jeweilige Ausnehmung hindurch in die zweite Halbleiterschicht hinein. In zumindest einer Ausführungsform sind wenigstens einem Bildpunkt mehrere zweite Kontakte zugeordnet, die den

jeweiligen Bildpunkt redundant kontaktieren. Die mehreren zweiten Kontakte grenzen insbesondere an den wenigstens einen Bildpunkt lateral an. Ein Betrieb des wenigstens einen

Bildpunkts erfolgt durch Bestromung der

Halbleiterschichtenfolge über die mehreren, dem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakte und den jeweiligen ersten

Kontakt.

Durch Anordnung der zweiten Kontakte in einem lateralen

Randbereich der Bildpunkte können einem einzigen Bildpunkt mehrere redundante zweite Kontakte zugeordnet sein. Ein

Ausfall eines der mehreren zweiten Kontakte kann so besonders einfach kompensiert werden. Dies trägt zu einer hohen

Ausbeute bei Herstellung der Anzeigevorrichtung sowie deren hohen Ausfallsicherheit bei. In zumindest einer Ausführungsform ist zumindest einer der zweiten Kontakte an mehrere benachbarte Bildpunkte lateral angrenzend angeordnet und zur Kontaktierung der mehreren benachbarten Bildpunkte ausgebildet. In anderen Worten ist der zumindest eine zweite Kontakt jeweils den mehreren benachbarten Bildpunkten zugeordnet. In vorteilhafter Weise können mittels eines einzigen Kontakts so mehrere Bildpunkte betrieben werden. Ein Flächenbedarf zur Kontaktierung der Bildpunkte kann so gering gehalten werden, so dass zu einem hohen Verhältnis von strahlender Fläche der

Anzeigevorrichtung zu nicht-strahlender Fläche beigetragen wird .

In zumindest einer Ausführungsform sind die Bildpunkte lateral gitterförmig getrennt angeordnet. Die Bildpunkte sind hierbei beispielsweise in Zeilen und quer oder senkrecht dazu angeordneten Spalten angeordnet, wobei die Zeilen und Spalten jeweils von Trennstegen getrennt werden. Die Trennstege der lateralen Trennung verlaufen dabei ebenfalls entlang der Zeilen und quer oder senkrecht dazu angeordneten Spalten. Die Laterale Trennung bildet dabei ein Gitter, welches

beispielsweise an Kreuzungspunkten der Trennstege

Gitterpunkte bzw. Knotenpunkte des Gitters umschließt. Die Bildpunkte sind in anderen Worten bezüglich des Gitters insbesondere in durch die Trennstege gebildeten

Zwischenräumen des Gitters angeordnet. Das heißt, die

Bildpunkte sind in Draufsicht der Anzeigevorrichtung optisch getrennt angeordnet. Wenigstens einer der zweiten Kontakte ist auf einem Knotenpunkt des Gitters angeordnet.

Beispielsweise können die Bildpunkte nach Art eines

regelmäßigen mehreckigen Gitters getrennt angeordnet sein. Eine laterale Trennung der Bildpunkte muss dabei nicht notwendigerweise entlang gerade verlaufender Linien erfolgen. Vielmehr können durch die laterale Trennung auch Bildpunkte mit zumindest bereichsweise gekrümmt oder geknickten Seiten entstehen. Beispielsweise können die Bildpunkte als

kreisförmige Punkte wahrgenommen werden. In vorteilhafter Weise ist eine Ansteuerung gitterförmig getrennt angeordneter Bildpunkte vereinfacht. Ferner kann eine Darstellung von Formen, Figuren oder Zeichen mittels der Anzeigevorrichtung präzise und flexibel erfolgen. In zumindest einer Ausführungsform ist auf jedem Knotenpunkt des Gitters einer der zweiten Kontakte angeordnet. In

vorteilhafter Weise ist der jeweilige zweite Kontakt somit in einem optischen Trennsteg zwischen den Bildpunkten

angeordnet, so dass eine strahlende Fläche der

Anzeigevorrichtung unterbrechungsfrei und mit maximaler Größe gehalten werden kann. Insbesondere kann der jeweilige zweite Kontakt bei Anordnung korrespondierend zu einem Knotenpunkt des Gitters lateral an mehrere Bildpunkte angrenzen, beispielsweise an vier Bildpunkte bei einem regelmäßigen rechteckigen Gitter. Dies ermöglicht es, eine besonders hohe Anzahl an benachbarten Bildpunkten mit dem lediglich einen jeweiligen zweiten Kontakt zu betreiben.

In zumindest einer Ausführungsform ist jeweils ein zweiter Kontakt zwischen zwei bezüglich jeweils einer Spalte und/oder bezüglich jeweils einer Zeile benachbarten Knotenpunkten angeordnet. Somit ist der jeweilige zweite Kontakt

beispielsweise jeweils zwei Bildpunkten zugeordnet.

In zumindest einer Ausführungsform ist auf jedem zweiten lateral aufeinanderfolgenden Knotenpunkt des Gitters einer der zweiten Kontakte angeordnet. In vorteilhafter Weise kann die Anzeigevorrichtung so frei von redundanten zweiten

Kontakten betrieben werden, so dass eine besonders hohe

Flächenausnutzung der Anzeigevorrichtung ermöglicht ist.

Abweichend hiervon ist es ebenfalls denkbar, dass auf jedem x. lateral aufeinanderfolgenden Knotenpunkt des Gitters einer der zweiten Kontakte angeordnet ist, wobei x eine beliebige natürliche Zahl sein kann. In anderen Worten können auch Bruchteile der Knotenpunkte, die von 1 und 0.5 verschieden sind, mit zweiten Kontakten belegt werden.

In zumindest einer Ausführungsform ist wenigstens einer der zweiten Kontakte, der einem Bildpunkt zugeordnet ist welcher an einen lateralen Randbereich der Anzeigevorrichtung

angrenzt, sich parallel entlang des Randbereichs erstreckend ausgebildet. Dies trägt zu einer gleichmäßigen Kontur der Anzeigevorrichtung und einer Prozesssicherheit bei

Herstellung der Anzeigevorrichtung bei. Beispielsweise können dabei mechanische Schwachstellen der Anzeigevorrichtung, insbesondere im Hinblick auf einen Vereinzelungsprozess , vermieden werden. Beispielhaft schließt der jeweilige zweite Kontakt derart bündig mit dem lateralen Randbereich der

Anzeigevorrichtung ab, dass in einem Übergangsbereich um den jeweiligen zweiten Kontakt entlang eines Randes der

Anzeigevorrichtung eine im Wesentlichen ebene Fläche

entsteht, in der sich die Struktur des jeweiligen zweiten Kontakts nicht abzeichnet. Abweichend hiervon ist der

jeweilige zweite Kontakt zumindest derart angeordnet, dass zumindest eine kantenfreie Fläche in besagtem

Übergangsbereich entsteht.

In zumindest einer Ausführungsform ist eine laterale

Erstreckung von einem Bildpunkt zugeordneten zweiten

Kontakten jeweils abhängig von einer Anzahl von dem

jeweiligen Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakten. Die laterale Erstreckung der zweiten Kontakte kann dabei sowohl in Form als auch in Größe variieren. Ein einem jeweiligen Bildpunkt zugeordneter zweiter Kontakt grenzt insbesondere an den jeweiligen Bildpunkt lateral an. Ein Betreiben des jeweiligen Bildpunkts erfolgt durch eine Bestromung über die dem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakte sowie dem

jeweiligen ersten Kontakt.

Eine Anpassung der lateralen Erstreckung der zweiten Kontakte ermöglicht ein besonders gleichmäßiges Leuchtbild der

Anzeigevorrichtung. Beispielsweise wird eine Helligkeit der einzelnen Bildpunkte durch einen Stromfluss durch die jeweils zugeordneten ersten und zweiten Kontakte beeinflusst. Der Stromfluss durch die Kontakte hängt dabei insbesondere ab von einer Querschnittsfläche der jeweiligen Kontakte.

Beispielhaft kann eine Anzahl von einem Bildpunkt

zugeordneten zweiten Kontakten reduziert sein im Vergleich zu weiteren Bildpunkten der Anzeigevorrichtung, so dass durch gleichzeitige Vergrößerung der dem Bildpunkt zugeordneten zweiten Kontakte im Vergleich zu den weiteren Bildpunkten der Anzeigevorrichtung zugeordneten zweiten Kontakten ein

kumulierter Stromfluss zum Betreiben der Bildpunkte im

Wesentlichen gleich ist, und eine einheitliche Helligkeit der Bildpunkte erreicht wird.

In zumindest einer Ausführungsform weist wenigstens einer der zweiten Kontakte, der einem Bildpunkt zugeordnet ist, welcher an einen lateralen Randbereich der Anzeigevorrichtung

angrenzt, einen vorgegebenen Abstand auf, mit dem der

jeweilige zweite Kontakt hin zu einem lateralen Inneren der Anzeigevorrichtung versetzt angeordnet ist. Beispielsweise ist der jeweilige zweite Kontakt derart hin zu dem Inneren der Anzeigevorrichtung lateral versetzt angeordnet, dass der jeweilige zweite Kontakt bündig mit dem Rand abschließt, oder zumindest ein laterales Überstehen des jeweiligen zweiten Kontakts im Hinblick auf den Übergangsbereich um den

jeweiligen zweiten Kontakt entlang des Randes der

Anzeigevorrichtung verringert oder vermieden wird. Der jeweilige zweite Kontakt kann hierbei beispielsweise auf dem vorgenannten Gitter angeordnet sein, bezüglich eines

Knotenpunktes des Gitters jedoch lateral versetzt sein. In vorteilhafter Weise wird so zu einer hohen Prozesssicherheit bei Herstellung der Anzeigevorrichtung beigetragen.

In zumindest einer Ausführungsform ist eine laterale

Erstreckung wenigstens einer der zweiten Kontakte kreisförmig ausgebildet. In vorteilhafter Weise wird so eine besonders gleichmäßige Bestromung der dem wenigstens einen kreisförmig ausgebildeten zweiten Kontakt zugeordneten Bildpunkten ermöglicht . In zumindest einer Ausführungsform kann die laterale

Erstreckung eines jeweiligen zweiten Kontakts in vertikaler Richtung variieren. Insbesondere können der jeweilige zweite Kontakt und/oder die jeweilige Ausnehmung kegelförmig oder kegelartig ausgebildet sein. Beispielsweise ist die laterale Erstreckung der jeweiligen Ausnehmung und/oder des jeweiligen zweiten Kontakts hin zu der zweiten Hauptebene vergrößert. Eine laterale Begrenzung eines dem jeweiligen zweiten Kontakt zugeordneten Bildpunkts ist dann beispielsweise

trichterförmig, so dass zu einer besonders vorteilhaften Abstrahlcharakteristik von im Bereich des jeweiligen

Bildpunkts erzeugter Strahlung beigetragen wird.

In zumindest einer Ausführungsform umschließt wenigstens einer der zweiten Kontakte einen Bildpunkt lateral. In vorteilhafter Weise wird ein besonders gleichmäßiger

Stromfluss hin zu dem lateral umschlossenen Bildpunkt

ermöglicht. Dies trägt zu einer gleichmäßigen erzeugten

Strahlung im Bereich des Bildpunkts bei, insbesondere im Hinblick auf eine wahrnehmbare Helligkeit des Bildpunkts.

In zumindest einer Ausführungsform ist die zweite

Kontaktstruktur gitterförmig ausgebildet. In vorteilhafter Weise ermöglicht dies eine besonders einfache, redundante Kontaktierung sowie eine gleichmäßige Bestromung der

Bildpunkte .

Weitere Merkmale, Ausgestaltungen und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der folgenden Beschreibung der

Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren.

Es zeigen: Figur 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer

Anzeigevorrichtung mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbaren

Bildpunkten in schematisch dargestellter lateraler Schnittansicht,

Figur 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der

Anzeigevorrichtung gemäß Figur 1 in schematisch dargestellter lateraler

Schnittansicht, und

Figuren 3 bis 10 ein drittes bis zehntes

Ausführungsbeispiel der

Anzeigevorrichtung gemäß Figur 1 in schematisch dargestellter Draufsicht

Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht als maßstäblich zu

betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente und

insbesondere Schichtdicken zur besseren Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß

dargestellt sein.

Ein erstes Ausführungsbeispiel einer Anzeigevorrichtung 1 mit einer Mehrzahl getrennt voneinander betreibbaren Bildpunkten la, lb, lc ist in Figur 1 gezeigt. Die Anzeigevorrichtung 1 erstreckt sich in lateraler Richtung beispielsweise über den dargestellten Ausschnitt hinaus, wie durch die gestrichelten Linien der Bildpunkte la, lc angedeutet. Die Anzeigevorrichtung 1 umfasst eine

Halbleiterschichtenfolge 3, die eine erste Halbleiterschicht 31, eine zur Erzeugung von Strahlung vorgesehene aktive

Schicht 33 sowie eine zweite Halbleiterschicht 35 aufweist. Die Anzeigevorrichtung 1 erstreckt sich in vertikaler

Richtung zwischen einer ersten Hauptebene 10a und einer zweiten Hauptebene 10b. Die erste Hauptebene 10a kann dabei insbesondere eine Strahlungsaustrittsfläche der

Anzeigevorrichtung 1 bilden.

Die aktive Schicht 33 ist dabei zwischen der ersten

Halbleiterschicht 31 und der zweiten Halbleiterschicht 35 angeordnet, wobei die beiden Halbleiterschichten 31, 35 unterschiedlichen Leitungstyps sind. Die erste

Halbleiterschicht 31 ist insbesondere p-leitend, und die zweite Halbleiterschicht 35 n-leitend ausgebildet.

Unmittelbar flächig angrenzend an die erste Halbleiterschicht 31 erstreckt sich eine erste Kontaktstruktur 51, die eine elektrische Kontaktierung der ersten Halbleiterschicht 31 ermöglicht. Die erste Kontaktstruktur 51 ist dabei von einer Mehrzahl sich vertikal durch die Anzeigevorrichtung 1 erstreckender Ausnehmungen 7a, 7b unterbrochen. Insbesondere ist die erste Kontaktstruktur 51 in eine Mehrzahl von ersten Kontakten 51a, 51b, 51c unterteilt, die elektrisch

voneinander getrennt sind. Eine laterale Erstreckung der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c korrespondiert zu einer

lateralen Erstreckung der Bildpunkte la, lb, lc. Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c kontaktieren die erste

Halbleiterschicht 31 elektrisch von der zweiten Hauptebene 10b der Anzeigevorrichtung 1 her und ermöglichen eine

Bestromung der Bildpunkte la, lb, lc getrennt voneinander. In anderen Worten ist jeweils einer der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c jeweils einem der Bildpunkte la, lb, lc zugeordnet zum separaten Betreiben des jeweiligen Bildpunkts la, lb, lc. Die Ausnehmungen 7a, 7b sind dabei in einem Bereich eines jeweiligen optischen Trennstegs 7x zwischen den Bildpunkten la, lb, lc angeordnet, insbesondere innerhalb der Trennstege 7x. Die einem jeweiligen Bildpunkt la, lb, lc zugeordneten ersten Kontakte 51a, 51b, 51c sind somit flächig

unterbrechungsfrei ausgebildet.

Die Ausnehmungen 7a, 7b erstrecken sich in der vertikalen Richtung von der ersten Kontaktstruktur 51 weiter durch die erste Halbleiterschicht 31 sowie die aktive Schicht 33. Wie in Figur 1 dargestellt können sich die Ausnehmungen 7a, 7b ferner in die zweite Halbleiterschicht 35 hinein erstrecken. Die Ausnehmungen 7a, 7b sind dabei durch eine elektrisch isolierende Trennstruktur 53 lateral zu der

Halbleiterschichtenfolge 3 sowie der ersten Kontaktstruktur 51 begrenzt. Die Trennstruktur 53 erstreckt sich ferner in lateraler Richtung auf einer der zweiten Hauptebene 10b zugewandten Seite entlang der ersten Kontaktstruktur 51.

Eine zweite Kontaktstruktur 55 erstreckt sich ebenfalls in lateraler Richtung auf einer der zweiten Hauptebene 10b zugewandten Seite entlang der Trennstruktur 53. Die zweite Kontaktstruktur 55 ist dabei beispielsweise mittels der

Trennstruktur 53 elektrisch von der ersten Kontaktstruktur 51 getrennt. Die zweite Kontaktstruktur 55 bildet dabei zweite Kontakte 55a, 55b, welche sich in die Ausnehmungen 7a, 7b hin zu der zweiten Halbleiterschicht 35 erstrecken. Die zweiten Kontakte 55a, 55b kontaktieren die zweite

Halbleiterschicht 35 elektrisch von der zweiten Hauptebene 10b der Anzeigevorrichtung 1 her und ermöglichen eine

Bestromung der Bildpunkte la, lb, lc. Die zweiten Kontakte 55a, 55b können dabei insbesondere elektrisch miteinander verbunden sein. Beispielsweise bildet die zweite

Kontaktstruktur 55 dann eine gemeinsame Elektrode der

Bildpunkte la, lb, lc der Anzeigevorrichtung 1. Jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b kann dabei jeweils einem der Bildpunkte la, lb, lc zugeordnet sein zum Betreiben des jeweiligen Bildpunkts la, lb, lc. Des Weiteren kann jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b auch jeweils mehr als einem der Bildpunkte la, lb, lc zugeordnet sein zum Betreiben der jeweiligen Bildpunkte la, lb, lc. Ferner kann auch jeweils mehr als einer der zweiten Kontakte 55a, 55b jeweils einem und/oder jeweils mehr als einem der Bildpunkte la, lb, lc zugeordnet sein zum Betreiben des jeweiligen

Bildpunkts la, lb, lc beziehungsweise der jeweiligen

Bildpunkte la, lb, lc. Abweichend von der in Figur 1

dargestellten lateralen Schnittansicht erfolgt eine Trennung der zweiten Kontaktstruktur 55 durch die Trennstruktur 53 beispielhaft in der Papierebene. In weiteren lateralen

Schnitten der Anzeigevorrichtung 1 senkrecht zu der

Papierebene ist die zweite Kontaktstruktur 55 beispielsweise durchgehend verbunden. In anderen Worten existiert die in Figur 1 gezeigte laterale Trennung der zweiten

Kontaktstruktur 55 beispielsweise nur in einem Bereich der Papierebene, in einer Draufsicht ist diese Stelle aber keine Trennung, sondern nur eine lokale Aussparung, die zur

Durchführung des jeweiligen Kontakts 55a, 55b des jeweiligen Bildpunkts la, lb, lc in Richtung eines Trägers dient. Ein zweites Ausführungsbeispiel der Anzeigevorrichtung 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel ist in Figur 2 gezeigt. Im Gegensatz zu dem ersten Ausführungsbeispiel weist die Anzeigevorrichtung 1 zusätzlich einen Träger 9 auf. Der

Träger 9 kann beispielsweise einer mechanischen

Stabilisierung der Anzeigevorrichtung 1 dienen. Alternativ oder zusätzlich kann der Träger 9 einer elektrischen

Kontaktierung der Anzeigevorrichtung 1 dienen. Beispielsweise umfasst der Träger 9 hierzu eine weitere

Trennstruktur 91, die die erste Kontaktstruktur 51 und zweite Kontaktstruktur 55 voneinander elektrisch trennt. Der Träger umfasst ferner getrennt voneinander betreibbare Schalter 93a, 93b, 93c, die jeweils mit einem der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c elektrisch verbunden sind.

Anhand der Figuren 3 bis 10 sind ein drittes bis zehntes Ausführungsbeispiel der Anzeigevorrichtung 1 gemäß einem der vorigen Ausführungsbeispiele in schematischer Draufsicht gezeigt. Zur vereinfachten Darstellung sind mehrere vertikale Schnittebenen in der Papierebene dargestellt. Insbesondere ist eine Anordnung der ersten Kontaktstruktur 51 und zweiten Kontaktstruktur 55 dargestellt, wobei sich eine Anzahl, Form, Größe sowie Position der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c und der zweiten Kontakte 55a, 55b in den folgenden

Ausführungsbeispielen unterscheiden können.

In dem dritten Ausführungsbeispiel (vergleiche Figur 3) sind die Bildpunkte la, lb, lc gitterförmig getrennt voneinander angeordnet. Die Bildpunkte la, lb, lc korrespondieren in ihrer lateralen Erstreckung dabei im Wesentlichen zu den ersten Kontakten 51a, 51b, 51c. Bei dem Gitter 100 handelt es sich beispielhaft um ein gleichmäßiges Gitter, insbesondere ein gleichmäßig rechteckiges Gitter.

Das Gitter umfasst Knotenpunkte lOOx, in denen sich jeweils eine Spalte und eine Zeile des Gitters 100 kreuzen. Die

Zeilen und Spalten des Gitters bilden dabei insbesondere die optischen Trennstege 7x zwischen den einzelnen Bildpunkten la, lb, lc. Auf den Knotenpunkten lOOx ist jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b angeordnet. Zum Betreiben eines jeweiligen Bildpunkts la, lb, lc sind jedem Bildpunkt la, lb, lc vier angrenzende zweite Kontakte 55a, 55b zugeordnet, die eine redundante Bestromung der zweiten Halbleiterschicht 35 (vergleiche Figur 1) im Bereich des jeweiligen Bildpunkts la, lb, lc ermöglichen. Die Bestromung erfolgt bezüglich des jeweiligen Bildpunkts la, lb, lc von allen vier Seiten gleichmäßig, so dass eine gleichmäßige Leuchtdichteverteilung der Bildpunkte la, lb, lc ermöglicht wird.

Jeweils einer der zweiten Kontakte 55a, 55b ist dabei ferner vier angrenzenden Bildpunkten la, lb, lc zugeordnet, sodass trotz redundanter Bestromung der zweiten Halbleiterschicht 35 im Bereich der jeweiligen Bildpunkte la, lb, lc keine

zusätzlichen zweiten Kontakte 55a, 55b erforderlich sind. In vorteilhafter Weise wird ein lateraler Flächenbedarf der zweiten Kontakte 55a, 55b somit gering gehalten. Durch

Anordnung der zweiten Kontakte 55a, 55b im Bereich der optischen Trennstege 7x zwischen den Bildpunkten la, lb, lc wird ferner zu einer besonders hohen strahlenden Fläche der Anzeigevorrichtung 1 beigetragen.

Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c sind beispielsweise

reflektierend ausgebildet. Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c können dann auch als „Kontaktspiegel", oder „Spiegelfläche" bezeichnet werden. In diesem Ausführungsbeispiel sind die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c beispielhaft rechteckig

ausgebildet . Die zweiten Kontakte 55a, 55b sind beispielsweise in

lateraler Erstreckung kreisförmig ausgebildet, sodass die zweite Halbleiterschicht 35 im Bereich der jeweils

angrenzenden Bildpunkte la, lb, lc gleichmäßig bestromt wird. In dem vierten Ausführungsbeispiel (vergleiche Figur 4) sind die Bildpunkte la, lb, lc ebenfalls gitterförmig getrennt voneinander angeordnet. Eine laterale Erstreckung der

Ausnehmungen 7a, 7b ist im Bereich der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c derart groß dimensioniert, dass eine laterale

Erstreckung der ersten Kontakte 51a, 51b, 51c im Vergleich zu dem dritten Ausführungsbeispiel verringert ist. Dies

ermöglicht eine besonders große laterale Erstreckung der zweiten Kontakte 55a, 55b, so dass eine Stromdichte beim Betreiben der zweiten Kontakte 55a, 55b gering gehalten werden kann. Ein Verlust strahlender Fläche durch die

verringerte laterale Erstreckung der ersten Kontakte 55a, 55b ist dabei in vorteilhafter Weise gering im Vergleich zu einer mittig in Bezug auf die jeweiligen Bildpunkte la, lb, lc angeordneten Kontaktierung der zweiten Halbleiterschicht 35. Die ersten Kontakte 51a, 51b, 51c können in diesem

Zusammenhang Aussparungen an ihrem lateralen Randbereich aufweisen, insbesondere kreissegmentförmige Aussparungen.

Das fünfte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den vorigen Ausführungsbeispielen drei und vier durch eine Anzahl der zweiten Kontakte 55a, 55b. In diesem Ausführungsbeispiel sind jedem Bildpunkt la, lb, lc lediglich zwei zweite

Kontakte 55a, 55b zugeordnet. Abweichend hiervon kann sich eine Anzahl der einem jedem Bildpunkt la, lb, lc zugeordneten zweiten Kontakte 55a, 55b weiter unterscheiden.

Beispielsweise könnte jedem Bildpunkt la, lb, lc lediglich ein zweiter Kontakt 55a, 55b zugeordnet sein. Hierzu könnte beispielsweise lediglich auf einem Knotenpunkt jeder zweiten Zeile und jeder zweiten Spalte ein zweiter Kontakt 55a, 55b angeordnet sein. Vorteilhafterweise entfallen bei den

jeweiligen ersten Kontakten 51a, 51b, 51c, die den nicht mit zweiten Kontakten 55a, 55b belegten Knotenpunkten lOOx zugeordnet sind, die kreissegmentförmigen Aussparungen

(vergleiche viertes Ausführungsbeispiel) , so dass die einem jeweiligen Bildpunkt la, lb, lc zugeordnete Emissionsfläche maximiert wird. In dem sechsten Ausführungsbeispiel (vergleiche Figur 6) bilden die Ausnehmungen 7a, 7b beispielsweise eine gemeinsame Ausnehmung, die sich durchgehend in die

Halbleiterschichtenfolge 3 erstreckt. Beispielhaft ist diese Ausnehmung in die Halbleiterschichtenfolge 3 hineingeätzt. Die zweiten Kontakte 55a, 55b bilden in dieser Ausnehmung beispielsweise eine durchgehende zweite Kontaktstruktur 55, die die jeweiligen Bildpunkte la, lb, lc lateral umschließt.

In dem siebten Ausführungsbeispiel (vergleiche Figur 7) ist ein lateraler Randbereich 10c der Anzeigevorrichtung 1 dargestellt. Im Gegensatz zu den vorigen

Ausführungsbeispielen drei bis sechs sind den Bildpunkten la, lb, lc, die an den lateralen Randbereich 10c angrenzen, lediglich zwei der zweiten Kontakte 55a, 55b zugeordnet, beziehungsweise in einem lateralen Eck der Anzeigevorrichtung la lediglich einer der zweiten Kontakte 55a, 55b zugeordnet. Aufgrund einer mechanischen Empfindlichkeit der zweiten

Kontakte 55a, 55b ermöglicht diese Anordnung ein vereinfachtes Durchtrennen der Anzeigevorrichtung 1 im

Randbereich 10c mit reduziertem Ausfallrisiko.

In dem achten Ausführungsbeispiel (vergleiche Figur 8) sind im Gegensatz zu dem siebten Ausführungsbeispiel im lateralen Randbereich 10c der Anzeigevorrichtung 1 die zweiten Kontakte 55a, 55b parallel zu dem lateralen Randbereich 10c

ausgebildet. Beispielsweise können die zweiten Kontakte 55a, 55b auch einen zusammenhängenden Rahmen der

Anzeigevorrichtung 1 bilden. Dies ermöglicht ein

vereinfachtes Durchtrennen der Anzeigevorrichtung 1 im

Randbereich 10c, sowie eine gleichmäßige Bestromung sowie homogene Helligkeit auch der Bildpunkte la, lb, lc im

lateralen Randbereich 10c.

In dem neunten Ausführungsbeispiel (vergleiche Figur 9) sind im Gegensatz zu den vorigen Ausführungsbeispielen sieben und acht im lateralen Randbereich 10c der Anzeigevorrichtung 1 die zweiten Kontakte 55a, 55b hin zu einem Inneren der

Anzeigevorrichtung 1 lateral versetzt angeordnet. In

vorteilhafter Weise kann so unter Aufrechterhaltung einer möglichst homogenen Bestromung der jeweiligen Bildpunkte la, lb, lc eine Ausfallsicherheit bei einem Trennprozess erhöht werden, beispielsweise indem die zweiten Kontakte 55a, 55b von der Trennkante entfernt werden.

In dem zehnten Ausführungsbeispiel (vergleiche Figur 10) unterscheidet sich im Gegensatz zu dem siebten

Ausführungsbeispiel eine Form und Größe der lateralen

Erstreckung der zweiten Kontakte 55a, 55b, welche den an den lateralen Randbereich 10c angrenzenden Bildpunkten la, lb, lc zugeordnet sind. Eine laterale Erstreckung der zweiten

Kontakte 55a, 55b ist insbesondere hin zu dem Randbereich 10c vergrößert im Vergleich zu den zweiten Kontakten 55a, 55b im lateralen Inneren der Anzeigevorrichtung 1. In vorteilhafter Weise ist eine Stromdichte der zweiten Kontakte 55a, 55b sowie ein kumulierter Strom, der der zweiten

Halbleiterschicht 35 in einem jeweiligen Bereich

korrespondierend zu einem jeweiligen Bildpunkt la, lb, lc zugeführt wird, somit homogen.

Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die

Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von

Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den

Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.

Es wird die Priorität der deutschen Patentanmeldung DE

102015108532.1 beansprucht, deren Offenbarungshalt hiermit ausdrücklich durch Rückbezug aufgenommen wird.

Bezugs zeichenliste :

1 Anzeigevorrichtung la, lb, lc Bildpunkt

10a erste Hauptebene

10b zweite Hauptebene

10c Randbereich

3 Halbleiterschichtenfolge

31 erste Halbleiterschicht 33 aktive Schicht

35 zweite Halbleiterschicht

51 erste Kontaktstruktur

51a, 51b, 51c erste Kontakte

53 Trennstruktur

55 zweite Kontaktstruktur

55a, 55b zweite Kontakte

7a, 7b Ausnehmung

7x Trennsteg

9 Träger

91 Trennstruktur

93a, 93b, 93c Schalter

100 Gitter

lOOx Knotenpunkt