本発明者らは、上記課題を解決するため� ��鋭意研究を重ねた結果、特定のシロキサン� ��リアミド酸樹脂に特定の成分を配合するこ� ��で、本発明を完成させた。

 すなわち、本発明は、下記成分(A)~(D)、
(A)エチレン性不飽和結合を有するシロキサン 含有ポリアミド酸樹脂、
(B)有機ホスフィン酸の金属塩、
(C)常温で固体の芳香族リン酸縮合エステル、 フタル酸エステル及び脂肪族エステルから選 択される少なくとも1種のエステル化合物、� �びに
(D)光重合開始剤
を必須成分として含有する難燃性感光性樹脂 組成物であって、
(A)成分は、芳香族テトラカルボン酸二無水物 からなる酸無水物成分と、シロキサンジアミ ン及びエチレン性不飽和結合を有する芳香族 ジアミンを含むジアミン成分とを反応させて 得られるシロキサン含有ポリアミド酸樹脂で あり、(A)成分100重量部に対し、(B)成分を20~35� ��量部、(C)成分を5~20重量部含有し、且つ(B)成 分及び(C)成分の合計が30~50重量部であり、実� ��的にハロゲンを含まないことを特徴とする� ��燃性感光性樹脂組成物に関する。

 そして、(A)成分が、芳香族テトラカルボ� ��酸二無水物からなる無水物成分と、シロキ� ��ンジアミン及びエチレン性不飽和結合を有� ��る芳香族ジアミンを含むジアミン成分とを� ��応させて得られるものであって、シロキサ� ��ジアミンとエチレン性不飽和二重結合を有� ��る芳香族ジアミンのモル比が30/70~95/5である ことが好ましい。

 さらに、(A)成分100重量部に対して、更に� ��官能又は多官能の(メタ)アクリレートを5~60� ��量部含有することが有利である。

 また、本発明は、上記の難燃性感光性樹� ��組成物を、溶剤に溶解してなるワニス状の� ��燃性感光性樹脂組成物に関する。更に、本� ��明は、上記のワニス状の難燃性感光性樹脂� ��成物を、基板フィルム上に塗布、乾燥して� ��るフィルム状の難燃性感光性樹脂組成物に� ��する。更にまた、本発明は、上記の難燃性� ��光性樹脂組成物を、導体層がパターニング� ��れた回路基板上に皮膜形成した後、露光、� ��像、硬化してネガ型の絶縁皮膜が形成され� ��回路基板に関する。

 以下、難燃性感光性樹脂組成物に関する� ��発明を説明し、次にフィルム状の難燃性感� ��性樹脂組成物及びその使用方法に関する本� ��明を説明するが、共通する部分は同時に説� ��する。まず、本発明の難燃性感光性樹脂組� ��物の各構成要素について説明する。

 本発明の難燃性感光性樹脂組成物(以下、 感光性樹脂組成物ともいう)は、上記(A)~(D)成� ��を必須として含有する。(A)成分は、エチレ� ��性不飽和結合を有するシロキサン含有ポリ� ��ミド酸であり、(B)成分は有機ホスフィン酸� ��金属塩であり、(C)成分は、常温で固体の芳� ��族リン酸縮合エステル、フタル酸エステル� ��び脂肪族エステルから選択される少なくと� ��1種のエステル化合物であり、(D)成分は光重 合開始剤である。

 本発明に用いる(A)成分は、芳香族テトラカ� ��ボン酸二無水物の酸無水物成分と、シロキ� ��ンジアミン及びエチレン性不飽和結合を有� ��る芳香族ジアミンを含むジアミン成分とを� ��応させて得られるシロキサン含有ポリアミ� ��酸樹脂であり、分子内に重合可能なエチレ� ��性不飽和結合を有することにより、光又は� ��重合開始剤の作用によって架橋可能となる� ��ロキサン含有ポリアミド酸樹脂である。シ� ��キサン含有ポリアミド酸樹脂は、アミド酸� ��合の一部がイミド化していてもよい。但し� ��良好なアルカリ現像性を確保するために、� ��のイミド化率は30%未満が望ましい。なお、� ��リアミド酸のイミド化率は、例えば、日本� ��光製のフーリエ変換赤外分光光度計「FT/IR62 0(商品名)」を用い、透過法にてポリイミド薄 膜の赤外線吸収スペクトルを測定することに よって、1,000cm ^-1 のベンゼン環炭素水素結合を基準とし、1,720c m ^-1 のイミド基由来の吸光度から算出される。

 シロキサン含有ポリアミド酸樹脂を製造� ��るために使用される芳香族テトラカルボン� ��二無水物としては、例えば、ピロメリット� ��二無水物、2,2'’,3,3’-、2,3,3’,4’-又は3,3� �,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無 水物、2,3,6,7-、1,2,4,5-、1,4,5,8-、1,2,6,7-又は1,2, 5,6-ナフタレン-テトラカルボン酸二無水物、4 ,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレ� �-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2 ,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン 酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロ ナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボ� �酸二無水物、3,3’,4,4’-、2,2’,3,3’-又は2,3, 3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水� �、3,3”,4,4”-、2,3,3”,4”-又は2,2”,3,3”-p-テ ルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-� �ス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパ ン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル) エーテル二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボ キシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は 3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物� ��1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)� �タン二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又� �5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物 、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-� ��トラカルボン酸二無水物、シクロペンタン- 1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン- 2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジ� ��-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフ� ��ン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4’- オキシジフタル酸二無水物がある。また、こ れらは1種又は2種以上混合して用いることが� ��きる。有利には、無水ピロメリット酸、4,4� ��-オキシジフタル酸二無水物、ベンゾフェノ ンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテ トラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテ ルテトラカルボン酸二無水物等が例示される が、これらの中でも、ベンゾフェノンテトラ カルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカル ボン酸二無水物が好ましい。

 シロキサン含有ポリアミド酸樹脂を製造す� ��ために使用されるジアミン成分は、シロキ� ��ンジアミンとエチレン性不飽和結合を有す� ��芳香族ジアミンである。シロキサンジアミ� ��としては、下記一般式(1)で表されるシロキ� ��ンジアミンが好ましい。

 式(1)において、R ₁ ~R ₄ は炭素数1~6のアルキル基又はフェニル基を示 すが、好ましくはメチル基、エチル基又はフ ェニル基である。R ₅ は炭素数2~6のアルキレン基又はフェニレン基 を示すが、好ましくは炭素数2~4のアルキレン 基又はフェニレン基である。また、平均繰り 返し単位nは0~30、好ましくは1~20、より好まし くは1~12である。平均繰り返し単位nが大きい� ��耐薬品及び回路パターンとの密着性が低下� ��るおそれがある。

 このようなシロキサンジアミンとしては� ��例えば、ω, ω’-ビス(2-アミノエチル)ポリ� ��メチルシロキサン、ω, ω’-ビス(3-アミノ� �ロピル)ポリジメチルシロキサン、ω, ω’-� �ス(4-アミノフェニル)ポリジメチルシロキサ� ��、ω, ω’-ビス(3-アミノプロピル)ポリジフ� ��ニルシロキサン、ω, ω’-ビス(3-アミノプ� �ピル)ポリメチルフェニルシロキサンなどが� ��げられる。これらは単独でも良いし、2種類 以上混合して用いることもできる。

 エチレン性不飽和結合を有する芳香族ジア� ��ンは、Si-O単位を含まない芳香族ジアミンで あり、下記一般式(2)で表される芳香族ジアミ ン好ましい。

 式(2)において、R ₆ は2価の基又は直結合を示すが、直結合、CH ₂ 、C(CH ₃ ) ₂ 及びSO ₂ から選択されるいずれかであることが好まし い。R ₇ はCH=CH-R ₈ -で表される基であり、R ₈ は直結合、炭素数1~6のアルキレン基又はフェ ニレン基を示すが、R ₇ はビニル基であることが反応性の点では好ま しい。具体例としては、2,2’‐ジビニル-4,4� �‐ジアミノ-ビフェニル等が挙げられる。

 シロキサン含有ポリアミド酸樹脂を製造� ��るために使用されるジアミン成分において� ��シロキサンジアミンとエチレン性不飽和結� ��を有する芳香族ジアミンのモル比が30/70~95/5 であることが好ましい。すなわち、シロキサ ンジアミンは、全ジアミン成分100モルに対し て、30~95モルが好ましく、より好ましくは40~9 5モルがよく、更に好ましくは50~90モルの範囲 がよい。エチレン性不飽和結合を有する芳香 族ジアミンは、全ジアミン成分100モルに対し て、5~70モルが好ましく、より好ましくは5~30� ��ルの範囲がよい。全ジアミン成分100モルに� ��して、シロキサンジアミンが30モルより低� �と硬化物の収縮率が大きくなり、それを用� �たフレキシブルプリント配線板に反りが生� �、95モルを超えると耐熱性の低下が懸念され る。

 また、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂� ��製造するために使用されるジアミン成分と� ��て、前記のシロキサンジアミン及びエチレ� ��性不飽和結合を有する芳香族ジアミン以外� ��実質的にハロゲンを含まない他の芳香族ジ� ��ミンを併用することができる。具体的には� ��4,4’-ジアミノフェニルエタン、4,4’-ジア� �ノフェニルエーテル、4,4’-ジジアミノフェ� ��ルスルフィド、4,4’-ジジアミノフェニルス ルフォン、1,5-ジアミノナフタレン、3,3-ジメ� ��ル-4,4’-ジアミノビフェニル、5-アミノ-1-(4� ��-アミノフェニル)-1,3,3-トリメチルインダン� ��4,4’-ジアミノベンズアニリド、3,4’-ジア� �ノジフェニルエーテル、2,7-ジアミノフルオ� ��ン、3,3’-ジメトキシ-4,4’-ジアミノビフェ� ��ル、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニ� �]プロパン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベ� �ゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェ ニル、1,3’-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼ� ��、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、4, 4’-(p-フェニレンイソプロピリデン)ビスアニ リン、4,4’-(m-フェニレンイソプロピリデン)� ��スアニリン、ヒドロキシアミノビフェニル� ��が挙げられる。このような芳香族ジアミン� ��使用量は、全ジアミン成分100モルに対して� ��0~50モルが好ましく、より好ましくは5~30モ� �の範囲がよい。この割合が50モルを超える場 合は、エチレン性不飽和結合を有する芳香族 ジアミンが減り、耐熱性の低下が懸念される 。

 本発明に使用されるエチレン性不飽和結� ��を有するシロキサン含有ポリアミド酸樹脂� ��製造方法の一例について説明する。まず、� ��香族酸二無水物を溶媒中に加え、溶解する� ��これを攪拌しながら、窒素雰囲気下、氷冷� ��で、シロキサンジアミンを含む2種以上のジ アミンを徐々に加える。この後2~8時間攪拌し て反応させることによってシロキサン含有ポ リアミド酸樹脂を得る。このような方法で得 られるシロキサン含有ポリアミド酸樹脂は、 重合度が異なる混合物である。なお、ジアミ ンの添加方法を変えるなどして、ランダム重 合型又はブロック重合型のポリアミド酸樹脂 としてもよい。

 上記反応を行う溶媒としては、トリエチ� ��ングリコールジメチルエーテル(トリグライ ム)、ジエチレングリコールジメチルエーテ� �(ジグライム)、ジメチルアセトアミド、N-メ� ��ルピロリドンなどの有機溶媒あるいはこれ� ��の混合溶媒を用いることができる。

 酸二無水物とジアミンは、ほぼ等モル量� ��えるのが望ましい。また、反応は室温以下� ��好ましくは0℃付近で行うことにより、イミ ド化を進行させず重合させることができる。 ジアミンと芳香族酸二無水物の使用割合を変 化させることにより、重合度を変化させるこ とができる。

 このようにして得られるシロキサン含有� ��リアミド酸樹脂は、後述の(D)光重合開始剤� ��混合して感光性樹脂組成物とされる。この� ��ロキサン含有ポリアミド酸樹脂は、硬化後� ��あっても可とう性を有するため柔軟性が要� ��される用途に使用でき、感光性樹脂組成物� ��用いる樹脂成分に適する。また、シロキサ� ��含有ポリアミド酸樹脂は、末端もしくは側� ��にカルボキシル基を有するため、アルカリ� ��溶液による現像にも適する。

 本発明で用いる(B)成分の有機ホスフィン酸� ��金属塩は、2つの有機基がリンに結合してい るリン酸の金属塩であり、好適には下記式(3) で表される。

 2つの有機基R ₁ 及びR ₂ は、互いに同じか又は異なる直鎖状の又は枝 分かれした炭素数1~6のアルキル基又はフェニ ル基若しくはトリル基であることが好ましい 。金属種MはMg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Fe、Zr� �Ce、Bi、Sr、Mn、Li、Na及びKからなる群の少な� ��とも1種より選択されるものであることが好 ましい。なお、Mが2価以上のn価の場合は、下 記式(3)のMはM _1/n と変形する。また、難燃効果を向上させるた め、(B)成分中のリン含有率を高めることが好 ましく、具体的には2つの有機基R ₁ 及びR ₂ は炭素数1~3のアルキル基が好ましく、また、 感光性樹脂組成物の難燃性及び可とう性を向 上させ、並びに金属塩としての水への溶解性 の抑制させるため、金属種MはAlが好ましい。

 また、(B)成分の有機ホスフィン酸の金属� ��は、硬化前の感光性樹脂組成物において固� ��粒子状に分散し、硬化後においても固体粒� ��状のまま存在するフィラーである。この平� ��粒径は0.1~10μmの範囲が好ましく、より好ま� ��くは0.5~5μmの範囲がよい。平均粒径が40μmを 超えると感光性樹脂組成物の可とう性や現像 の解像度が低下する傾向にあり、0.1μm未満で あると十分な難燃性を発現するために使用量 が増加し、経済的に不利である。なお、上記 フィラーの平均粒径は、レーザー回折法によ って測定される平均粒径であり、例えば、島 津製作所製のレーザー回折式粒度分布測定装 置「SALD-2000(商品名)」を用いて測定すること� ��できる。また、上記フィラーとしては、市� ��品が入手可能であり、例えば、クラリアン� ��ジャパン株式会社製のホスフィン酸アルミ� ��ウム塩であるエクソリットOP930(商品名)、エ クソリットOP935(商品名)、エクソリットOP940(� �品名)等が挙げられる。

 (C)成分のエステル化合物は、常温で固体� ��芳香族リン酸縮合エステル、フタル酸エス� ��ル及び脂肪族エステルから選択される少な� ��とも1種である。これらのエステル化合物は 、難燃性を付与しつつも、アルカリ現像液溶 解性及び低タック性を維持させることのでき る成分である。また、(C)成分を配合すること によって、(B)成分の配合量を抑制することが でき、経済的にも有利となる。

 常温で固体の芳香族リン酸縮合エステルは� ��好ましくは、下記式(4)で表され融点が50℃� �上の芳香族リン酸縮合エステルである。

 式中、Rは独立にアリール基であり、Arは� ��リーレン基である。好ましいアリール基は� ��ェニル基又はアルキル置換フェニル基であ� ��、好ましいアリーレン基はフェニレン基又� ��アルキル置換フェニレン基である。また、� ��ルキル置換フェニル基のアルキルとしては� ��炭素数1~6のアルキル基が好ましい。芳香族� ��ン酸縮合エステルとしては、例えば1,3-フェ ニレンビス(ジ2,6-キシレニルホスフェート)が あり、これは大八化学株式会社からPX-200(商� �名)として入手可能である。

 また、フタル酸エステルは、例えば、ジ� ��チルフタレート、ジエチルフタレート、ジ� ��チルフタレート、ジヘプチルフタレート、� ��-2-エチルヘキシルフタレート、ジ-n-オクチ� ��フタレート、ジイソデシルフタレート、ブ� ��ルベンジルフタレート、ジイソノニルフタ� ��ート、エチルフタリルエチルグリコレート� ��が挙げられる。好ましくは、炭素数1~14のア ルコールのフタル酸エステルである。

 更に、脂肪族エステルは、例えば、ジメ� ��ルアジペート、ジイソブチルアジペート、� ��ブチルアジペート、ジ-2-エチルヘキシルア� ��ペート、ジイソデシルアジペート、ジブチ� ��ジグリコールアジペート、ジ-2-エチルヘキ� ��ルアゼテート、ジメチルセバケート、ジブ� ��ルセバケート、ジ-2-エチルヘキシルセバケ� ��ト、メチル-アセチルリシノレート等が挙げ られる。好ましくは、炭素数1~14のアルコー� �と炭素数3~20の脂肪族ジカルボン酸から得ら� ��る脂肪族エステルである。

 上記(B)成分及び(C)成分の含有量は、(A)成� ��100重量部に対し、(B)成分が20~35重量部であ� �、好ましくは20~30重量部であり、(C)成分が5~2 0重量部であり、好ましくは10~20重量部であり 、且つ(B)成分及び(C)成分の合計が30~50重量部� ��ある。上記下限より少ないと、十分な難燃� ��が得られず、また上記上限を超えると、引� ��特性及び可とう性が低下する傾向にある。

 (D)成分の光重合開始剤としては、例えば� ��アセトフェノン、2,2-ジメトキシアセトフェ ノン、p-ジメチルアミノアセトフェノン、ミ� ��ラーケトン、ベンジル、ベンゾイン、ベン� ��インメチルエーテル、ベンゾインエチルエ� ��テル、ベンゾインイソプロピルエーテル、� ��ンゾインn-プロピルエーテル、ベンゾインn- ブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール 、チオキサソン、2-クロロチオキサソン、2-� �チルチオキサソン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1- フェニル-1-オン、1-(4-イソプロピルフェニル) -2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、メチ ルベンゾイルフォーメート、1-ヒドロキシシ� ��ロヘキシルフェニルケトン等の種々の光重� ��開始剤が使用可能である。光重合開始剤の� ��ましい使用量は、シロキサン含有ポリアミ� ��酸樹脂100重量部に対して、0.5~20重量部、好� ��しくは0.5~10重量部であることがよい。

 本発明の難燃性感光性樹脂組成物は、上� ��成分(A)~(D)を必須成分とするが、他の樹脂、 (メタ)アクリレート等のモノマーからなる樹� ��成分(樹脂成分にはモノマーを含む)、増感� �、難燃補助剤、溶剤等を必要により加える� �とができる。このような組成物とすること� �より、難燃性感光性樹脂組成物としてより� �れた特性を有するものとなるだけでなく、� �の用途も拡大する。なお、溶剤を加えてワ� �ス状とした難燃性感光性樹脂組成物は、ワ� �ス状の難燃性感光性樹脂組成物と言うが、� �に区別する必要がないときは、感光性樹脂� �成物で代表する。そして、各成分(溶剤を除� ��)の配合量又は配合割合についての説明では 、溶剤を含まない状態での説明と理解される 。

 本発明の難燃性感光性樹脂組成物は、単� ��能又は多官能の(メタ)アクリレートを配合� �ることもできる。使用し得る単官能アクリ� �ートとしては、例えば、2-エチルヘキシルア クリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレー� ��、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒ ドロキシエチルアクリロイルホスフェート、 2-メトキシエトキシエチルアクリレート、2-� �トキシエトキシエチルアクリレート、テト� �ヒドロフルフリールアクリレート、フェノ� �シエチルアクリレート、イソデシルアクリ� �ート、ステアリルアクリレート、ラウリル� �クリレート、グリシジルアクリレート、ア� �ルアクリレート、エトキシアクリレート、� �トキシアクリレート、N,N’-ジメチルアミノ� ��チルアクリレート、ベンジルアクリレート� ��2-ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェ� �ト、ジシクロペンタジエニルアクリレート� �ジシクロペンタジエンエトキシアクリレー� �等がある。多官能アクリレートとしては、� �シクロペンテニルアクリレート、ジシクロ� �ンテニルオキシエチルアクリレート、1,3-ブ� ��ンジオールジアクリレート、1,4-ブタンジオ ールジアクリレート、1,6-ブタンジオールジ� �クリレート、ジエチレングリコールジアク� �レート、ネオペンチルグリコールジアクリ� �ート、ポリエチレングリコール200ジアクリ� �ート、ポリエチレングリコール400ジアクリ� �ート、ポリエチレングリコール600ジアクリ� �ート、ジエチレングリコールジアクリレー� �、ネオペンチルグリコールジアクリレート� �ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチ� �グリコールジアクリレート、トリエチレン� �リコールジアクリレート、ビス(アクリロキ� ��エトキシ)ビスフェノールA、ビス(アクリロ� ��シエトキシ)テトラブロモビスフェノールA� �トリプロピレングリコールジアクリレート� �トリメチロールプロパントリアクリレート� �ペンタエリスリトールトリアクリレート、� �リス(2-ヒドロキシエチル)イソシアネート、� ��ンタエリスリトールテトラアクリレート、� ��ペンタエリスリトールヘキサアクリレート� ��ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペ� ��タアクリレート等がある。本発明の難燃性� ��光性樹脂組成物において、このような(メタ )アクリレートは、シロキサン含有ポリアミ� �樹脂100重量部に対して、5~60重量部、好まし� ��は10~30重量部添加することがよい。

 また、増感剤を配合することも有利であ� ��、この場合、増感剤としてはベンゾフェノ� ��等が使用できる。増感剤はシロキサン含有� ��リアミド酸樹脂100重量部に対して、0.01~2重� ��部、好ましくは0.05~0.5重量部添加すること� �よい。

 本発明の感光性樹脂組成物は、各種有機� ��剤等により粘度等を調整することができる� ��用いるにあたって好ましい有機溶剤を例示� ��ると、トリエチレングリコールジメチルエ� ��テル(トリグライム)、ジエチレングリコー� �ジメチルエーテル(ジグライム)、ジメチルア セトアミド、N-メチルピロリドン、プロピレ� ��グリコールモノメチルエーテルアセテート( ペグミア)、乳酸エチルあるいはこれらの混� �溶媒が挙げられる。溶剤の使用量は感光性� �脂組成物の固形分100重量部に対して、10~100� �量部の範囲が好ましい。なお、溶剤を10重量 %以上含み常温で液状を示す感光性樹脂組成� �は、ワニス状の感光性樹脂組成物という。� �た、ポリアミド酸樹脂製造の際に反応溶媒� �して使用される有機溶剤が残存する場合は� �この溶剤として計算する。

 感光性樹脂組成物には、エポキシ等のカ� ��ボキシ基と反応する成分を加えることもで� ��るが、その添加量は、室温保存安定性を損� ��わないように感光性樹脂組成物の固形分100� ��量部に対して、10重量部未満、好ましくは5� ��量部未満添加するのがよい。

 また、感光性樹脂組成物には、必要に応� ��てフタロシアニングリーン、フタロシアニ� ��ブルー等の公知顔料をレジストとしての諸� ��性を損なわない範囲で添加することができ� ��。その場合の顔料の好ましい添加量は、感� ��性樹脂組成物(固形分)に対して1~20重量%であ る。更に、本発明の感光性樹脂組成物には必 要に応じて公知のフィラーを添加することが 可能であり、感光性塗料にも応用が可能であ る。 

 本発明の感光性樹脂組成物は、実質的に� ��ロゲン元素を含まない。ここで、実質的に� ��ロゲン元素を含まないとは、ハロゲン元素� ��して900wtppm以上のハロゲン及びハロゲン化� �物を含まないことをいう。

 本発明の感光性樹脂組成物の固形分(モノマ ーを含み、溶剤を除く)の好ましい組成は次� �とおりである。
(A)シロキサン含有ポリアミド酸樹脂:40~75重量 %、好ましくは50~60重量%、(B)有機ホスフィン� �の金属塩:15~25重量%、好ましくは15~20重量%、( C)エステル化合物:5~15重量%、好ましくは10~15� �量%、(D)光重合開始剤:0.5~15重量%、好ましく� �1~10重量%、増感剤:0~0.5重量%、好ましくは0.05~ 0.5重量%、他の樹脂、(メタ)アクリレート等の モノマーからなる樹脂成分:0~25重量%、好まし くは10~20重量%。

 本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂成分� ��上記各種添加物や溶剤を好ましくは上記比� ��で配合し、均一に混合することによって柔� ��性ならびに諸特性を発現することができる� ��そして、粘性液体、ワニス状、インク状又� ��フィルム状等の形であることができる。フ� ��ルム状とする場合は、液状又はワニス状の� ��光性樹脂組成物を基材フィルム上に塗布、� ��燥して得られるものであることがよく、必� ��により基材フィルムから剥離してもよい。

 本発明の感光性樹脂組成物は、通常知ら� ��ている使用方法に従って用いることができ� ��が、配線基板に適用する場合には、液状又� ��ワニス状の感光性樹脂組成物を使用し、ク� ��ーン印刷機やコーターを用いて配線基板に5 ~100μmの厚さ、好ましくは10~40μmの厚さで直接 塗工することが可能である。塗工された組成 物は、50~120℃の温度で適度に予備乾燥し、そ の後、所定のマスクパターンを形成したフォ トマスクを用いて選択的に露光し、未露光部 をアルカリ水溶液にて現像し、120~200℃の温� �で20~120分の熱処理により硬化させることが� �能である。また、感光性樹脂組成物をあら� �じめフィルム状に形成し、これを、配線基� �にラミネートする方法も採用することがで� �る。ラミネートにより得られた回路基板は� �記と同様の露光、現像、熱硬化による方法� �採用することができる。

 このように、塗布又はラミネートして得� ��れた配線基板/感光性樹脂層からなる積層体 は、本発明の感光性樹脂組成物が柔軟性に優 れることから、特にフレキシブル配線基板の 加工に好ましく用いることができる。その他 、本発明の感光性樹脂組成物を用いた配線基 板は、感光性樹脂組成物の硬化物特性が耐熱 性、耐メッキ性、耐湿性等のバランスがよい ことから、これらの特性が要求される用途に 適している。