Die Erfindung betrifft eine Schicht, die in der Lage ist, bei Einwirken einer äußeren Kraft, ihre Festigkeit sprungartig zu erhöhen, sobald die äußere Kraft einen bestimmten Wert erreicht hat, und bei Nachlassen dieser äußeren Kraft wieder in den ursprünglichen Zustand

zurückzukehren, des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung dieser

Schicht sowie die Verwendung der Schicht als schockabsorbierendes Mittel, zur Erzeugung von Gefäßprothesen mit nichtlinear elastischem Verhalten und für flexible Anzeigevorrichtungen.

Das Verhalten bei Einwirken einer äußeren Kraft, die Festigkeit zu erhöhen ist als„Strain- Stiffening" bekannt. Einige Körpergewebe, wie zu Beispiel die Aorta zeigen„Strain-Stiffening"- Verhalten. Entsprechende Materialien können besseren Ersatz bieten, als Materialien mit linearem Elastizitätsverhalten (oder sogar„Strain-Softening"). [Qi Wen, Paul A. Janmey, Effects of non-linearity on cell-ECM interactions, Experimental Cell Research, Volume 319, Issue 16, 1 October 2013, Pages 2481-2489, ISSN 0014-4827,

http://dx.doi.Org/10.1016/j.yexcr.2013.05.017].

Der Inhalt der Druckschriften "Self-Healing Polymers: From Principles to Applications, First

Edition. Edited by Wolfgang H. Binder © 2013 Wley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA. Published 2013 by Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. und Kim et al. Biomicrofluidics 7, 041501 (2013) doi: 10.1063/1.4816934 und Pence et al. Biomater. Sei., 2014, 2, 1296-1304 (DOI:

10.1039/c4bm00193a) wird explizit mit eingeschlossen.

Die US 2003/0055496 A1 schlägt eine Gefäßprothese mit nicht linear elastischem Verhalten vor, bei der das nicht linear elastische Verhalten durch textile Verhakungen der äußeren Schicht verursacht wird. Dem aus medizinischer Sicht sehr erstrebenswerten nicht linear elastischen Verhalten, sind bei dem System aber Grenzen durch die Geometrie und Größe der textilen Verhakungen gesetzt.

Die US 2010/0205722 beschreibt eine schockabsorbierende Schicht bei der mehrere vereinzelte, regelmäßig angeordnete, flexible Elemente, durch Berührung mit einem weniger flexiblen Gitter kommt es zu einer Verteilung der Anprallkraft über eine größere Fläche und somit zu einer stoß- und schockabsorbierenden Wrkung. Nachteil dieser Systeme ist die geringe Flexibilität der Systeme.

Die DE 60222805 T2 schlägt daher den Einsatz von dilatanten Fluiden im Rahmen eines energieabsorbierenden Verbundstoffes vor. Das System ist durch den Einsatz des Fluides limitiert und nicht für sehr dünne Schichten geeignet. Aus der US 8,072,437 B2 sind flexible Multitouch Displays bekannt, hier wäre zum Schutz der Sensoren eine Schicht, die bei Einwirken einer äußeren Kraft sich ab einem bestimmten Wert verfestigt und bei Nachlassen dieser äußeren Kraft sofort wieder die ursprüngliche Flexibilität erreicht von großen Vorteil. Bei diesen Systemen ist es entscheidend wichtig, die Dimensionen klein, vorzugsweise in einem Bereich von kleiner 100μηι halten zu können.

Daher ist es Aufgabe der Erfindung eine Schicht, die in der Lage ist, bei Einwirken einer äußeren Kraft, ihre Festigkeit sprungartig zu erhöhen, sobald die äußere Kraft einen

bestimmten Wert erreicht hat, und bei Nachlassen dieser äußeren Kraft wieder in den ursprünglichen Zustand zurückzukehren bereitzustellen.

Des Weiteren ist es Aufgabe der Erfindung eine Schicht, die in der Lage ist, bei Einwirken einer äußeren Kraft, ihre Festigkeit sprungartig zu erhöhen, sobald die äußere Kraft einen bestimmten Wert erreicht hat, und bei Nachlassen dieser äußeren Kraft wieder in den ursprünglichen Zustand zurückzukehren, die dabei über Dimensionen von weniger als 100μηι verfügen kann, bereitzustellen.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es ein Verfahren zur Herstellung einer Schicht, die in der Lage ist, bei Einwirken einer äußeren Kraft, ihre Festigkeit sprungartig zu erhöhen, sobald die äußere Kraft einen bestimmten Wert erreicht hat, und bei Nachlassen dieser äußeren Kraft wieder in den ursprünglichen Zustand zurückzukehren, bereitzustellen.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es ein Verfahren zur Herstellung einer Schicht, die in der Lage ist, bei Einwirken einer äußeren Kraft, ihre Festigkeit sprungartig zu erhöhen, sobald die äußere Kraft einen bestimmten Wert erreicht hat, und bei Nachlassen dieser äußeren Kraft wieder in den ursprünglichen Zustand zurückzukehren (relaxieren), das eine Anpassung der Festigkeit an die wirkenden Kräfte, die erforderliche Festigkeit und das Relaxationsverhalten ermöglicht, bereitzustellen.

Die Aufgabe der Erfindung wird zum einen gelöst durch eine Schicht aufweisend vereinzelte in ihrer Länge ihren Durchmesser übertreffende säulenartige Elemente aus elastischem Material, die in einem Zentrum zu Zentrum Abstand voneinander auf einem Trägermaterial befestigt sind, dadurch gekennzeichnet dass die Elemente zueinander oder voneinander weg bewegbar sind, die Elemente sich beim zueinander bewegen berühren können, die Außenflächen der Elemente mit einer Oberflächenmodifikation versehen sind, die Oberflächenmodifikation

Substanzen enthält, die zur Ausbildung reversibler, nicht kovalenter Bindungen befähigt sind.

Das Material weist in ihrer Länge ihren Durchmesser übertreffende Elemente (Säulen) aus einem Elastomer auf. Sie sind so beschaffen, dass eine äußere Krafteinwirkung auf die

Elemente dafür sorgt, dass sich einzelne Teile der Elemente einander berühren. Die Außenflächen der Elemente weisen eine Oberflächenmodifikation auf, die dafür sorgt, dass an den Stellen, an denen die Berührung stattfindet, eine reversible Verbindung der Teile entsteht. Die Stärke der Verbindung ist dabei so gewählt, dass sie sich löst, sobald die zuvor auf das Material angewandte Kraft weggenommen wird und das Material in den

Ausgangszustand zurückkehren kann (Reversibilität). Die Oberflächenmodifikation wird dabei nicht verändert.

Die Wahl des Trägermateriales bestimmt die initialen mechanischen Eigenschaften des Materials. Die Form das Trägermateriales und die Art der Oberflächenbehandlung bestimmen die mechanischen Eigenschaften des Materials im Fall der Verformung.

In einer Ausführungsform ist es bevorzugt ausschließlich biokompatible Materialien zu verwenden und somit ein biokompatibles Produkt zu erhalten.

Das Prinzip der erfindungsgemäßen Schicht ist schematisch in Abbildung 1 gezeigt. In

Abbildung 1A sind die säulenartigen Elemente (1) mit einer Oberflächenmodifikation (2), die auf dem Trägermaterial (3) befestigt sind, ohne äußere Krafteinwirkung zu sehen. Die Struktur wird durch eine Deckplatte (4) abgedeckt. Durch äußere Krafteinwirkung (5) werden die Elemente geschert, die Elemente berühren sich (Abbildung 1 B) aufgrund der Oberflächenmodifikation (2) kommt es zur Ausbildung reversibler nicht kovalenter Bindungen und damit zu einer Vernetzung und Versteifung des Materials. Beim Nachlassen oder Wegfall der äußeren Krafteinwirkung (5) kehrt das System aufgrund der rückstellenden Kraft durch die elastischen Eigenschaften der Elemente wieder in seinen ursprünglichen Zustand zurück (Abbildung 1 C).

Es kann sich bei der Oberflächenmodifikation um eine Biofunktionalisierung, Chemische Funktionalisierung, Veränderung der Oberflächentopographie, um eine mechanische

Vernetzung zu gewährleisten, handeln.

Die Oberflächenmodifikation (2) enthält Substanzen, die zur Ausbildung reversibler, nicht kovalenter Bindungen befähigt sind. Solche Substanzen sind dem Fachmann allgemein z.B. aus "Self-Healing Polymers: From Principles to Applications, First Edition. Edited by Wolfgang H. Binder © 2013 Wley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA. Published 2013 by Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA bekannt.

In einer besonderen Ausführungsform können die Substanzen, die zur Ausbildung reversibler, nicht kovalenter Bindungen befähigt sind, über eine Bindung zwischen Protein A und

Antikörpern, Concanavalin A und α-D-Glukose oder Streptavidin und Biotin verfügen. Solche Systeme sind dem Fachmann beispielsweise aus Kim et al. Biomicrofluidics 7, 041501 (2013) doi: 10.1063/1.4816934 und Pence et al. Biomater. Sei., 2014, 2, 1296-1304 (DOI:

10.1039/c4bm00193a) bekannt. Des Weiteren kommen chemische Bindungskonzepte wie Supramolekulare Strukturen mit Wasserstoffbrückenbindungen, ττ- ττ-stacks, Metall-Ligand Systeme, oder lonomere in Frage.

Die Elemente bestehen aus elastischen Materialien. Die Eigenschaft Elastizität lässt sich mit dem Elastizitätsmodul angeben. Elastizitätsmodule von Materialien findet der Fachmann beispielsweise in Materials Data Book 2003 Edition von Cambridge University Engineering Department.

Die spätere Anwendung der erfindungsgemäßen Schicht gibt die erforderlichen Parameter, mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt eine Auswahl der Materialien, Formen und Dimensionen der Elemente, sowie der Oberflächenmodifikation.

Zur Herstellung der erfindungsgemäßen Schicht wird ein Verfahren verwendet, dass zunächst die für die anschließende materielle Herstellung notwendigen Parameter festlegt, umfassend die folgenden Schritte:

i) Festlegung der Länge der Elemente (L) anhand der durch die spätere Anwendung

vorgegebenen gesamten Dimensionierung und der erreichbaren Filmdicke;

ii) Durch die spätere Anwendung wird die grundlegenden Steifigkeit der Schicht vorgegebenen anhand dieser Information wird das Material (über den E-Modul), die Form und der

Durchmesser der Elemente (über den Flächenträgheitsmodul I) festgelegt;

iii) Festlegung der gewünschten Auslenkung (Δ) bis die Versteifung eintritt anhand der

notwendigen prozentualen Versteifung der Schicht;

iv) Festlegung der Oberflächenmodifikation hinsichtlich der Substanzen und Konzentration der Substanzen unter der Maßgabe eine Haftkraft zu gewährleisten, die unterhalb der durch die Schritte i bis iii gegebenen Rückstellenden Kraft R _A liegt;

v) Materielle Herstellung der Schicht.

Zur Materiellen Herstellung der Schicht können im Wesentlichen zwei Methoden verwendet werden.

Entweder die Säulenabstände sind direkt so festgelegt, dass der finale Säulenabstand mit einem Guss erreicht werden kann, oder es wird ein weiterer Säulenabstand gewählt, sodass der finale Säulenabstand durch das ineinander Stellen von zwei Proben erreicht wird. Methode A - Fertige Schicht mit einem Guss:

Diese Methode ist für Oberflächenmodifikationen geeignet bei denen Substanzen eingesetzt werden sollen, die mit Ihresgleichen binden (z.B. Cadherin-Cadherin). Es darauf zu achten, dass beim Zusammengeben der Materialien die aktiven Enden der Substanzen, welche zur Oberflächenmodifikation eingesetzt werden, geblockt werden, damit die Moleküle an die Oberfläche binden und nicht nur mit sich selber reagieren. Die Abstände der säulenartigen Elemente sind nach Anwendung von Methode A immer gleich und es entfällt der Arbeitsschritt des Ineinanderstellens zweier Teilschichten.

Schritt v Methode A: Materielle Herstellung der Schicht umfassend die folgenden Schritte

- Herstellung der Gussform unter Berücksichtigung der in Schritt i bis iii festgelegten Parameter für die Länge, die Anordnung, die Form und den Durchmesser der Elemente nach dem Fachmann allgemein bekannten Methoden

- Aufbringen einer Antihaftbeschichtung auf die Gussform

- Abgießen der Gussform mit dem in Schritt ii festgelegten Material und E-Modul

- Aufbringen der Oberflächenmodifikation bei denen entsprechend Schritt iv Substanzen eingesetzt werden sollen, die mit Ihresgleichen binden (z.B. Cadherin-Cadherin).

Es ist darauf zu achten, dass beim Zusammengeben der Materialien die aktiven Enden der Substanzen, welche zur Oberflächenmodifikation eingesetzt werden, geblockt werden.

- Aufbringen eines Klebers

- Aufkleben der Deckplatte (4)

- Aushärten des Klebers

Methode B - Ineinanderstellen zweier Teilschichten:

Bei dieser Methode können Oberflächenmodifikationen gewählt werden, bei denen zwei verschiedene Substanzen, die miteinander eine reversible, nicht kovalente Bindung ausbilden (z.B. Biotin-Streptavidin) verwendet werden. Jeweils eine Teilschicht wird mit einer der beiden Substanzen funktionalisiert. Im Anschluss werden beide Teilschichten ineinander gestellt.

Schritt v Methode B: Materielle Herstellung der Schicht umfassend die folgenden Schritte - Herstellung von ein bis zwei Gussformen unter Berücksichtigung der in Schritt i bis iii festgelegten Parameter für die Länge, die Anordnung, die Form und den Durchmesser der Elemente nach dem Fachmann allgemein bekannten Methoden

- Aufbringen einer Antihaftbeschichtung auf die Gussformen

- Abgießen einer Gussform mit dem in Schritt ii festgelegten Material und E-Modul

- Abgießen einer weiteren Gussform mit dem in Schritt ii festgelegten Material und E-Modul - Aufbringen der Oberflächenmodifikation bei denen entsprechend Schritt iv zwei verschiedene Substanzen eingesetzt werden, die miteinander eine reversible, nicht kovalente

Bindung ausbilden

- Aufbringen des Klebers

- Ineinanderstellen der beiden Teilschichten

- Aushärten des Klebers

Die Herstellung der Gussform erfolgt nach dem Fachmann allgemein bekannten Methoden. Neben dem Verfahren des Reaktiven lonenätzens kommt die Lithographie insbesondere die Fotolithographie zum Einsatz.

Antihaftbeschichtungen sind dem Fachmann allgemein bekannt, bevorzugt wird eine

Silansierung verwendet.

Das Abgießen der Gussform erfolgt nach allgemein bekannten Methoden. Bevorzugt werden Monomere oder Präpolymere gemeinsam mit einem geeigneten„Vernetzer" in die Form eingeführt und so auf chemischem Wege über Polyreaktionen ausgehärtet. Bei Verwendung dieser Methode kann durch die Menge an„Vernetzer" der E-Modul des Materials auf den zuvor festgelegten Wert eingestellt werden. Eine Aushärtung kann auch auf anderen Wegen dem Fachmann allgemein bekannten Wegen z.B. über eine Lichtinduzierte Polymerisation erfolgen.

Beim Aufkleben der Deckplatte (4) hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen als„Kleber" unvernetztes Material der gleichen Art wie zum Abgießen der Gussform zu verwenden. Dabei wird folgendermaßen vorgegangen:

- Eintauchen der Säulenspitzen in noch unvernetztes Monomer oder Präpolymer - gegebenenfalls unter Zugabe des Vernetzers als„Kleber", hierbei sollte darauf geachtet werden, dass nur die Spitzen in den Kleber eintauchen können. Dies lässt sich zum Beispiel dadurch erreichen, dass das Monomer oder Präpolymer durch Spincoating auf einer

Glasplatte so dünn gemacht wird, dass nur ein Teil der Säulen eintauchen kann (Schichtdicke kann bis 1 μηι oder dicker sein);

- Aufkleben einer Deckschicht z.B. aus Monomer oder Präpolymer oder Glas.

Das Aushärten des Klebers kann bei Raumtemperatur oder - wenn die gewählte

Oberflächenmodifikation dieses zulässt - durch Erwärmen oder Bestrahlung mit einer geeigneten Lichtquelle erfolgen oder beschleunigt werden.

Im Folgenden soll das Erfindungsgemäße Verfahren genauer erläutert werden, sowie einige Beispiele aufgezeigt werden. Eine graphische Darstellung der Zusammenhänge findet sich in Abbildung 2. ΕΙΔ

Die Rückstellkraft RA der Säulen berechnet sich aus R _A =— mit

- E: E-Modul des Kunststoffes

- 1: Flächenträgheitsmodul 2ten Grades

- Δ: Verschiebung der Säulen

- L: Länge der Säulen

Variationen in der Form der Grundfläche der Säulen stecken im Flächenträgheitsmodul I:

n-d ⁴ h ⁴ b-h ³

z-B- ^: Irund = -^- ί Iquadrat = ~ · ^' hechteck = TjJ" (""t ^ ^: kürzere Seite)

Der Rückstell kraft R _A wirkt die Haftkraft der Bindungen entgegen.

Die Haftkraft wird berechnet, indem die Kontaktfläche der säulenartigen Elemente miteinander bestimmt wird. Da die säulenartigen Elemente sowohl oben, als auch unten einen definierten Abstand zueinander haben, muss eine Annahme getroffen werden, welcher Teil der Länge eines säulenartigen Elements Kontakt zum nächsten hat. Anschließend wird mit Hilfe der Fläche, die jeder Bindungspartner einnimmt bestimmt, wie viele Bindungspartner miteinander in Kontakt stehen. Die Kraft einer einzelnen Bindung ist bekannt. So lässt sich die maximale Bindungskraft pro Fläche bestimmen. Es ist durch Modifikationen in der Funktionalisierung der Oberfläche möglich, weniger Bindungspartner an die Oberfläche zu binden und somit auch eine geringere Haftkraft zwischen den säulenartigen Elementen zu erreichen.

Wählbare Parameter sind somit mit Einfluss auf die Rückstellkraft:

- Länge der Pillars (Einfluss auf L)

- Grundfläche der Pillars (Einfluss auf I)

- Form der Pillars (Einfluss auf I)

- Material der Pillars (Einfluss auf E)

Mit Einfluss auf die Haftkraft:

- Form der Pillars (Einfluss auf Kontaktfläche)

- Art der Bindung (Stärke der Bindung pro Flächeneinheit)

- Anzahl der Bindungen pro Fläche (Maximum ist definiert. Verminderung möglich)

Mögliche Kombinationen aus Materialien und Formen wären z.B.

1 : Beispiel für ein weiches Polymer:

Material: Chloropren-Kautschuk (CR, Neopren): E=700kPa Form der Säulen: rund

Länge der Säulen: 15 μηι

Durchmesser der Säulen: 5 μηι

Verschiebung der Säulen: 8 μηι

Rückstellkraft: 6.1 E-7 N

Bindung: Streptavidin - Biotin (ca. 150 pN)

Haftkraft: ca. 4.2E-7 N

Hier wurde angenommen, dass die Kontaktfläche zwischen den Pillars 50% der Länge und 2nm in der Breite beträgt.

2: Beispiel für ein extrem weiches Polymer:

Material: Polyacrylamide Hydrogel: E=10kPa

Form der Säulen: rund

Länge der Säulen: 15 μηι

Durchmesser der Säulen: 5 μηι

Verschiebung der Säulen: 8 μηι

Rückstellkraft: 8.7E-9 N

Bindung: Concanavalin A- Mannose Kohlehydrat (ca. 47 pN)

Haftkraft: ca. 8.4E-9 N (bei ca. 6,25% der maximalen Oberflächenbedeckung mit Con A)

Hier wurde angenommen, dass die Kontaktfläche zwischen den Pillars 50% der Länge und 2nm in der Breite beträgt.

3: Beispiel für sehr hartes Polymer:

Material: Silikon Elastomer: E=20000kPa

Form der Säulen: Quadratisch

Länge der Säulen: 15 μηι

Seitenlänge der Säulen: 5 μηι

Verschiebung der Säulen: 8 μηι

Rückstellkraft: 2.9E-5 N Bindung: Concanavalin A- Mannose Kohlehydrat (ca. 47 pN)

Haftkraft: ca. 2.3E-5 N (bei ca. 10% der maximalen Oberflächenbedeckung mit Con A)

Hier wurde angenommen, dass die Kontaktfläche zwischen den Säulen 50% der Länge und die gesamte Breite der Säulen beträgt.

4: Beispiel für Cadherin Catch Bonds:

Material: Silikon Elastomer: E=20000kPa

Form der Säulen: Quadratisch

Länge der Säulen: 15 μηι

Seitenlänge der Säulen: 5 μηι

Verschiebung der Säulen: 8 μηι

Rückstellkraft: 2.9E-5 N

Bindung: Cadherin Catch Bonds (ca. 27-32 pN)

Haftkraft: ca. 2.3E-5 N - 3.7E-5 (bei ca. 80% der maximalen Oberflächenbedeckung mit Cadherin)

Hier wurde angenommen, dass die Kontaktfläche zwischen den Säulen 50% der Länge und die gesamte Breite der Säulen beträgt.

5: Beispiel für sehr große Säulen:

Material: Silikon Elastomer: E=20000kPa

Form der Säulen: Quadratisch

Länge der Säulen: 400 μηι

Seitenlänge der Säulen: 100 μηι

Verschiebung der Säulen: 160 μηι

Rückstellkraft: 5E-3 N

Bindung: Concanavalin A- Mannose Kohlehydrat (ca. 47 pN)

Haftkraft: 4.9E-3N (bei ca. 4% der maximalen Oberflächenbedeckung mit Con A)

Hier wurde angenommen, dass die Kontaktfläche zwischen den Säulen 50% der Länge und die gesamte Breite der Säulen beträgt. Da hier jeweils die maximalen Kräfte der Bindungen gegeben sind, besteht die Möglichkeit mit einer höheren Konzentration an Oberflächenmodifikation, oder weicheren Polymeren zu arbeiten und somit Unterschiede auszugleichen.

Bevorzugte E-Module der Elastomere liegen zwischen 10kPa und 20000kPa variieren.

Die Stärke der Bindungen variiert zwischen 5pN für eine Wasserstoffbrückenbindung bis hin zu 150pN für die Streptavidin-Biotin Bindung.

Cadherin Catch Bonds variieren zwischen 27 und 32 pN.

Der bevorzugte Durchmesser der Säulen, liegt zwischen 4 und 100 μηι. Die bevorzugte Länge zwischen 10 und 400 μηι und der bevorzugte Zentrum-Zentrum Abstand bei 8,8 bis 220 μηι. Es ist bevorzugt, dass der Abstand der Säulenseiten zueinander ca. 10% der Säulendicke beträgt.

Das Länge zu Dicke Verhältnis der Säulen sollte bevorzugt maximal 4: 1 betragen.

Weitere Informationen zur tiefergehenden Erläuterung:

Es lässt sich eine Formel (Kurvenfunktion) für die Biegelinie der Säulen finden.

Verschiebung der Säulen und L ₀ : Länge der Säulen

Mit Hilfe dieser kann bestimmt werden, bei welcher Verschiebung/Biegung ein Kontakt zwischen den Säule auftritt. Es ist zu beachten, dass die Kurve für die neutrale Faser in der Mitte der Säule beschrieben wird. Die Kurve der Außenkanten wird mit Hilfe entsprechender Parallelkurven zu der Kurve in der Mitte bestimmt. Wird dies durchgerechnet, zeigt sich, dass für das Beispielsystem mit Säulen von 5μηι Durchmesser, 15μηι Länge und einem Zentrum- Zentrum Abstand von 5,5μηι bei einer Biegung von 8μηι eine Kontaktfläche von ca. 50% der Säulenlänge vorliegt.

Haften 50% der Säulenlänge von quadratischen Säulen aneinander, so kann man das daraus resultierende System folgendermaßen beschreiben:

Der nicht haftende Teil jeder Säule (ein Teil oberhalb des haftenden Teiles und ein Teil unterhalb) ist eine Säule mit einem Viertel der Ausgangslänge.

Es sind in diesem System also zwei Säulen mit einem Viertel der Ausgangslänge entstanden. Beide Säulen müssen für eine Verschiebung des Systems um die Länge x um die Länge x/2 verschoben werden. Da die Rückstell kraft mit 1/L ³ von der Säulenlänge abhängt, wird die Kraft, die nach dem Haften der Säulen benötigt wird, um das System zu verbiegen 64 Mal so hoch sein, wie zuvor.

Im Folgenden soll exemplarisch die Erzeugung einer erfindungsgemäßen Schicht nach

Festlegung der Parameter entsprechend des Verfahrens beschrieben werden.

Für dieses Beispiel wird auf einer Fläche von 3x3mm eine hexagonale Anordnung von runden Säulen gewählt, die einen Durchmesser von 4,5 μηι und Zentrum zu Zentrum Abstand von 10 μηι aufweisen.

Material: Polydimethylsiloxan (PDMS) E-Modul E=1720 kPa (aus Palchesko

doi: 10.1371/journal.pone.0051499)

Form der Säulen: rund

Länge der Säulen: 15 μηι

Durchmesser der Säulen: 4,5 μηι

Verschiebung der Säulen: 6,5 μηι

Rückstellkraft: 3.26E-7

Bindung: Biotin Streptavidin (ca. 150 pN)

Haftkraft: 3.20E-7 (bei 75% der maximalen Oberflächenbedeckung mit Streptavidin)

Hier wurde angenommen, dass die Kontaktfläche zwischen den Pillars 50% der Länge und 2nm in der Breite beträgt.

Zunächst erfolgt die Herstellung der Gussform. Auf einen 4" Silizium Wafer wird per Spincoating der Fotolack SU-8 10 von Microchem aufgetragen. Die Dicke des Lackes bestimmt die Länge der späteren Säulen. Verschiedene Lacke von Microchem können unterschiedliche

Schichtdicken Darstellen. Für die hier gewählte Schichtdicke von 15μηι eignet sich der SU-8 10 sehr gut.

In einem Lithographieprozess werden Löcher in diesem Fotolack erzeugt, die dem Negativ der späteren Säulen entsprechen. Die Strukturen auf der Fotomaske bestimmen somit die

Anordnung und die Form der Löcher im Fotolack, die später den Säulen entsprechen.

Um späteres Anhaften des PDMS an der Form zu verhindern, wird eine Antihaftschicht aufgetragen, in diesem Fall wurde aus der Gasphase eine Monolage Trichloro (1 H, 1 H, 2H, 2H- perfluorooctyl)silane abgeschieden.

Nun erfolgt das Abgießen der Gussform mit PDMS. PDMS (Sylgard 184 von Dow) welches als Zwei-Komponenten Kit, bestehend aus Grundpolymer und Vernetzer, angeboten wird, wird im Verhältnis (10: 1 w/w Polymer: Vernetzer) angemischt. Dies wird vom Hersteller so empfohlen. Andere Verhältnisse führen zu anderen Werten für den E-Modul. Je mehr Vernetzer verwendet wird, desto härter wird das Elastomer. Durch weniger Vernetzer wird das Polymer weicher. Das heißt das E-Modul wird geringer.

Das angemischte Polymer wird auf eine Menzel Deckglas gegeben und die Gussform draufgelegt. Anschließend wird das Polymer für eine Stunde bei 100°C ausgehärtet.

Der Vorgang wird zur Herstellung einer identischen Teilschicht wiederholt.

Abb. 3 zeigt eine Elektronenmikroskopische Aufnahme der erzeugten Säulen mit einem Durchmesser von 4,5 μηι und einer Zentrum zu Zentrum Distanz von 10 μιηι.

Eine Teilstruktur wird entsprechend des folgenden Reaktionschemas mit Biotin beschichtet.

Silanisierung mit (3-Aminopropyl)triethoxysilane (APTES).

Das Polymer wird zunächst im Sauerstoffplasma aktiviert und mit (3- Aminopropyl)triethoxysilane (APTES) silanisiert. Biotin 3-sulfo-N-hydroxysuccinimide ester sodium salt wird anschließend via Bildung eines Amids kovalent an die Aminogruppen des APTES angebunden.

Die zweite Teilstruktur wird zwecks Herstellung der passenden Teilschicht mit wird

entsprechend Kim et al. Biomicrofluidics 7, 041501 (2013) mit Streptavidin beschichtet. Hier wird nach einer Plasmabehandlung (3-mercaptopropyl)trimethoxysilan für eine Silanisierung gewählt. Biotin 3-sulfo-N-hydroxysuccinimide ester sodium salt wird anschließend via Bildung eines Amids kovalent an die Aminogruppen des APTES angebunden. Nach Mudraboyina et al. Sensors 201 1 , 11 , 1 1295-1 1304; doi:10.3390/s11121 1295, ebenfalls in Kim et al.

Biomicrofluidics 7, 041501 (2013), wird Glutaraldehyd benutzt, um zwischen den Aminogruppen im Protein (Streptavidin) und auf der Oberfläche eine kovalente Bindung aufzubauen. Hierbei wird die Funktionalität des Streptavidins nicht beeinflusst.

Beide Strukturen werden nach vorherigem Eintauchen der Säulenspitzen in dünn auf einen Wafer verteiltem nicht ausgehärteten PDMS ineinander gestellt und ausgehärtet. Der Ablauf ist in Abbildung 4 schematisch dargestellt.

Das Ziel dieses Schrittes besteht darin mit Biotin beschichtete Säulen (7) und mit Streptavidin beschichtete Säulen (8) so nah wie möglich aneinander zu bringen (9). Dies ist dadurch begründet, dass es nicht möglich ist nur jeweils eine Säule mit Biotin und eine mit Streptavidin zu coaten. Aus diesem Grund wird jeweils eine Oberflächenmodifikation pro Teilstruktur durchgeführt und dann zwei Teilschichten ineinander gestellt. Wenn man sich die hexagonale Struktur mit Säulenabständen von 10μηι Zentrum zu Zentrum, dann ist der Abstand zwischen den Säulenwänden genau 5,5μηι. Wenn man jetzt die Streptavidin Struktur genau in die Lücken zwischen den Biotin Säulen stellt, dann hat man Reihen mit jeweils Ο,δμηι Abständen zwischen jeweils einer Biotin-Säule und einer Stretavidin-Säule. Diese können sich dann bei Einwirken einer Kraft und Auslenkung berühren. Biotin und Streptavidin binden reversibel aneinander. Als„Kleber" (6) wird unvernetztes PDMS verwendet. Dieses verbindet sich beim Aushärten perfekt mit dem PDMS der Säulen.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der beiliegenden

Zeichnungen in der Figurenbeschreibung detailliert beschrieben, wobei diese die Erfindung erläutern sollen und nicht beschränkend zu werten sind:

Es zeigen:

Fig. 1 Prinzip der erfindungsgemäßen Schicht;

Fig. 2 Graphische Darstellung der für das erfindungsgemäße Verfahren wichtigen Parameter; Fig. 3 Elektronenmikroskopische Aufnahmeeiner Säulenstruktur aus PDMS. Die säulenförmigen Elemente weisen einen Durchmesser von 4,5μηι und eine Zentrum zu Zentrum Distanz von 10 μηι auf.

Fig. 4 Zusammenführung zweier Strukturen mit einem Säulendurchmesser von 4,5μηι und einer Zentrum zu Zentrum Distanz von 10 μηι zu einer erfindungsgemäßen Schicht mit

Ο,δμηι Abstand zwischen den Säulen.

Bezugszeichenliste

1 Säulenartigen Elemente 2 Oberflächenmodifikation 3 Trägermaterial 4 Deckplatte

5 Äußere Krafteinwirkung 6 Kleber

7 Biotin Beschichtung 8 Streptavidin Beschichtung 9 Biotin und Streptavidin beschichtete

Säulen in geringem Abstand