以下、実施の形態に従って本発明を詳細� ��説明する。

 図1に、本発明を具備するアイパターン評 価装置1の一実施形態例を図示する。

 本実施形態例のアイパターン評価装置1は 、データ列ファイル10と、伝送路モデル記憶� ��11と、波形シミュレータ12と、プロットデー タファイル13と、マスクスペック記憶部14と� �アイパターン評価部15と、ディスプレイ16と� ��備える。

 データ列ファイル10は、図2に示すような1 か0をとる信号の時系列データで構成される� �ータ列を記憶する。

 伝送路モデル記憶部11は、設計対象装置� �備える受信デバイスに接続される伝送路の� �学的モデルを記憶する。

 波形シミュレータ12は、伝送路モデル記� �部11の記憶する伝送路モデルに基づいて、デ ータ列ファイル10の記憶するデータ列の伝送� ��形をシミュレートすることで、時間と波形� ��圧値との対応関係について記述するプロッ� ��データを生成する。

 プロットデータファイル13は、波形シミ� �レータ12の生成した図3に示すようなプロッ� �データを記憶する。

 マスクスペック記憶部14は、アイパター� �の品質評価基準となる図19に示すようなマス クのスペックを記憶する。

 アイパターン評価部15は、プロットデー� �ファイル13の記憶するプロットデータから2� �ロック周期分の長さを持つ波形信号片を順� �切り出してディスプレイ16に重畳表示するこ とで、図18に示すようなアイパターンを生成� ��てディスプレイ16に表示する波形表示部150� �、波形表示部150の生成するアイパターンが� �スクスペック記憶部14の記憶するマスクに対 して持っているマージンを算出してその算出 結果をディスプレイ16に表示するマージン算� ��部151とを備えることで、アイパターンを生� ��してディスプレイ16に表示するとともに、� �イパターンがマスクに対して持っているマ� �ジンを算出してその算出結果をディスプレ� �16に表示する。

 図4ないし8に、アイパターン評価部15の実 行するフローチャートの一例を図示する。

 ここで、図4に示すフローチャートは、ア イパターン評価部15の実行する全体的な処理� ��ついてのフローチャートである。また、図5 および図6に示すフローチャートは、図4に示� ��フローチャートのステップS10で実行する処� ��についての詳細なフローチャートである。� ��た、図7に示すフローチャートは、図4に示� �フローチャートのステップS30で実行する処� �についての詳細なフローチャートである。� �た、図8に示すフローチャートは、図4に示す フローチャートのステップS40で実行する処理 についての詳細なフローチャートである。

 次に、これらのフローチャートに従って� ��図1のように構成される本実施形態例のアイ パターン評価装置1の実行する処理について� �細に説明する。

 〔1〕全体的な処理
 アイパターン評価部15は、アイパターンが� �スクに対して持っているマージンを算出す� �場合には、図4のフローチャートに示すよう� ��、先ず最初に、ステップS10で、アイパター� ��開口の時間軸上の中心位置を割り出すこと� ��、アイパターンの中心位置を算出する。

 続いて、ステップS20で、算出したアイパ� ��ーンの中心位置にマスクの中心位置を配置� ��ることを想定して、その配置下でのマスク� ��持つ各特徴点の時間座標値および電圧座標� ��を算出することでマスクを作成する。

 受信デバイスを提供するメーカから図19� �示すようなマスクが提示される場合には、� �イパターンの中心位置として算出した位置� �このマスクの中心位置を配置することを想� �して、その配置下でのマスクの持つ各特徴� �r点,s点,t点,u点,p点,q点の時間座標値および電 圧座標値を算出するのである。

 続いて、ステップS30で、時間軸上に存在� ��ないマスクの持つ各特徴点について電圧軸� ��ージンを算出して、それに基づいて、最終� ��な電圧軸マージンを算出する。

 受信デバイスを提供するメーカから図19� �示すようなマスクが提示される場合には、� �間軸上に存在しない各特徴点r点,s点,t点,u点� ��ついて電圧軸マージンを算出して、それに� ��づいて、最終的な電圧軸マージンを算出す� ��のである。

 続いて、ステップS40で、時間軸上に存在� ��るマスクの持つ各特徴点について時間軸マ� ��ジンを算出して、それに基づいて、最終的� ��時間軸マージンを算出する。

 受信デバイスを提供するメーカから図19� �示すようなマスクが提示される場合には、� �間軸上に存在する各特徴点p点,q点について� �間軸マージンを算出して、それに基づいて� �最終的な時間軸マージンを算出するのであ� �。

 続いて、ステップS50で、ステップS30で算� ��した最終的な電圧軸マージンと、ステップS 40で算出した最終的な時間軸マージンとをデ� ��スプレイ16に表示して、処理を終了する。

 〔1-1〕アイパターン中心位置の算出処理
 次に、図5および図6のフローチャートに従� �て、図4のフローチャートのステップS10で実� ��するアイパターン中心位置の算出処理につ� ��て説明する。

 アイパターン評価部15は、図4のフローチ� ��ートのステップS10に進むことでアイパター� ��中心位置の算出処理に入ると、図5および図 6のフローチャートに示すように、先ず最初� �、ステップS100で、プロットデータファイル1 3から開始周期のプロットデータ(2クロック周 期分のプロットデータ)を読み出し、その中� �ら電圧値(電圧座標値)が±Vthに入るプロット� ��ータを抽出する。ここで、Vthはゼロ値近傍� ��設定される閾値である。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S100で抽出することになる電圧値が±Vthに入� �プロットデータが存在しない場合があるが� �この場合には、次の周期のプロットデータ(2 クロック周期分のプロットデータ)を読み出� �ていくことになる。

 続いて、ステップS101で、抽出したプロッ トデータの中から最小の時間値(時間座標値)� ��持つものを抽出して、その時間値を変数“� ��小時間”に代入する。

 続いて、ステップS102で、プロットデータ ファイル13に記憶される最終周期のプロット� ��ータ(2クロック周期分のプロットデータ)ま� ��処理を行ったのか否かを判断して、最終周� ��のプロットデータまで処理を行っていない� ��とを判断するときには、ステップS103に進ん で、プロットデータファイル13から次の周期� ��プロットデータ(2クロック周期分のプロッ� �データ)を読み出し、その中から電圧値が±Vt hに入るプロットデータを抽出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S103で抽出することになる電圧値が±Vthに入� �プロットデータが存在しない場合があるが� �この場合には、次の周期のプロットデータ(2 クロック周期分のプロットデータ)を読み出� �ていくことになる。

 続いて、ステップS104で、抽出したプロッ トデータの中から最小の時間値を持つものを 抽出する。

 続いて、ステップS105で、抽出したプロッ トデータの時間値が変数“最小時間”の値よ りも小さいのか否かを判断し、続くステップ S106で、小さいという判断結果が得られたの� �を判断する。

 この判断処理に従って、抽出したプロッ� ��データの時間値が変数“最小時間”の値よ� ��も小さいことを判断するときには、ステッ� ��S107に進んで、抽出したプロットデータの時 間値に従って変数“最小時間”の値を書き換 えてから、ステップS102の処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、抽出した� ��ロットデータの時間値が変数“最小時間”� ��値よりも大きいことを判断するときには、� ��テップS107の処理を行わずに、直ちにステッ プS102の処理に戻る。

 このようにして、ステップS102~ステップS1 07の処理を繰り返していくことで、ステップS 102で、プロットデータファイル13に記憶され� ��最終周期のプロットデータまで処理を行っ� ��ことを判断すると、ステップS108に進んで、 変数“最小時間”の値を最小時間として決定 する。

 続いて、ステップS109で、プロットデータ ファイル13から開始周期のプロットデータ(2� �ロック周期分のプロットデータ)を読み出し� ��その中から電圧値が±Vthに入るプロットデ� �タを抽出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S109で抽出することになる電圧値が±Vthに入� �プロットデータが存在しない場合があるが� �この場合には、次の周期のプロットデータ(2 クロック周期分のプロットデータ)を読み出� �ていくことになる。

 続いて、ステップS110で、抽出したプロッ トデータの中から最大の時間値を持つものを 抽出して、その時間値を変数“最大時間”に 代入する。

 続いて、ステップS111で、プロットデータ ファイル13に記憶される最終周期のプロット� ��ータ(2クロック周期分のプロットデータ)ま� ��処理を行ったのか否かを判断して、最終周� ��のプロットデータまで処理を行っていない� ��とを判断するときには、ステップS112に進ん で、プロットデータファイル13から次の周期� ��プロットデータ(2クロック周期分のプロッ� �データ)を読み出し、その中から電圧値が±Vt hに入るプロットデータを抽出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S112で抽出することになる電圧値が±Vthに入� �プロットデータが存在しない場合があるが� �この場合には、次の周期のプロットデータ(2 クロック周期分のプロットデータ)を読み出� �ていくことになる。

 続いて、ステップS113で、抽出したプロッ トデータの中から最大の時間値を持つものを 抽出する。

 続いて、ステップS114で、抽出したプロッ トデータの時間値が変数“最大時間”の値よ りも大きいのか否かを判断し、続くステップ S115で、大きいという判断結果が得られたの� �否かを判断する。

 この判断処理に従って、抽出したプロッ� ��データの時間値が変数“最大時間”の値よ� ��も大きいことを判断するときには、ステッ� ��S116に進んで、抽出したプロットデータの時 間値に従って変数“最大時間”の値を書き換 えてから、ステップS111の処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、抽出した� ��ロットデータの時間値が変数“最大時間”� ��値よりも小さいことを判断するときには、� ��テップS116の処理を行わずに、直ちにステッ プS111の処理に戻る。

 このようにして、ステップS111~ステップS1 16の処理を繰り返していくことで、ステップS 111で、プロットデータファイル13に記憶され� ��最終周期のプロットデータまで処理を行っ� ��ことを判断すると、ステップS117に進んで、 変数“最大時間”の値を最大時間として決定 する。

 続いて、ステップS118で、ステップS108で� �定した最小時間とステップS117で決定した最� ��時間との間の中間位置を求めて、それをア� ��パターンの中心位置と決定して、処理を終� ��する。

 このようにして、アイパターン評価部15� �、図4のフローチャートのステップS10に進む� ��とでアイパターン中心位置の算出処理に入� ��と、ステップS100~ステップS108の処理に従っ� ��、図9中に示す最小時間の時間座標値を求め るとともに、ステップS109~ステップS117の処理 に従って、図9中に示す最大時間の時間座標� �を求めて、その2つの中間位置(=(最小時間+最 大時間)/2)を求めることで、図9中に示すアイ� ��ターンの中心位置を算出するように処理す� ��のである。

 〔1-2〕マスク作成処理
 図4のフローチャートのステップS10の処理に 従ってアイパターンの中心位置が算出される と、前述したように、図4のフローチャート� �ステップS20の処理に従って、算出したアイ� �ターンの中心位置にマスクの中心位置を配� �することで、図10に示すような形でマスクが 作成されることになる。

 〔1-3〕電圧軸マージンの算出処理
 次に、図7のフローチャートに従って、図4� �フローチャートのステップS30で実行する電� �軸マージンの算出処理について説明する。

 この電圧軸マージンの算出処理に入る前� ��、図4のフローチャートのステップS20の処理 に従って、マスクの持つ各特徴点の時間座標 値および電圧座標値が算出されており、この 電圧軸マージンの算出処理では、それらの特 徴点の内の時間軸上に存在しない特徴点につ いて図7のフローチャートの処理を実行して� �その実行により求められる各特徴点の電圧� �マージンから最終的な電圧軸マージンを算� �するという処理を実行する。

 すなわち、受信デバイスを提供するメー� ��から図19に示すようなマスクが提示される� �合には、各特徴点r点,s点,t点,u点について図7 のフローチャートの処理を実行して、その実 行により求められる各特徴点の電圧軸マージ ンから最終的な電圧軸マージンを算出すると いう処理を実行するのである。

 アイパターン評価部15は、時間軸上に存� �しない1つの特徴点を選択して、それについ� ��電圧軸マージンの算出処理に入ると、図7の フローチャートに示すように、先ず最初に、 ステップS300で、特徴点に最も近いプロット� �ータの時間位置を特定する。

 図3に示すように、各周期のプロットデー タ(2クロック周期分のプロットデータ)は一定 の時間間隔でサンプリングされた波形電圧値 で構成されて、その先頭からの相対的な時間 値に従ってアイパターンを形成すべくプロッ トされることになり、これにより、図11に示� ��ように、特徴点に最も近いプロットデータ� ��時間位置が一意に決められることから、そ� ��時間位置を特定するのである。

 続いて、ステップS301で、プロットデータ ファイル13から開始周期のプロットデータ(2� �ロック周期分のプロットデータ)を読み出し� ��その読み出したプロットデータの中から、� ��徴点のマスク電圧の正負に応じて処理対象� ��プロットデータ部分を抽出する。

 図19に示す特徴点r点,s点のマスク電圧は� �の電圧であることから、図12(a)に示すように 、正の電圧値を持つプロットデータ部分を処 理対象として抽出し、一方、図19に示す特徴� ��t点,u点のマスク電圧は負の電圧であること� ��ら、図12(b)に示すように、負の電圧値を持� �プロットデータ部分を処理対象として抽出� �るのである。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S301で抽出することになる処理対象のプロッ� ��データ部分が存在しない場合があるが、こ� ��場合には、次の周期のプロットデータ(2ク� �ック周期分のプロットデータ)を読み出して� ��くことになる。

 続いて、ステップS302で、ステップS301で� �出したプロットデータ部分を処理対象とし� �、そのプロットデータ部分に含まれている� �テップS300で特定した時間位置にあるプロッ� ��データを抽出することで、特徴点に最も近� ��時間位置のプロットデータの電圧値を抽出� ��る。

 続いて、ステップS303で、特徴点のマスク 電圧と抽出した電圧値との差分電圧値を算出 して、変数“最小差分電圧値”に代入する。 このとき、抽出した電圧値がアイパターンに 入り込む場合には、算出する差分電圧値の符 号を負とし、抽出した電圧値がアイパターン に入り込まない場合には、算出する差分電圧 値の符号を正として、差分電圧値を算出する 。

 続いて、ステップS304で、プロットデータ ファイル13に記憶される最終周期のプロット� ��ータ(2クロック周期分のプロットデータ)ま� ��処理を行ったのか否かを判断して、最終周� ��のプロットデータまで処理を行っていない� ��とを判断するときには、ステップS305に進ん で、プロットデータファイル13から次の周期� ��プロットデータ(2クロック周期分のプロッ� �データ)を読み出し、ステップS301の処理と同 様の処理に従って、その読み出したプロット データの中から、特徴点のマスク電圧の正負 に応じて処理対象のプロットデータ部分を抽 出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S305で抽出することになる処理対象のプロッ� ��データ部分が存在しない場合があるが、こ� ��場合には、次の周期のプロットデータ(2ク� �ック周期分のプロットデータ)を読み出して� ��くことになる。

 続いて、ステップS306で、ステップS305で� �出したプロットデータ部分を処理対象とし� �、そのプロットデータ部分に含まれている� �テップS300で特定した時間位置にあるプロッ� ��データを抽出することで、特徴点に最も近� ��時間位置のプロットデータ電圧値を抽出す� ��。

 続いて、ステップS307で、特徴点のマスク 電圧値と抽出した電圧値との差分電圧値を算 出する。このとき、抽出した電圧値がアイパ ターンに入り込む場合には、算出する差分電 圧値の符号を負とし、抽出した電圧値がアイ パターンに入り込まない場合には、算出する 差分電圧値の符号を正として、差分電圧値を 算出する。

 続いて、ステップS308で、算出した差分電 圧値が変数“最小差分電圧値”の値よりも小 さいのか否かを判断し、続くステップS309で� �小さいという判断結果が得られたのか否か� �判断する。このとき、通常の数学的論理に� �って、正の符号の差分電圧値よりも負の符� �の差分電圧値の方が小さいと判断し、また� �両方とも負の符号の差分電圧値である場合� �は、絶対値の大きい差分電圧値の方が小さ� �と判断することで、この判断処理を実行す� �。

 この判断処理に従って、算出した差分電� ��値が変数“最小差分電圧値”の値よりも小� ��いことを判断するときには、ステップS310に 進んで、算出した差分電圧値に従って変数“ 最小差分電圧値”の値を書き換えてから、ス テップS304の処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、算出した� ��分電圧値が変数“最小差分電圧値”の値よ� ��も大きいことを判断するときには、ステッ� ��S310の処理を行わずに、直ちにステップS304� �処理に戻る。

 このようにして、ステップS304~ステップS3 10の処理を繰り返していくことで、ステップS 304で、プロットデータファイル13に記憶され� ��最終周期のプロットデータまで処理を行っ� ��ことを判断すると、ステップS311に進んで、 変数“最小差分電圧値”の値を、処理を行っ た特徴点の電圧軸マージンとして決定する。

 時間軸上に存在しない特徴点が複数ある� ��合には、アイパターン評価部15は、それら� �各特徴点についてこの図7のフローチャート� ��処理を実行し、これにより、それらの各特� ��点について電圧軸方向のマージンを算出す� ��ことになる。

 これから、アイパターン評価部15は、こ� �ようにして算出した各特徴点についての電� �軸方向のマージンに基づいて、例えば、そ� �らのマージンの中の最小のものを特定して� �それを電圧軸方向のマージンとして決定す� �ことになる。

 前述したように、プロットデータがアイ� ��ターンに入り込む場合には、差分電圧値の� ��号を負として算出し、プロットデータがア� ��パターンに入り込まない場合には、差分電� ��値の符号を正として算出するようにしてい� ��ことから、各特徴点について算出した電圧� ��方向のマージンの最小のものを特定して、� ��れを最終的な電圧軸マージンとする場合、� ��ロットデータがアイパターンに入り込む場� ��には、最もアイパターンに入り込んだ差分� ��圧値が最終的な電圧軸マージンとして算出� ��れ、プロットデータがアイパターンに入り� ��まない場合には、最もアイパターンに近づ� ��差分電圧値が最終的な電圧軸マージンとし� ��算出されることになる。

 〔1-4〕時間軸マージンの算出処理
 次に、図8のフローチャートに従って、図4� �フローチャートのステップS40で実行する時� �軸マージンの算出処理について説明する。

 この時間軸マージンの算出処理に入る前� ��、図4のフローチャートのステップS20の処理 に従って、マスクの持つ各特徴点の時間座標 値および電圧座標値が算出されており、この 時間軸マージンの算出処理では、それらの特 徴点の内の時間軸上に存在する特徴点につい て図8のフローチャートの処理を実行して、� �の実行により求められる各特徴点の時間軸� �ージンから最終的な時間軸マージンを算出� �るという処理を実行する。

 すなわち、受信デバイスを提供するメー� ��から図19に示すようなマスクが提示される� �合には、各特徴点p点,q点について図8のフロ� ��チャートの処理を実行して、その実行によ� ��求められる各特徴点の時間軸マージンから� ��終的な時間軸マージンを算出するという処� ��を実行するのである。

 アイパターン評価部15は、時間軸上に存� �する1つの特徴点を選択して、それについて� ��間軸マージンの算出処理に入ると、図8のフ ローチャートに示すように、先ず最初に、ス テップS400で、プロットデータファイル13から 開始周期のプロットデータ(2クロック周期分� ��プロットデータ)を読み出し、その読み出し たプロットデータの中から、電圧値が±Vthに� ��り、かつ特徴点の時間位置に応じて処理対� ��のプロットデータ部分を抽出する。

 図19に示す特徴点p点の時間位置はアイパ� ��ーンの中心位置よりも時間的に前側である� ��とから、図13(a)に示すように、電圧値が±Vth に入り、かつアイパターンの中心位置よりも 時間的に前にあるプロットデータ部分を処理 対象として抽出し、一方、図19に示す特徴点q 点の時間位置はアイパターンの中心位置より も時間的に後側であることから、図13(b)に示� ��ように、電圧値が±Vthに入り、かつアイパ� �ーンの中心位置よりも時間的に後にあるプ� �ットデータ部分を処理対象として抽出する� �である。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S400で抽出することになるプロットデータ部� ��が存在しない場合があるが、この場合には� ��次の周期のプロットデータ(2クロック周期� �のプロットデータ)を読み出していくことに� ��る。

 続いて、ステップS401で、ステップS400で� �出したプロットデータ部分を処理対象とし� �、そのプロットデータ部分に含まれている� �圧値が最もゼロに近いプロットデータを特� �して、そのプロットデータの時間値を抽出� �る。

 続いて、ステップS402で、特徴点の時間値 と抽出した時間値との差分時間値を算出し、 変数“最小差分時間値”に代入する。このと き、抽出した時間値がアイパターンに入り込 む場合には、算出する差分時間値の符号を負 とし、抽出した時間値がアイパターンに入り 込まない場合には、算出する差分時間値の符 号を正として、差分時間値を算出する。

 続いて、ステップS403で、プロットデータ ファイル13に記憶される最終周期のプロット� ��ータ(2クロック周期分のプロットデータ)ま� ��処理を行ったのか否かを判断して、最終周� ��のプロットデータまで処理を行っていない� ��とを判断するときには、ステップS404に進ん で、プロットデータファイル13から次の周期� ��プロットデータ(2クロック周期分のプロッ� �データ)を読み出し、ステップS400の処理と同 様の処理に従って、その読み出したプロット データの中から、電圧値が±Vthに入り、かつ� ��徴点の時間位置に応じて処理対象のプロッ� ��データ部分を抽出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S404で抽出することになるプロットデータ部� ��が存在しない場合があるが、この場合には� ��次の周期のプロットデータ(2クロック周期� �のプロットデータ)を読み出していくことに� ��る。

 続いて、ステップS405で、ステップS404で� �出したプロットデータ部分を処理対象とし� �、そのプロットデータ部分に含まれている� �圧値が最もゼロに近いプロットデータを特� �して、そのプロットデータの時間値を抽出� �る。

 続いて、ステップS406で、特徴点の時間値 と抽出した時間値との差分時間値を算出する 。このとき、抽出した時間値がアイパターン に入り込む場合には、算出する差分時間値の 符号を負とし、抽出した時間値がアイパター ンに入り込まない場合には、算出する差分時 間値の符号を正として、差分時間値を算出す る。

 続いて、ステップS407で、算出した差分時 間値が変数“最小差分時間値”の値よりも小 さいのか否かを判断し、続くステップS408で� �小さいという判断結果が得られたのか否か� �判断する。このとき、通常の数学的論理に� �って、正の符号の差分時間値よりも負の符� �の差分時間値の方が小さいと判断し、また� �両方とも負の符号の差分時間値である場合� �は、絶対値の大きい差分時間値の方が小さ� �と判断することで、この判断処理を実行す� �。

 この判断処理に従って、算出した差分時� ��値が変数“最小差分時間値”の値よりも小� ��いことを判断するときには、ステップS409に 進んで、算出した差分時間値に従って変数“ 最小差分時間値”の値を書き換えてから、ス テップS403の処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、算出した� ��分時間値が変数“最小差分時間値”の値よ� ��も大きいことを判断するときには、ステッ� ��S409の処理を行わずに、直ちにステップS403� �処理に戻る。

 このようにして、ステップS403~ステップS4 09の処理を繰り返していくことで、ステップS 403で、プロットデータファイル13に記憶され� ��最終周期のプロットデータまで処理を行っ� ��ことを判断すると、ステップS410に進んで、 変数“最小差分時間値”の値を、処理を行っ た特徴点の時間軸マージンとして決定する。

 時間軸上に存在する特徴点が複数ある場� ��には、アイパターン評価部15は、それらの� �特徴点についてこの図8のフローチャートの� ��理を実行し、これにより、それらの各特徴� ��について時間軸方向のマージンを算出する� ��とになる。

 これから、アイパターン評価部15は、こ� �ようにして算出した各特徴点について時間� �方向のマージンに基づいて、例えば、それ� �のマージンの中の最小のものを特定して、� �れを時間軸方向のマージンとして決定する� �とになる。

 前述したように、プロットデータがアイ� ��ターンに入り込む場合には、差分時間値の� ��号を負として算出し、プロットデータがア� ��パターンに入り込まない場合には、差分時� ��値の符号を正として算出するようにしてい� ��ことから、各特徴点について算出した時間� ��方向のマージンの最小のものを特定して、� ��れを最終的な時間軸マージンとする場合、� ��ロットデータがアイパターンに入り込む場� ��には、最もアイパターンに入り込んだ差分� ��間値が最終的な時間軸マージンとして算出� ��れ、プロットデータがアイパターンに入り� ��まない場合には、最もアイパターンに近づ� ��差分時間値が最終的な時間軸マージンとし� ��算出されることになる。

 このようにして、アイパターン評価部15� �、図4ないし8のフローチャートを実行するこ とで、シミュレータにより生成されるアイパ ターンが品質評価基準となるマスクに対して 持っているマージンを自動的に算出すること を実現するのである。

 そして、アイパターン評価部15は、この� �ージンの算出にあたって、受信デバイスに� �み込まれるクロック・データ・リカバリの� �性を考慮して、品質評価基準となるマスク� �アイパターン開口の時間軸上の中心位置に� �置してマージンを算出することで、実際に� �信デバイスが動作する際に要求される正確� �マージンの算出を実現するのである。

 以上に説明した実施形態例では、特徴点� ��最も近いプロットデータを抽出することで� ��アイパターン中心位置の算出処理(〔1-1〕で 説明した処理)、電圧軸マージンの算出処理(� ��1-3〕で説明した処理)および時間軸マージン の算出処理(〔1-4〕で説明した処理)を実行す� ��という構成を採ったが、マージン算出処理� ��精度を高めるために、直線補間手法に従っ� ��特徴点位置におけるプロットデータの時間� ��や電圧値を推定して、それに基づいて、ア� ��パターン中心位置の算出処理や電圧軸マー� ��ンの算出処理や時間軸マージンの算出処理� ��実行する方法を用いるようにしてもよい。

 図14ないし17に、この方法を用いる場合に 、アイパターン評価部15の実行するフローチ� ��ートの一例を図示する。

 ここで、図14および図15に示すフローチャ ートは、図4に示すフローチャートのステッ� �S10で実行する処理についての詳細なフロー� �ャートである。また、図16に示すフローチャ ートは、図4に示すフローチャートのステッ� �S30で実行する処理についての詳細なフロー� �ャートである。また、図17に示すフローチャ ートは、図4に示すフローチャートのステッ� �S40で実行する処理についての詳細なフロー� �ャートである。

 次に、これらのフローチャートに従って� ��この方法を用いる場合に実行するアイパタ� ��ン評価装置1の実行する処理について詳細に 説明する。

 〔2-1〕アイパターン中心位置の算出処理
 アイパターン評価部15は、図14および図15の� ��ローチャートに従ってアイパターンの中心� ��置を算出する場合には、図4のフローチャー トのステップS10に進むことでアイパターン中 心位置の算出処理に入ると、先ず最初に、ス テップS100aで、プロットデータファイル13か� �開始周期のプロットデータ(2クロック周期分 のプロットデータ)を読み出し、その中から0V (時間軸)を交差する2つの連続プロットデータ を抽出する。

 続いて、ステップS101aで、抽出した2つの� ��続プロットデータの直線補間式を導出して� ��間軸との交点を算出し、その算出した時間� ��を変数“最小時間”に代入する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S100aで抽出することになる0V(時間軸)を交差� �る2つの連続プロットデータが存在しない場� ��があるが、この場合には、次の周期のプロ� ��トデータ(2クロック周期分のプロットデー� �)を読み出していくことになる。

 続いて、ステップS102aで、プロットデー� �ファイル13に記憶される最終周期のプロット データ(2クロック周期分のプロットデータ)ま で処理を行ったのか否かを判断して、最終周 期のプロットデータまで処理を行っていない ことを判断するときには、ステップS103aに進� ��で、プロットデータファイル13から次の周� �のプロットデータ(2クロック周期分のプロッ トデータ)を読み出し、その中から0V(時間軸)� ��交差する2つの連続プロットデータを抽出す る。

 続いて、ステップS104aで、抽出した2つの� ��続プロットデータの直線補間式を導出して� ��間軸との交点を算出することで、その交点� ��時間値を算出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S103aで抽出することになる0V(時間軸)を交差� �る2つの連続プロットデータが存在しない場� ��があるが、この場合には、次の周期のプロ� ��トデータ(2クロック周期分のプロットデー� �)を読み出していくことになる。

 続いて、ステップS105aで、算出した交点� �時間値が変数“最小時間”の値よりも小さ� �のか否かを判断し、続くステップS106aで、小 さいという判断結果が得られたのかを判断す る。

 この判断処理に従って、算出した交点の� ��間値が変数“最小時間”の値よりも小さい� ��とを判断するときには、ステップS107aに進� �で、算出した交点の時間値に従って変数“� �小時間”の値を書き換えてから、ステップS1 02aの処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、算出した� ��点の時間値が変数“最小時間”の値よりも� ��きいことを判断するときには、ステップS107 aの処理を行わずに、直ちにステップS102aの処 理に戻る。

 このようにして、ステップS102a~ステップS 107aの処理を繰り返していくことで、ステッ� �S102aで、プロットデータファイル13に記憶さ� ��る最終周期のプロットデータまで処理を行� ��たことを判断すると、ステップS108aに進ん� �、変数“最小時間”の値を最小時間として� �定する。

 続いて、ステップS109aで、プロットデー� �ファイル13から開始周期のプロットデータ(2� ��ロック周期分のプロットデータ)を読み出し 、その中から0V(時間軸)を交差する2つの連続� ��ロットデータを抽出する。

 続いて、ステップS110aで、抽出した2つの� ��続プロットデータの直線補間式を導出して� ��間軸との交点を算出し、その算出した時間� ��を変数“最大時間”に代入する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S109aで抽出することになる0V(時間軸)を交差� �る2つの連続プロットデータが存在しない場� ��があるが、この場合には、次の周期のプロ� ��トデータ(2クロック周期分のプロットデー� �)を読み出していくことになる。

 続いて、ステップS111aで、プロットデー� �ファイル13に記憶される最終周期のプロット データ(2クロック周期分のプロットデータ)ま で処理を行ったのか否かを判断して、最終周 期のプロットデータまで処理を行っていない ことを判断するときには、ステップS112aに進� ��で、プロットデータファイル13から次の周� �のプロットデータ(2クロック周期分のプロッ トデータ)を読み出し、その中から0V(時間軸)� ��交差する2つの連続プロットデータを抽出す る。

 続いて、ステップS113aで、抽出した2つの� ��続プロットデータの直線補間式を導出して� ��間軸との交点を算出することで、その交点� ��時間値を算出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S112aで抽出することになる0V(時間軸)を交差� �る2つの連続プロットデータが存在しない場� ��があるが、この場合には、次の周期のプロ� ��トデータ(2クロック周期分のプロットデー� �)を読み出していくことになる。

 続いて、ステップS114aで、算出した交点� �時間値が変数“最大時間”の値よりも大き� �のか否かを判断し、続くステップS115aで、大 きいという判断結果が得られたのかを判断す る。

 この判断処理に従って、算出した交点の� ��間値が変数“最大時間”の値よりも大きい� ��とを判断するときには、ステップS116aに進� �で、算出した交点の時間値に従って変数“� �大時間”の値を書き換えてから、ステップS1 11aの処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、算出した� ��点の時間値が変数“最大時間”の値よりも� ��さいことを判断するときには、ステップS116 aの処理を行わずに、直ちにステップS111aの処 理に戻る。

 このようにして、ステップS111a~ステップS 116aの処理を繰り返していくことで、ステッ� �S111aで、プロットデータファイル13に記憶さ� ��る最終周期のプロットデータまで処理を行� ��たことを判断すると、ステップS117aに進ん� �、変数“最大時間”の値を最大時間として� �定する。

 続いて、ステップS118aで、ステップS108aで 決定した最小時間とステップS117aで決定した� ��大時間との間の中間位置を求めて、それを� ��イパターンの中心位置として処理を終了す� ��。

 このようにして、アイパターン評価部15� �、図4のフローチャートのステップS10に進む� ��とでアイパターン中心位置の算出処理に入� ��と、直線補間手法に従って時間軸と交差す� ��プロットデータの時間値を推定することで� ��図9中に示す最小時間の時間座標値および最 大時間の時間座標値を求めて、図9中に示す� �イパターンの中心位置を算出するように処� �するのである。

 〔2-2〕マスク作成処理
 図4のフローチャートのステップS10の処理に 従ってアイパターンの中心位置が算出される と、前述したように、図4のフローチャート� �ステップS20の処理に従って、算出したアイ� �ターンの中心位置にマスクの中心位置を配� �することで、図10に示すような形でマスクが 作成されることになる。

 〔2-3〕電圧軸マージンの算出処理
 アイパターン評価部15は、図16のフローチャ ートに従って電圧軸マージンを算出する場合 には、図4のフローチャートのステップS30に� �むことで、時間軸上に存在しない1つの特徴� ��を選択して、それについて電圧軸マージン� ��算出処理に入ると、先ず最初に、ステップS 300aで、特徴点に隣接する2つのプロットデー� ��の時間位置を特定する。

 図3に示すように、各周期のプロットデー タ(2クロック周期分のプロットデータ)は一定 の時間間隔でサンプリングされた波形電圧値 で構成されて、その先頭からの相対的な時間 値に従ってアイパターンを形成すべくプロッ トされることになり、これにより、特徴点に 隣接する2つのプロットデータの時間位置が� �意に決められることから、その時間位置を� �定するのである。

 続いて、ステップS301aで、プロットデー� �ファイル13から開始周期のプロットデータ(2� ��ロック周期分のプロットデータ)を読み出し 、その読み出したプロットデータの中から、 特徴点のマスク電圧の正負に応じて処理対象 のプロットデータ部分を抽出する。

 図19に示す特徴点r点,s点のマスク電圧は� �の電圧であることから、図12(a)に示すように 、正の電圧値を持つプロットデータ部分を処 理対象として抽出し、一方、図19に示す特徴� ��t点,u点のマスク電圧は負の電圧であること� ��ら、図12(b)に示すように、負の電圧値を持� �プロットデータ部分を処理対象として抽出� �るのである。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S301aで抽出することになる処理対象のプロッ トデータ部分が存在しない場合があるが、こ の場合には、次の周期のプロットデータ(2ク� ��ック周期分のプロットデータ)を読み出して いくことになる。

 続いて、ステップS302aで、ステップS301aで 抽出したプロットデータ部分を処理対象とし て、そのプロットデータ部分に含まれている ステップS300aで特定した時間位置にある2つの 連続プロットデータを抽出して、その2つの� �続プロットデータの直線補間式を導出して� �徴点の時間位置との交点を算出することで� �その交点の電圧値を算出する。

 続いて、ステップS303aで、特徴点のマス� �電圧と算出した交点の電圧値との差分電圧� �を算出し、変数“最小差分電圧値”に代入� �る。このとき、算出した交点の電圧値がア� �パターンに入り込む場合には、算出する差� �電圧値の符号を負とし、算出した交点の電� �値がアイパターンに入り込まない場合には� �算出する差分電圧値の符号を正として、差� �電圧値を算出する。

 続いて、ステップS304aで、プロットデー� �ファイル13に記憶される最終周期のプロット データ(2クロック周期分のプロットデータ)ま で処理を行ったのか否かを判断して、最終周 期のプロットデータまで処理を行っていない ことを判断するときには、ステップS305aに進� ��で、プロットデータファイル13から次の周� �のプロットデータ(2クロック周期分のプロッ トデータ)を読み出し、ステップS301aの処理と 同様の処理に従って、その読み出したプロッ トデータの中から、特徴点のマスク電圧の正 負に応じて処理対象のプロットデータ部分を 抽出する。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S305aで抽出することになる処理対象のプロッ トデータ部分が存在しない場合があるが、こ の場合には、次の周期のプロットデータ(2ク� ��ック周期分のプロットデータ)を読み出して いくことになる。

 続いて、ステップS306aで、ステップS305aで 抽出したプロットデータ部分を処理対象とし て、そのプロットデータ部分に含まれている ステップS300aで特定した時間位置にある2つの 連続プロットデータを抽出して、その2つの� �続プロットデータの直線補間式を導出して� �徴点の時間位置との交点を算出することで� �その交点の電圧値を算出する。

 続いて、ステップS307aで、特徴点のマス� �電圧と算出した交点の電圧値との差分電圧� �を算出する。このとき、算出した交点の電� �値がアイパターンに入り込む場合には、算� �する差分電圧値の符号を負とし、算出した� �点の電圧値がアイパターンに入り込まない� �合には、算出する差分電圧値の符号を正と� �て、差分電圧値を算出する。

 続いて、ステップS308aで、算出した差分� �圧値が変数“最小差分電圧値”の値よりも� �さいのか否かを判断し、続くステップS309aで 、小さいという判断結果が得られたのか否か を判断する。このとき、通常の数学的論理に 従って、正の符号の差分電圧値よりも負の符 号の差分電圧値の方が小さいと判断し、また 、両方とも負の符号の差分電圧値である場合 には、絶対値の大きい差分電圧値の方が小さ いと判断することで、この判断処理を実行す る。

 この判断処理に従って、算出した差分電� ��値が変数“最小差分電圧値”の値よりも小� ��いことを判断するときには、ステップS310a� �進んで、算出した差分電圧値に従って変数� �最小差分電圧値”の値を書き換えてから、� �テップS304aの処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、算出した� ��分電圧値が変数“最小差分電圧値”の値よ� ��も大きいことを判断するときには、ステッ� ��S310aの処理を行わずに、直ちにステップS304a の処理に戻る。

 このようにして、ステップS304a~ステップS 310aの処理を繰り返していくことで、ステッ� �S304aで、プロットデータファイル13に記憶さ� ��る最終周期のプロットデータまで処理を行� ��たことを判断すると、ステップS311aに進ん� �、変数“最小差分電圧値”の値を、処理を� �った特徴点の電圧軸マージンとして決定す� �。

 時間軸上に存在しない特徴点が複数ある� ��合には、アイパターン評価部15は、それら� �各特徴点についてこの図16のフローチャート の処理を実行し、これにより、それらの各特 徴点について電圧軸方向のマージンを算出す ることになる。

 これから、アイパターン評価部15は、こ� �ようにして算出した各特徴点について電圧� �方向のマージンに基づいて、例えば、それ� �のマージンの中の最小のものを特定して、� �れを電圧軸方向のマージンとして決定する� �とになる。

 〔2-4〕時間軸マージンの算出処理
 アイパターン評価部15は、図17のフローチャ ートに従って時間軸マージンを算出する場合 には、図4のフローチャートのステップS40に� �むことで、時間軸上に存在する1つの特徴点� ��選択して、それについて時間軸マージンの� ��出処理に入ると、先ず最初に、ステップS400 aで、プロットデータファイル13から開始周期 のプロットデータ(2クロック周期分のプロッ� ��データ)を読み出し、その読み出したプロッ トデータの中から、特徴点の時間位置に応じ て処理対象のプロットデータ部分を抽出する 。

 図19に示す特徴点p点の時間位置はアイパ� ��ーンの中心位置よりも時間的に前側である� ��とから、図13(a)に示すように、アイパター� �の中心位置よりも時間的に前にあるプロッ� �データ部分を処理対象として抽出し、一方� �図19に示す特徴点q点の時間位置はアイパタ� �ンの中心位置よりも時間的に後側であるこ� �から、図13(b)に示すように、アイパターンの 中心位置よりも時間的に後ろにあるプロット データ部分を処理対象として抽出するのであ る。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S400aで抽出することになる処理対象のプロッ トデータ部分が存在しない場合があるが、こ の場合には、次の周期のプロットデータ(2ク� ��ック周期分のプロットデータ)を読み出して いくことになる。

 続いて、ステップS401aで、ステップS400aで 抽出したプロットデータ部分を処理対象とし て、抽出したプロットデータ部分の中から0V( 時間軸)を交差する2つの連続プロットデータ� ��抽出して、その2つの連続プロットデータの 直線補間式を導出して時間軸との交点を算出 することで、その交点の時間値を算出する。

 続いて、ステップS402aで、特徴点の時間� �と算出した交点の時間値との差分時間値を� �出し、変数“最小差分時間値”に代入する� �このとき、算出した交点の時間値がアイパ� �ーンに入り込む場合には、算出する差分時� �値の符号を負とし、算出した交点の時間値� �アイパターンに入り込まない場合には、算� �する差分時間値の符号を正として、差分時� �値を算出する。

 続いて、ステップS403aで、プロットデー� �ファイル13に記憶される最終周期のプロット データ(2クロック周期分のプロットデータ)ま で処理を行ったのか否かを判断して、最終周 期のプロットデータまで処理を行っていない ことを判断するときには、ステップS404aに進� ��で、プロットデータファイル13から次の周� �のプロットデータ(2クロック周期分のプロッ トデータ)を読み出し、ステップS400aの処理と 同様の処理に従って、その読み出したプロッ トデータの中から、特徴点の時間位置に応じ て処理対象のプロットデータ部分を抽出する 。

 ここで、図18から分かるように、ステッ� �S404aで抽出することになる処理対象のプロッ トデータ部分が存在しない場合があるが、こ の場合には、次の周期のプロットデータ(2ク� ��ック周期分のプロットデータ)を読み出して いくことになる。

 続いて、ステップS405aで、ステップS400aで 抽出したプロットデータ部分を処理対象とし て、抽出したプロットデータ部分の中から0V( 時間軸)を交差する2つの連続プロットデータ� ��抽出して、その2つの連続プロットデータの 直線補間式を導出して時間軸との交点を算出 することで、その交点の時間値を算出する。

 続いて、ステップS406aで、特徴点の時間� �と算出した交点の時間値との差分時間値を� �出する。このとき、算出した交点の時間値� �アイパターンに入り込む場合には、算出す� �差分時間値の符号を負とし、算出した交点� �時間値がアイパターンに入り込まない場合� �は、算出する差分時間値の符号を正として� �差分時間値を算出する。

 続いて、ステップS407aで、算出した差分� �間値が変数“最小差分時間値”の値よりも� �さいのか否かを判断し、続くステップS408aで 、小さいという判断結果が得られたのか否か を判断する。このとき、通常の数学的論理に 従って、正の符号の差分時間値よりも負の符 号の差分時間値の方が小さいと判断し、また 、両方とも負の符号の差分時間値である場合 には、絶対値の大きい差分時間値の方が小さ いと判断することで、この判断処理を実行す る。

 この判断処理に従って、算出した差分時� ��値が変数“最小差分時間値”の値よりも小� ��いことを判断するときには、ステップS409a� �進んで、算出した差分時間値に従って変数� �最小差分時間値”の値を書き換えてから、� �テップS403aの処理に戻る。

 一方、この判断処理に従って、算出した� ��分時間値が変数“最小差分時間値”の値よ� ��も大きいことを判断するときには、ステッ� ��S409aの処理を行わずに、直ちにステップS403a の処理に戻る。

 このようにして、ステップS403a~ステップS 409aの処理を繰り返していくことで、ステッ� �S403aで、プロットデータファイル13に記憶さ� ��る最終周期のプロットデータまで処理を行� ��たことを判断すると、ステップS410aに進ん� �、変数“最小差分時間値”の値を、処理を� �った特徴点の時間軸マージンとして決定す� �。

 時間軸上に存在する特徴点が複数ある場� ��には、アイパターン評価部15は、それらの� �特徴点についてこの図17のフローチャートの 処理を実行し、これにより、それらの各特徴 点について時間軸方向のマージンを算出する ことになる。

 これから、アイパターン評価部15は、こ� �ようにして算出した各特徴点について時間� �方向のマージンに基づいて、例えば、それ� �のマージンの中の最小のものを特定して、� �れを時間軸方向のマージンとして決定する� �とになる。

 このようにして、アイパターン評価部15� �、図14ないし17のフローチャートを実行する� ��合には、直線補間手法に従って特徴点位置� ��おけるプロットデータの時間値や電圧値を� ��定して、それに基づいて、アイパターン中� ��位置の算出処理や電圧軸マージンの算出処� ��や時間軸マージンの算出処理を実行するこ� ��から、シミュレータにより生成されるアイ� ��ターンがマスクに対して持っているマージ� ��を高精度に算出することができるようにな� ��。

 図1乃至19を参照して前述したアイマージ� ��の算出処理においては、受信デバイスを提� ��するメーカから提示されるマスク(図19を参� ��)の中心位置をアイパターンの中心位置に配 置して、アイパターンとマスクとの間のマー ジンを算出する。すなわち、電圧軸方向のマ スクの中心位置をゼロ値に固定し、時間軸方 向のマスクの中心位置をアイパターンの1周� �の中心の位置に固定している。このような� �イマージンの算出処理は、一般的な受信デ� �イスのクロックデータリカバリ回路、差動� �力バッファの機能に対応するものである。

 しかし、マスクの規定方法は、業界内で� ��一されているわけではなく、例えば、マス� ��の配置位置を固定せずに動かして算出され� ��マージンが受信デバイスの仕様を満たすこ� ��を要求するメーカもある。

 上述したような、マスクの中心位置をア� ��パターンの中心位置に配置してマージンを� ��出する手法では、算出されたマージンが受� ��デバイスの仕様を満たさない場合、伝送路� ��要素部品に高価なものを用いる等して、伝� ��路の設計変更をし、受信デバイスの仕様を� ��たすマージンを確保する必要がある。

 ここで、マスクの配置位置を固定せずに� ��マスクの配置位置を移動させながらマージ� ��を算出し、算出されたマージンが最大であ� ��配置位置におけるマージンをユーザに提供� ��ることができれば、過剰なマージンの確保� ��防止することができ、その結果、伝送路の� ��素部品により安価なものを採用できる可能� ��が増え、コストダウン設計をもたらすこと� ��できる。以下に説明する本発明のアイパタ� ��ン評価装置の他の実施形態例は、マスクの� ��置位置を移動させながらマージンを算出す� ��ことを可能とする。

 図20は、本発明のアイパターン評価装置� �他の実施形態例を示す図である。図20に示す アイパターン評価装置2は、データ列ファイ� �10、伝送路モデル記憶部11、波形シミュレー� ��12、プロットデータファイル13、マスクスペ ック記憶部14、ディスプレイ16、マスク配置� �置設定部21、アイパターン評価部22を備える� ��また、アイパターン評価部22は、波形表示� �150、マージン算出部220を備える。図20に示す アイパターン評価装置2の構成要素のうち、� �1を参照して前述したアイパターン評価装置1 の構成要素と同一の符号が付けられたものは 、アイパターン評価装置1の構成要素と同様� �ある。

 マスク配置位置設定部21は、ユーザの指� �入力に従って、マスクの(中心の)配置位置に 関するモードを設定する。具体的には、マス ク配置位置設定部21は、図21を参照して後述� �るマスク配置位置設定画面をディスプレイ16 に表示し、該マスク配置位置設定画面上にお けるユーザの選択操作に応じて、マスクの配 置位置に関するモードを設定する。すなわち 、マスク配置位置設定部21は、マスクの配置� ��置をアイパターンの中心の位置とするモー� ��(第1のモード)に設定するか、又はマスクの� ��置位置に制限を設けないモードに設定する� ��マスクの配置位置に制限を設けないモード� ��、例えば、マスクの電圧軸方向(電圧軸に沿 った方向)の配置位置(マスクの電圧軸方向の� ��心位置)をゼロ値に固定するがマスクの時間 軸方向(時間軸に沿った方向)の配置位置に制� ��を設けないモード(第2のモード)、マスクの� ��間軸方向の配置位置(マスクの時間軸方向の 中心位置)をアイパターンの1周期の中心位置� ��固定するがマスクの電圧軸方向の配置位置� ��制限を設けないモード(第3のモード)、マス� ��の時間軸方向の配置位置及び電圧軸方向の� ��置位置に制限を設けないモード(第4のモー� �)である。マスクの電圧軸方向の中心位置は� ��例えば、マスク上の最大電圧座標値と最小� ��圧座標値とを加えて2で除算して得られる電 圧座標値に対応するマスク上の点の電圧軸方 向の位置である。また、マスクの時間軸方向 の中心位置は、例えば、マスク上の最大時間 座標値と最小時間座標値とを加えて2で除算� �て得られる時間座標値に対応するマスク上� �点の時間軸方向の位置である。

 アイパターン評価部22は、アイパターン� �生成してディスプレイ16に表示するとともに 、波形表示部150が生成するアイパターンがマ スクスペック記憶部14が記憶するマスクに対� ��て持っているマージンを算出してその算出� ��果をディスプレイ16に表示する。アイパタ� �ン評価部22が備える波形表示部150は、図1を� �照して前述した波形表示部150と同様に、プ� �ットデータファイル13の記憶するプロットデ ータから2クロック周期分の長さを持つ波形� �号片を順次切り出してディスプレイ16に重畳 表示することで、前述した図18に示すような� ��イパターンを生成してディスプレイ16に表� �する。

 マージン算出部220は、マスク配置位置設� ��部21によって、マスクの配置位置に関する� �ードが上記第1のモードに設定された場合に� ��例えば前述した図7又は図16に示すフローチ� ��ートに従って、マスクの特徴点の電圧軸マ� ��ジン(特徴点の電圧座標値と該特徴点に対応 付けられる波形信号片個所の電圧座標値との 差分)を算出して、それに基づいて最終的な� �圧軸マージンを算出して出力する。また、� �ージン算出部220は、例えば前述した図8又は� ��17に示すフローチャートに従って、マスク� �特徴点の時間軸マージン(特徴点の時間座標� ��と該特徴点に対応付けられる波形信号片個� ��の時間座標値との差分)を算出して、それに 基づいて最終的な時間軸マージンを算出して 出力する。

 また、マージン算出部220は、マスク配置� ��置設定部21によって、マスクの配置位置に� �するモードがマスクの配置位置に制限を設� �ないモードに設定された場合に、マスクの� �置位置を移動させながら、波形表示部150の� �成するアイパターンがマスクスペック記憶� �14の記憶するマスクに対して持っているマー ジンを算出してその算出結果をディスプレイ 16に表示する。具体的には、マスク配置位置� ��定部21によって、マスクの配置位置に関す� �モードが上記第2のモードに設定された場合� ��、マージン算出部220は、マスクの電圧軸方� ��の配置位置をゼロ値に固定したままマスク� ��時間軸方向の配置位置を時間軸に沿って1ス テップ(所定の時間)ずつ移動させる。例えば� ��マージン算出部220は、マスクの時間軸方向� ��配置位置を、マスクの一部がアイパターン� ��開口に入り始める位置に初期設定し、該初� ��設定された配置位置から該マスクがアイパ� ��ーンに出始める配置位置まで、該マスクの� ��間軸方向の配置位置を移動させる。

 マージン算出部220は、移動先の各配置位� ��におけるマスクの各特徴点の時間軸マージ� ��(特徴点の時間座標値と該特徴点に対応付け られる波形信号片個所の時間座標値との差分 )を算出する。マージン算出部220は、該時間� �マージンが最小である特徴点の時間軸マー� �ンが最大となるマスクの配置位置を選択配� �位置として選択する。そして、マージン算� �部220は、該選択された選択配置位置におけ� �最終的な時間軸マージンと最終的な電圧軸� �ージンとを算出してその算出結果をディス� �レイ16に出力する。マージン算出部220は、選 択配置位置における各特徴点の時間軸マージ ンのうち最小のものを最終的な時間軸マージ ンとする。また、マージン算出部220は、選択 配置位置における各特徴点の電圧軸マージン のうち最小のものを最終的な電圧軸マージン とする。

 マスク配置位置設定部21によって、マス� �の配置位置に関するモードが上記第3のモー� ��に設定された場合、マージン算出部220は、� ��スクの時間軸方向の配置位置をアイパター� ��の1周期の中心位置に固定したままマスクの 電圧軸方向の配置位置を電圧軸に沿って所定 のステップ(所定の電圧値)ずつ移動させる。� ��えば、マージン算出部220は、マスクの電圧� ��方向の配置位置を、マスクの一部がアイパ� ��ーンの開口に入り始める位置に初期設定し� ��該初期設定された配置位置から該マスクが� ��イパターンから出始める配置位置まで、該� ��スクの電圧軸方向の配置位置を移動させる� ��マージン算出部220は、移動先の各配置位置� ��おけるマスクの各特徴点の電圧軸マージン( 特徴点の電圧座標値と該特徴点に対応付けら れる波形信号片個所の電圧座標値との差分)� �算出する。マージン算出部220は、該電圧軸� �ージンが最小である特徴点の電圧軸マージ� �が最大となるマスクの配置位置を選択配置� �置として選択する。そして、マージン算出� �220は、選択されたマスクの配置位置におけ� �最終的な時間軸マージンと最終的な電圧軸� �ージンとを算出してその算出結果をディス� �レイ16に出力する。

 マスク配置位置設定部21によって、マス� �の配置位置に関するモードが上記第4のモー� ��に設定された場合、マージン算出部220は、� ��スクの配置位置を電圧軸及び時間軸に沿っ� ��所定のステップずつ移動させる。マージン� ��出部220は、マスクの配置位置を電圧軸に沿� ��て移動させる際には、マスクの電圧軸方向� ��配置位置を所定の電圧値分移動させ、マス� ��の配置位置を時間軸に沿って移動させる際� ��は、マスクの時間軸方向の配置位置を所定� ��時間分移動させる。マージン算出部220は、� ��えば、マスクがアイパターンの開口内の全� ��域を通過することになるまで、マスクの配� ��位置を移動させる。マスクの配置位置の移� ��経路は、予め決められた任意の経路とする� ��とができる。そして、マージン算出部220は� ��移動先の各配置位置におけるマスクの各特� ��点の電圧軸マージンと時間軸マージンとの� ��乗和を算出する。マージン算出部220は、二� ��和が最小である特徴点に対応する二乗和が� ��大となるマスクの配置位置を選択配置位置� ��して選択する。そして、マージン算出部220� ��、選択された選択配置位置における最終的� ��時間軸マージンと最終的な電圧軸マージン� ��を算出して、その算出結果をディスプレイ1 6に出力する。

 図21は、マスク配置位置設定画面の例を� �す図である。図21に示すマスク配置位置設定 画面上には、マスク100と、マスクの時間軸方 向の配置位置に制限を設けるか否かを設定す るための領域(時間軸方向配置位置制限設定� �域)200と、マスクの電圧軸方向の配置位置に� ��限を設けるか否かを設定するための領域(電 圧軸方向配置位置制限設定領域)201とが表示� �れる。図21中のマスク100上の、r点、s点、p点 、q点、t点、u点は、マスク100の特徴点である 。ユーザが、時間軸方向配置位置制限設定領 域200に記述された「1周期の中心」を選択す� �と、マスクの時間軸方向の配置位置をアイ� �ターンの1周期の中心位置に固定することが� ��定され、ユーザが、「なし」を選択すると� ��マスクの時間軸方向の配置位置に制限を設� ��ないことが設定される。ユーザが、電圧軸� ��向配置位置制限設定領域201に記述された「0 V中心」を選択すると、マスクの電圧軸方向� �配置位置がゼロ値(0V)に固定することが設定� ��れ、ユーザが、「なし」を選択すると、マ� ��クの電圧軸方向の配置位置に制限を設けな� ��ことが設定される。

 すなわち、ユーザが、時間軸方向配置位� ��制限設定領域200に記述された「1周期の中心 」と電圧軸方向配置位置制限設定領域201に記 述された「0V中心」を選択すると、マスク配� ��位置設定部21が、マスクの配置位置に関す� �モードを前述した第1のモードに設定する。� ��ーザが、時間軸方向配置位置制限設定領域2 00に記述された「なし」と電圧軸方向配置位� ��制限設定領域201に記述された「0V中心」を� �択すると、マスク配置位置設定部21が、マス クの配置位置に関するモードを前述した第2� �モードに設定する。ユーザが、時間軸方向� �置位置制限設定領域200に記述された「1周期� ��中心」と電圧軸方向配置位置制限設定領域2 01に記述された「なし」を選択すると、マス� ��配置位置設定部21が、マスクの配置位置に� �するモードを前述した第3のモードに設定す� ��。ユーザが、時間軸方向配置位置制限設定� ��域200に記述された「なし」と電圧軸方向配� ��位置制限設定領域201に記述された「なし」� ��選択すると、マスク配置位置設定部21が、� �スクの配置位置に関するモードを前述した� �4のモードに設定する。

 図22は、マスクの配置位置に関するモー� �の設定処理フローの一例を示す図である。� �スク配置位置設定部21は、図21に示すマスク� ��置位置設定画面上におけるユーザの選択操� ��に従って、マスクの電圧軸方向の配置位置� ��時間軸方向の配置位置に制限を設けること� ��選択されたか否かを判断し、マスクの配置� ��置に関するモードを該判断結果に応じたモ� ��ドに設定する。まず、マスク配置位置設定� ��21が、マスクの電圧軸方向の配置位置に制� �を設けることが選択されたか(図21中の電圧� �方向配置位置制限設定領域201に記述された� �0V中心」が選択されたか)を判断する(ステッ� ��S500)。マスク配置位置設定部21が、マスクの 電圧軸方向の配置位置に制限を設けることが 選択されていないと判断した場合はステップ S504に進む。マスク配置位置設定部21が、マス クの電圧軸方向の配置位置に制限を設けるこ とが選択されたと判断した場合、マスク配置 位置設定部21が、マスクの時間軸方向の配置� ��置に制限を設けることが選択されたか(時間 軸方向配置位置制限設定領域200に記述された 「1周期の中心」が選択されたか)を判断する( ステップS501)。マスク配置位置設定部21が、� �スクの時間軸方向の配置位置に制限を設け� �ことが選択されたと判断した場合、マスク� �置位置設定部21が、マスクの配置位置に関す るモードを第1のモードに設定する(ステップS 502)。マスク配置位置設定部21が、マスクの時 間軸方向の配置位置に制限を設けることが選 択されていないと判断した場合、マスク配置 位置設定部21が、マスクの配置位置に関する� ��ードを第2のモードに設定する(ステップS503) 。

 ステップS504において、マスク配置位置設 定部21が、マスクの時間軸方向の配置位置に� ��限を設けることが選択されたかを判断する( ステップS504)。マスク配置位置設定部21が、� �スクの時間軸方向の配置位置に制限を設け� �ことが選択されたと判断した場合、マスク� �置位置設定部21が、マスクの配置位置に関す るモードを第3のモードに設定する(ステップS 505)。マスク配置位置設定部21が、マスクの時 間軸方向の配置位置に制限を設けることが選 択されていないと判断した場合、マスク配置 位置設定部21が、マスクの配置位置に関する� ��ードを第4のモードに設定する(ステップS506) 。

 以下に、マスクの配置位置について設定� ��れたそれぞれのモードに応じたマージン算� ��処理について説明する。マスク配置位置設� ��部21がマスクの配置位置に関するモードを� �1のモードに設定した場合、マージン算出部2 20は、前述した図7又は図16に示すフローチャ� ��ト、図8又は図17に示すフローチャートに従� ��てマージン算出処理を実行し、該実行結果� ��基づいて最終的なマージンを算出して出力� ��る。従って、マスク配置位置設定部21がマ� �クの配置位置に関するモードを第1のモード� ��設定した場合のマージン算出処理について� ��説明は省略する。

 図23は、マスクの配置位置について第2の� ��ードが設定された場合のマージン算出部に� ��るマージン算出処理フローの一例を示す図� ��ある。なお、例えば、マスクの配置位置が� ��該マスクがアイパターンの開口に収まらな� ��ような配置位置である場合は、マージン算� ��部220は、後述するステップS602における配置 位置対応時間軸マージンの算出処理を実行し ないものとする。

 まず、マージン算出部220が、マスクの配� ��位置を初期設定する(ステップS601)。具体的� ��は、マージン算出部220が、図24中に示すよ� �に、マスク100の電圧軸方向の中心位置(特徴� ��p点及び特徴点q点の電圧軸方向の位置)をゼ� ��値(0V)に設定するとともに、マスク100の時間 軸方向の中心位置(p点の時間座標値とq点の時 間座標値とを加えて2で除算して得られる時� �座標値に対応するマスク上の点の時間軸方� �の位置)を、マスク100の一部がアイパターン� ��開口に入り始める位置に配置する。図24中� �点線部の時間座標値が、マスク100の時間軸� �向の中心位置を示す。なお、この例では、� �26を参照して後述するように、ステップS603� �おいて、マスク100を右方向に移動させるも� �とする。

 マージン算出部220が、現在のマスクの配� ��位置に対応する時間軸マージン(配置位置対 応時間軸マージン)を算出する(ステップS602)� �具体的には、マージン算出部220が、現在の� �置位置のマスクの各特徴点の時間軸マージ� �(特徴点の時間座標値と該特徴点に対応付け� ��れる波形信号片個所の時間座標値との差分) を算出し、算出された時間軸マージンが最小 である特徴点の時間軸マージンを配置位置対 応時間軸マージンとする。

 例えば、マスクの現在の配置位置が、図2 5中に示すような配置位置であるとする。マ� �ジン算出部220は、r点の時間軸マージンmr、s� ��の時間軸マージンms、p点の時間軸マージンm p、q点の時間軸マージンmq、t点の時間軸マー� ��ンmt、u点の時間軸マージンmuを算出する。� �ージン算出部220は、例えば、図8に示すフロ� ��チャートを参照して前述した特徴点の時間� ��マージンの決定処理と同様の処理を実行し� ��、mp、mqを算出する。また、マージン算出部 220は、例えば、各周期のプロットデータにつ いて、電圧座標値がr点の電圧座標値に最も� �い波形信号片個所の時間座標値を特定し、� �特定された時間座標値とr点の時間座標値と� ��差分を算出し、算出された各差分のうちの� ��小値をmrとして算出する。マージン算出部22 0は、上記mrの算出手法と同様の手法を用いて 、ms、mt、muを算出する。そして、マージン算 出部220は、算出されたmr、ms、mp、mt、muのう� �、最も値が小さいmpを現在のマスクの配置位 置に対応する時間軸マージン(配置位置対応� �間軸マージン)とする。

 なお、マージン算出部220が、電圧軸座標� ��マスクの電圧方向の中心位置に該当するp点 とq点についてのみ時間軸マージンを算出し� �値が小さいほうの時間軸マージンを配置位� �対応時間軸マージンとするようにしてもよ� �。

 次に、マージン算出部220が、マスクの配� ��位置を時間軸方向に1ステップ移動させる(� �テップS603)。図26は、マスクの配置位置の移� ��を説明する図である。マージン算出部220は� ��マスク100の電圧軸方向の中心位置(特徴点p� �及び特徴点q点の電圧軸方向の位置)を0Vに固� ��したまま、図26中の点線で示すルートに沿� �て、1ステップずつ、マスク100がアイパター� ��の開口101から出始めるまで、例えば図中の� ��印の方向(右方向)にマスク100を移動させる� �

 マージン算出部220が、配置位置対応時間� ��マージンの算出を終了するかを判断する(ス テップS604)。具体的には、マージン算出部220� ��、マスクの配置位置が、該マスクがアイパ� ��ーンの開口から出始める配置位置であるか� ��判断する。マスクの配置位置が、該マスク� ��アイパターンの開口から出始める配置位置� ��ある場合、マージン算出部220は、配置位置� ��応時間軸マージンの算出を終了すると判断� ��る。

 マスクの配置位置が、該マスクがアイパ� ��ーンの開口から出始める配置位置でない場� ��、マージン算出部220は、配置位置対応時間� ��マージンの算出を終了しないと判断する。

 マージン算出部220が、配置位置対応時間� ��マージンの算出を終了しないと判断した場� ��は、ステップS602に戻る。マージン算出部220 が、配置位置対応時間軸マージンの算出を終 了すると判断した場合、マージン算出部220は 、算出された配置位置対応時間軸マージンの うち、最も大きい配置位置対応時間軸マージ ンに対応するマスクの配置位置を選択配置位 置として選択する(ステップS605)。そして、マ ージン算出部220は、選択配置位置における時 間軸マージン、電圧軸マージンを算出する(� �テップS606)。具体的には、マージン算出部220 は、選択配置位置における各特徴点の時間軸 マージンのうち最小のものを、該選択配置位 置における時間軸マージンとして算出する。 また、マージン算出部220は、該選択配置位置 における各特徴点の電圧軸マージンのうち最 小のものを、該選択配置位置における電圧軸 マージンとして算出する。

 図27は、マスクの配置位置について第3の� ��ードが設定された場合のマージン算出部に� ��るマージン算出処理フローの一例を示す図� ��ある。なお、例えば、マスクの配置位置が� ��該マスクがアイパターンの開口に収まらな� ��ような配置位置である場合は、マージン算� ��部220は、後述するステップS702における配置 位置対応電圧軸マージンの算出処理を実行し ないものとする。

 まず、マージン算出部220が、マスクの配� ��位置を初期設定する(ステップS701)。具体的� ��は、マージン算出部220が、例えば、図28中� �示すように、マスク100の時間軸方向の中心� �置をアイパターンの1周期の中心位置(図28中� ��点線に対応する時間軸方向の位置)に設定す るとともに、マスク100の電圧軸方向の配置位 置を、マスク100の一部がアイパターンの開口 に入り始める位置に設定する。なお、この例 では、図30を参照して後述するように、ステ� ��プS703において、マスク100を上方向に移動さ せるものとする。

 マージン算出部220が、現在のマスクの配� ��位置に対応する電圧軸マージン(配置位置対 応電圧軸マージン)を算出する(ステップS702)� �具体的には、マージン算出部220が、現在の� �置位置のマスクの各特徴点の電圧軸マージ� �(特徴点の電圧座標値と該特徴点に対応付け� ��れる波形信号片個所の電圧座標値との差分) を算出し、算出された電圧軸マージンが最小 である特徴点の電圧軸マージンを配置位置対 応電圧軸マージンとする。

 例えば、マスクの現在の配置位置が、図2 9中に示すような配置位置であるとする。マ� �ジン算出部220は、r点の電圧軸マージンmr’� �s点の電圧軸マージンms’、p点の電圧軸マー� ��ンmp’、q点の電圧軸マージンmq’、t点の電� ��軸マージンmt’、u点の電圧軸マージンmu’� �算出する。マージン算出部220は、例えば、� �7に示すフローチャートを参照して前述した� ��徴点の電圧軸マージンの決定処理と同様の� ��理を実行して、mr’、ms’、mt’、mu’を算� �する。また、マージン算出部220は、例えば� �各周期のプロットデータについて、時間座� �値がp点の時間座標値に最も近い波形信号片� ��所の電圧座標値を特定し、該特定された電� ��座標値とp点の電圧座標値との差分を算出し 、算出された各差分のうちの最小値をmp’と� ��て算出する。マージン算出部220は、上記mp� �の算出手法と同様の手法を用いてmq’を算出 する。そして、マージン算出部220は、算出さ れたmr’、ms’、mp’、mt’、mu’のうち、最� �値が小さいmt’を現在のマスクの配置位置に 対応する電圧軸マージン(配置位置対応電圧� �マージン)とする。

 なお、マージン算出部220が、電圧軸座標� ��マスクの電圧方向の中心位置に該当しない� ��徴点であるr点、s点、t点、u点についてのみ 電圧軸マージンを算出し、算出された電圧軸 マージンのうち、最も値が小さい電圧軸マー ジンを配置位置対応電圧軸マージンとするよ うにしてもよい。

 次に、マージン算出部220が、マスクの配� ��位置を電圧軸方向に1ステップ移動させる(� �テップS703)。図30は、マスクの配置位置の移� ��を説明する図である。マージン算出部220は� ��マスク100の時間軸方向の中心位置をアイパ� ��ーンの1周期の中心位置に固定したまま、図 30中の点線で示すルートに沿って、1ステップ ずつ、マスク100がアイパターンの開口101から 出始めるまで、例えば図中の矢印の方向(上� �向)にマスク100を移動させる。

 マージン算出部220が、配置位置対応電圧� ��マージンの算出を終了するかを判断する(ス テップS704)。具体的には、マージン算出部220� ��、マスクの配置位置が、マスク100がアイパ� ��ーンの開口101から出始める配置位置である� ��を判断する。マスクの配置位置が、マスク1 00がアイパターンの開口101から出始める配置� ��置である場合、マージン算出部220は、配置� ��置対応電圧軸マージンの算出を終了すると� ��断する。

 マスクの配置位置が、マスク100がアイパ� ��ーンの開口101から出始める配置位置でない� ��合、マージン算出部220は、配置位置対応電� ��軸マージンの算出を終了しないと判断する� ��

 マージン算出部220が、配置位置対応時間� ��マージンの算出を終了しないと判断した場� ��は、ステップS702に戻る。マージン算出部220 が、配置位置対応時間軸マージンの算出を終 了すると判断した場合、マージン算出部220は 、算出された配置位置対応電圧軸マージンの うち、最も大きい配置位置対応電圧軸マージ ンに対応するマスクの配置位置を選択配置位 置として選択する(ステップS705)。そして、マ ージン算出部220は、選択配置位置における時 間軸マージン、電圧軸マージンを算出する(� �テップS706)。マージン算出部220は、選択配置 位置における各特徴点の時間軸マージンのう ち最小のものを該選択配置位置における時間 軸マージンとして算出する。また、マージン 算出部220は、該選択配置位置における各特徴 点の電圧軸マージンのうち最小のものを該配 置位置における電圧軸マージンとして算出す る。

 図31は、マスクの配置位置について第4の� ��ードが設定された場合のマージン算出部に� ��るマージン算出処理フローの一例を示す図� ��ある。なお、例えば、マスクの配置位置が� ��該マスクがアイパターンの開口に収まらな� ��ような配置位置である場合は、マージン算� ��部220は、後述するステップS802における時間 軸マージンと電圧軸マージンの算出処理、ス テップS803における配置位置対応二乗和の算� �処理を実行しないものとする。

 まず、マージン算出部220が、マスクの配� ��位置を初期設定する(ステップS801)。具体的� ��は、マージン算出部220が、例えば、図32中� �示すように、マスク100の電圧軸方向の中心� �置、マスク100の時間軸方向の中心位置を、� �め決められた任意の配置位置に設定する。

 マージン算出部220が、現在の配置位置の� ��スクの各特徴点についての時間軸マージン� ��電圧軸マージンとを算出する(ステップS802)� ��そして、マージン算出部220が、算出された� ��間軸マージンと電圧軸マージンとの二乗和� ��算出し、算出された二乗和が最小である特� ��点に対応する二乗和を、現在のマスクの配� ��位置に対応する二乗和(配置位置対応二乗和 )として算出する(ステップS803)。次に、マー� �ン算出部220が、マスクの配置位置を時間軸� �向又は電圧軸方向に1ステップ移動させる(ス テップS804)。図33は、マスクの配置位置の移� �を説明する図である。マージン算出部220は� �例えば、図33中の点線の矢印で示すルートに 沿って、1ステップずつ、マスク100がアイパ� �ーンの開口101の全ての領域を通過すること� �なるまでマスク100を移動させる。

 マージン算出部220が、配置位置対応二乗� ��の算出を終了するかを判断する(ステップS80 5)。具体的には、マージン算出部220は、該マ� ��クがアイパターンの開口101の全ての領域を� ��過したかを判断する。マージン算出部220が� ��マスク100がアイパターンの開口101の全ての� ��域を通過したと判断した場合、マージン算� ��部220は、配置位置対応二乗和の算出を終了� ��ると判断する。

 マージン算出部220が、マスク100が通過し� ��いないアイパターンの開口101の領域がある� ��判断した場合、マージン算出部220は、マー� ��ン算出部220は、配置位置対応時間二乗和の� ��出を終了しないと判断する。

 マージン算出部220が、配置位置対応二乗� ��の算出を終了しないと判断した場合は、ス� ��ップS802に戻る。マージン算出部220が、配置 位置対応二乗和の算出を終了すると判断した 場合、マージン算出部220は、上記ステップS80 3において算出された、配置位置対応二乗和� �うち、最も大きい配置位置対応二乗和に対� �するマスクの配置位置を選択配置位置とし� �選択する(ステップS806)。そして、マージン� �出部220は、選択配置位置における時間軸マ� �ジン、電圧軸マージンを算出する(ステップS 807)。具体的には、マージン算出部220は、選� �配置位置における各特徴点の時間軸マージ� �のうち最小のものを、該選択配置位置にお� �る時間軸マージンとして算出する。また、� �ージン算出部220は、該選択配置位置におけ� �各特徴点の電圧軸マージンのうち最小のも� �を、該選択配置位置における電圧軸マージ� �として算出する。