Behilter-Dichtheitspriifanlage (Anhang A) EP 97107528.8 Die vorliegende Erfindung betrifft eine Behãlter-Dichtheits- prufanlage nach dem Oberbegriff von Anspruch 1.

Es sind Prufanlagen der genannten Art bekannt, bei welchen, be- trachtet am Karussell, die jeweiligen Prüfstationen in einer ersten Drehwinkelposition des Karussells druckbeaufschlagt wer- den, sei dies, bei offenen Behãltern, deren Inneres, oder sei dies, bei geschlossenen Behaltern, entsprechende Prufkammern an der Prüfstation, und bei denen der von der Dichtheit der zu prufenden Behälter abhängige Druck in mindestens einer weite- ren, vorgegebenen Drehwinkelposition des Karussells erfasst und ausgewertet wird. Dieses bekannte Vorgehen bzw. derartige Prufanlagen sind unter verschiedenen Aspekten nachteilig. Weil die Druckerfassung bei Durchlaufen eines bestimmten Drehwin- kels., generell z. B. bei Linearförderern einer bestimmten Posi- tion, durch die jeweilige Prüfkammer erfolgt, steht für die Druckerfassung, in Funktion der Drehgeschwindigkeit-bzw. ge- nerell der Geschwindigkeit-und damit der Durchlaufrate, nur eine beschränkte Zeit zur Verfugung. Dies limitiert die Rate an pro Zeiteinheit prufbaren Behältern und ist insbesondere bei kontinuierlichem Karussell-Betrieb problematisch. Im weiteren ist die Verfolgung von zeitlichen Verläufen des leckageabhangi- gen Druckes nicht möglich, weil vorgesehene Drucksensoren nur zu bestimmten Zeiten messwirksam wurden.

Anlagen für hochet zuverlässige Dichtheitsprüfung weisen des- halb, fest den mit dem Karussell umlaufenden Prufstationen zu- geordnet, je mindestens einen Druckmessensor auf sowie eine ebenso fest zugeordnete Auswerteelektronik, was erlaubt, die

Prüfung an den Prüfstationen frei im gesamten Zeitabschnitt vorzunehmen, während welchem ein in eine Prüfstation am Karus- sell geladener Behälter mit dem Karussell umläuft.

Dieses letzterwähnte Vorgehen bzw. die entsprechenden Anlagen sind wohl von extrem hoher Detektionsgenauigkeit, sind aber auch entsprechend aufwendig, indem, wie erwãhnt, autonom, jede Prüfstation mit der notwendigen Auswerteelektronik ausgerüstet ist.

Die vorliegende Erfindung bezweckt, eine Behälter- Dichtheitsprufanlage eingangs genannter Art zu schaffen, bei welcher einerseits, wenn überhaupt, die Detektionsgenauigkeit gegenüber den letzterwähnten Anlagen nur unwesentlich verrin- gert wird, welche aber mit wesentlich geringerem Aufwand reali- sierbar ist. Zu diesem Zweck zeichnet sich die Anlage eingangs genannter Art nach dem Kennzeichen von Anspruch 1 aus.

Bei der Dichtheitsprüfung gefullter-insbesondere mit Flussig- füllgut gefullter-Behalter besteht, wie in der gleichzeitig mit vorliegender Anmeldung eingereichten, weiteren Anmeldung Nr. (Anhang A) ausführlich beschrieben, das Problem, dass bei Anlegen eines Unterdruckes an der Behalterumgebung ein Leck an Füllgutflussigkeit-beaufschlagten Wandungspartien schlecht de- tektierbar ist. Die nach aussen tretende Flüssigkeit wirkt dort praktisch selbstdichtend. Eine zuverlassige Dichtheitsprufung ist bei solchen Behältern nur dann gewahrleistet, wenn ein Leck in einem Wandungsbereich an einen Lufteinschluss im Innern des Behälters liegt. Aus diesem Grund wurde in der obgenannten, miteingereichten Anmeldung (Anhang A) vorgeschlagen, gleichzei- tig zur Dichtheitsprufung durch Druckbeobachtung an der Behäl- terumgebung, unmittelbar an der Wandung des Behälters eine Im-

pedanzmessung vorzunehmen, aus der Erkenntnis, dass austretende Flüssigkeit sofort zu einer Impedanzänderung an einer Mess- strecke zwischen mindestens einem Paar von Messelektroden führt.

Unter diesem Aspekt wird nun für die Prüfung von Behältern, welche mit flüssigem Füllgut gefüllt sind, vorgeschlagen, je mindestens ein Paar in einem Aufnahmeraum für jeweils minde- stens einen Behälter freiliegende, beabstandete Elektroden vor- zusehen, wobei die Auswerteeinheit, unter dem Aspekt von An- spruch 1, für alle Prufstationen zentral vorgesehen, wiederum uber eine Multiplexereinheit mit den jeweiligen Elektrodenpaa- ren wirkverbunden ist. Damit wird es möglich, sowohl eine Aus- werteeinheit für die Druckerfassungsprufung wie auch eine Aus- werteeinheit für Impedanzerfassungsprüfung zentral für alle am Karussell vorgesehenen Prufstationen vorzusehen, und zeitge- staffelt die jeweiligen Drucksensor-bzw. Impedanz- Messstrecken-Ausgange auf die zugehörigen Auswerteeinheiten zu -in der Zeit-multiplexen.

Dabei wird in einer weiteren bevorzugten Ausfuhrungsform für die Auswerteeinheit, welche auf die Elektroden geschaltet wird und für die Auswerteeinheit, welche mit den Drucksensoren wirk- verbunden wird, ein und dieselbe, zentrale Auswerteeinheit ein- gesetzt. Dies ist ohne weiteres möglich, indem einerseits Drucksensoren üblicherweise ein Spannungssignal abgeben, und insbesondere bei einer DC-Widerstandsmessung als Impedanzmes- sung eine mit dem zu messenden, variablen Widerstand bestückte Messschaltung, wie ein Spannungsteiler, ohne weiteres ebenfalls so ausgelegt werden kann, dass das widerstandsabhängige Aus- gangssignal ein Spannungssignal ist. Durch dieses Vorgehen wird

der Aufwand für gleichzeitige Druck-und Impedanzprüfung beson- ders gering.

Es ergibt sich damit auch die Möglichkeit, die zwischen Impe- danz-Messstrecken und Auswerteeinheit einerseits und die zwi- schen Drucksensoren und Auswerteeinheit anderseits vorgesehenen Multiplexer-Einheiten durch eine einzige, gemeinsame und ent- sprechend zeitgesteuerte Multiplexer-Einheit zu realisieren, welche die den Drucksensor-und Impedanzmessstrecken entspre- chende Anzahl Eingänge auf einen einzigen Ausgang zur vorgese- henen, zentralen Auswerteeinheit hin umschaltet.

In der W094/05991 desselben Anmelders wie die vorliegende An- meldung ist ein Druck-Dichtemessverfahren ausführlich erlau- tert, bei welchem der Ausgang eines Drucksensors in einem er- sten Zeitpunkt auf beide Eingange einer Differenz-Einheit ge- schaltet wird. Das gegebenenfalls verstärkte Ausgangssignal der Differenzeinheit wird als Null-Offset-Signal interpretiert und abgespeichert. Bei der Druckerfassung in einem zweiten Zeit- punkt wird das vorabgespeicherte Null-Offset-Signal als Null- kompensationssignal aufgeschaltet, was ermöglicht, mit hoher Verstärkung das entsprechende Druckdifferenz-Signal elektrisch auszuwerten.

Dieses Vorgehen wird auch bei der Anlage gemäss vorliegender Erfindung gegebenenfalls eingesetzt, indem die Auswerteeinheit so ausgebildet ist, dass ein in einem ersten Zeitpunkt auftre- tendes Eingangssignal-abhangiges Signal als Nullreferenzsignal- wert abgespeichert wird und darnach als Nullabgleichsignal auf- geschaltet wird. In einem zweiten, nachfolgenden Zeitpunkt wird nun bezüglich des abgeglichenen Nullwertes als Differenz ein weiteres eingangsabhängiges Signal, gegebenenfalls verstärkt,

als Auswertesignal ausgewertet, Dieses Vorgehen kann bei gleichzeitigem Vorliegen einer Drucksensorauswertung und einer Impedanzauswertung fur beide Ausertungen eingesetzt werden, in- dem auch bezüglich Impedanzmessung, die letztlich auf einer Im- pedanz-Differenzmessung beruht, die auftretende Impedanz- Differenz bezüglich der exakt, abgeglichenen Nullreferenz er- folgen kann.

Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand von Fi- guren erläutert; Es zeigen : Fig. 1 ein Signalfluss/Funktionsblockdiagramm einer erfin- dungsgemässen Behalter-Dichtheitsprufanlage, bei der die Dichtheitsprüfung aufgrund einer Druckmessung an den jeweiligen Prüfstationen erfolgt, Fig. 2 in einer Darstellung analog zu derjenigen von Fig. 1 die Weiterausbildung der erfindungsgemassen Anlage für die Dichtheitsprüfung sowohl anhand von Druck-wie auch von Impedanzmessung und Fig. 3 beispielsweise den zeitlichen Verlauf von Prufdruck oder Prufwiderstand und eine bevorzugte Vorgehensweise zur Signalauswertung.

Gemäss Fig. 1 sind an einem Karussell (nicht dargestellt) meh- rere, wie beispielsweise n Prufstationen 1., 1 :,... lz vorgese- hen. In der Figur sind sie linear angeordnet dargestellt, der Ubersicht halber, am Karussell sind sie entlang der Karussell- Peripherie angeordnet.

Jeder Prüfstation 1 ist mindestens ein entsprechender Drucksen- sor 33,.3@zugeordnet.DieDrucksensoren3xgebenje-32, weils ein von der Leckage am mindestens einen in der jeweiligen

Prüfstation 1 angeordneten Behälter abhängiges elektrisches Si- gnal, entsprechend P1 bis Pnl ab.

Bei den Prüfstationen lu und den ihnen jeweils zugeordneten Drucksensoren 3xkann es sich um folgende Stationen handeln : a) Haltestationen für dichtes Verschliessen offener Be- hälter, an denen bezüglich Umgebungsdruck ein Innen-, Über-oder Unterdruck erstellt wird. Der zugeordnete Drucksensor misst hier den leckageabhängigen Innen- druck eines solchen Behalters. b) Geschlossene Behälter werden in eine Dichtheits- Prhfkammer der Station 1x eingebracht oder durch letz- tere dichtend verschlossen, wobei die Behalter gefüllt oder leer sind. Es wird eine Druckdifferenz zwischen Behälterinnenraum und umgebenenden Kammerraum er- stellt, sei dies durch Unterdruck-oder Überdruckbe- aufschlagung des Behalter-Innenraumes und/oder durch Uberdruck-oder Unterdruckbeaufschlagung des umgeben- den Kammerraumes. Der zugeordnete Drucksensor misst den Druckverlauf entweder im Innern des Behälters oder in der Prüfkammer. Üblicherweise wird dieses Vorgehen für geschlossene, gefüllte Behälter eingesetzt, die Prüfkammer mit Unterdruck beaufschlagt, bezogen auf den Behälterinnendruck, und die Druckentwicklung in dem den Behälter umgebenden Kammerraum mit dem zuge- ordneten Drucksensor erfasst.

Gemäss Fig. 1 werden nun die elektrischen Ausgänge der Sensoren 3x auf eine Multiplexer-Einheit 5 geschaltet, welche, gesteuert durch eine Zeitgebereinheit 7, sequentiell jeweils einen der Drucksensoren nach dem andern auf eine Auswerteeinheit 9 schal-

tet, entsprechend dem Signal pi . An der Auswerteeinheit 9 wird sequentiell jedes durchgeschaltete, leckageabhängige Si- gnal p, bis pn ausgewertet und am Ausgang A9, entsprechend vor- gegebenen Schwellwerten für diese Signale, wird angezeigt, in welcher der Stationen 1x ein als leckend befundener Behälter vorhanden ist. Selbstverständlich ist hierzu an der Auswerte- einheit 9 eine Komparatoreinheit vorgesehen, welcher der Schwellwert eingegeben ist für die Selektion lek- kend/nichtleckend und ausgangsseitig eine Speichereinheit zur Registrierung derjenigen Prhfstationen, deren Sensorausgangs- signal auf ein Lecken des enthaltenen Behälters schliessen last.

Auf diese Art und Weise wird erreicht, dass eine der Karussel- grösse entsprechende Anzahl Prüfstationen, je mit zugeordnetem Drucksensor, mittels einer einzigen Auswerteeinheit'behandelt werden konnen.

Wie eingangs erwahnt, können insbesondere dann, wenn mit Flüs- sigfüllgut gefüllte Behälter nach dem oben unter b) kurz be- schriebenen Prinzip auf Dichtheit geprüft werden, und wie in der gleichzeitig eingereichten Anmeldung Nr.... (Anhang A) desselben Anmelders ausführlich erläutert, Probleme entstehen, welche durch gleichzeitige Druckauswertung und Impedanzauswer- tung, unmittelbar ausserhalb der Behälter, behoben werden kön- nen.

In Fig. 2 ist der Erfindung, gemäss vorliegender Anmeldung fol- gend, eine hierfur geeignete Anlage in Darstellung analog zu derjenigen von Fig. 1 schematisch dargestellt. Entsprechend ist jeder der Prüfkammern 11 bis 1n nebst mindestens einem Druck- sensor 31 bis 3n eine Impedanzmessstrecke mit mindestens zwei

Elektroden zugeordnet, schematisch in Fig. 2 mit 111 bis 11n dargestellt. Mit den mindestens zwei Abgriffselektroden umfas- senden Impedanzmessstrecken in der Prüfkammer der Prüfstationen 1x, unmittelbar an der Aussenwand des jeweiligen zu prüfenden Behälters angeordnet, wird erfasst, wenn durch eine vorgesehene Leckage Flüssigfullgut nach aussen tritt, nach aussen getrieben durch einen in der Prüfkammer erstellten Unterdruck mit Bezug auf den Behalterinnendruck.

Dem Prinzip von Fig. 1 folgend werden nun weiterhin die elek- trischen Ausgänge mit den Signalen pi bis pu der Multiplexer- Einheit 5p zugeschaltet, während die Ausgänge der Impedanzmess- strecken 11x einer weiteren Multiplexer-Einheit 5R zugeschaltet sind. Die Ausgänge mit den Signalen p, bis pn bzw. R1 bis t werden gemäss Fig. 2 je ihnen zugeordneten Auswerteeinheiten 9R bzw. 9p zugeschaltet. Wiederum werden nacheinander an den je- weiligen Auswerteeinheiten die jeweils aufgeschalteten Signale an einem vorgegebenen Schwellwert gemessen und demnach ein Aus- gangssignal AR bzw. Ap ausgegeben, das anzeigt, in welcher Kam- mern 1 ein als leckend befundener Behälter vorliegt. Wenn bei dieser Anlagenkonfiguration an einer der beiden Auswerteeinhei- ten, d. h. bezüglich Druck und/oder bezüglich Impedanz, lecka- geidentifizierende Signale erfasst worden sind, wird der ent- sprechende Behälter als leckend erkannt und die entsprechende Kammernummer abgespeichert.

Ublicherweise wird die Impedanzmessung als DC-Widerstands- messung realisiert. Weil Drucksensoren normalerweise ein vom detektierten Druck abhängiges Spannungssignal abgeben und es ohne weiteres möglich ist, eine Widerstandmessung so vorzuneh- men, dass das widerstandsabhängige Signal ein Spannungssignal ist, wird nun, wie in Fig. 2 gestrichelt dargestellt, in einer

weiteren, bevorzugten Ausführungsform nebst einem einzigen Mul- tiplexer SpR insbesondere eine einzige Auswerteeinheit 9pR vor- gesehen, wobei der Multiplexer 5pR mit einem einzigen Ausgang auf den Eingang der vorgesehenen Auswerteeinheit 9pR geschaltet ist. Eine (hier nicht dargestellte) Zeitgebereinheit schaltet an der kombinierten Auswerteeinheit, je nach dem, ob ein Druck- messignal oder ein Widerstandsmessignal momentan aufgeschaltet ist, z. B. einen entsprechenden Druckschwellwert oder einen ent- sprechenden Widerstandsschwellwert als Vergleichsbasis auf, und die nun sequentiell anfallenden, auf eine einzige Kammer bezo- genen beiden Prufsignale werden zur nachfolgenden Auswertung, wie ohne weiteres nachvollziehbar, zwischengespeichert.

In der W094/05991 desselben Anmelders wie die vorliegende Er- findung ist bezuglich Druckprufung ein Vorgehen beschrieben, mittels welchem die realisierte Auflösung drastisch erhöht wer- den kann, d. h. sehr kleine Lecks detektierbar werden. Diesbe- züglich wird ausdrucklich auf den Inhalt dieser Schrift verwie- sen. In Fig. 3 soll das in der erwähnten WO beschriebene Prin- zip kurz dargestellt und erläutert werden, wie dieses an der dieser Anmeldung zugrundeliegenden Anlage integriert wird.

Über der Zeitachse t ist in Fig. 3 der Verlauf eines regi- strierten Druckes oder eines an den Messstrecken 11. erfassten Widerstandswertes R. dargestellt. Dieser Verlauf ist rein qua- litativ zu verstehen. Grundsätzlich bewirkt eine vorhandene Leckage, dass ein in der Prufkammer erstellter Unterdruck mit der Zeit zu stark abnimmt, weil sich ein Druckausgleich zwi- schen Behälterinnenraum und Prüfkammervolumen ergibt, während üblicherweise aus einem Leck austretende Füllgutflüssigkeit ein Abnehmen des erfassten Widerstandes unmittelbar an der Behäl- terwand ergibt. Gemäss Fig. 3 wird, dem oben erwähnten Prinzip

folgend, an jeder Kammer der Stationen 1,, in einem ersten Zeit- punkt tlx der Druckwert bzw. der Widerstandswert, der dann vor- herrscht, erfasst. Dieser Signalwert wird gespeichert und an der Auswerteeinheit beiden Eingängen einer darin vorgesehenen Differenzbildungseinheit zugeführt. Bei idealen Abgleichbedin- gungen sollte ausgangsseits der Differenzbildungseinheit und nach entsprechender Verstärkung das Signal"Null"erscheinen.

Ein vom Nullwert abweichendes Signal wird als Nullpunkt- Abweichung interpretiert und ebenfalls abgespeichert. In einem zweiten, nachfolgenden Zeitpunkt t2X wird ein zweiter Druck- bzw. Widerstandswert erfasst. Der im zweiten Zeitpunkt erfasste Wert wird mit dem im ersten Zeitpunkt erfassten und abpespei- cherten verglichen, wobei das ebenfalls erfasste Nullpunkt- Abweichsignal vorzeichenrichtig berucksichtigt wird. Das Ver- gleichsresultat Ap bzw. AR kann nun fehlerfrei mit hoher Ver- stärkung ausgewertet werden. Wird dieses Vorgehen an der Anlage gemäss Fig. 1 oder Fig. 2 realisiert, so werden, wie sich ohne weiteres ergibt, die vorgesehenen Messstrecken, seien dies Drucksensor-und/oder die Impedanzmessstrecken, sequentiell zu ersten und zweiten Zeitpunkten abgetastet, was durch entspre- chende Ansteuerung der vorgesehenen Multiplexer erfolgt. Dabei ist es keinesfalls zwingend, dass die Abtastungen entsprechend tlx und t2X von Fig. 3 unmittelbar aufeinander folgend vorgenom- men werden. Je nach Optimierung der Zeitverhältnisse können beispielsweise auch erst alle tlx-Werte erfasst werden, mit entsprechender Zwischenspeicherung, und darnach alle t2x-Werte fur die Auswertung.

Auch in diesem Fall kann die gesamt Auswertung mit einer einzi- gen Auswerteeinheit vorgenommen werden, deren Eingang die zeit- sequentiell abgefragten Druck-und Impedanzwerte zugeführt wer- den. Auf diese Art und Weise lassen sich auch komplexere Abfra- gerhythmen und entsprechend hohe Leckageauflösungen mit einer einzigen Auswerteeinheit und vorgeschalteter Multiplexer- Einheit realisieren.

Anhang"A" Verfahren zur Dichtheitsprüfung geschlossener Behälter, Prüf- kammer, Prüfanordnung und Prüfanlage hierfür (Anhang A) zur Beschreibung El 97107528.8 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Ober- begriff von Anspruch 1, eine Prufkammer nach demjenigen von An- spruch 7, weiter eine Prufanordnung mit einer derartigen Pruf- kammer nach Anspruch 12 und schliesslich eine Prufanlage nach demjenigen von Anspruch 20.

Dichtheitsprufverfahren fur geschlossene Behalter, bei denen zwischen dem Behälterinneren und dessen Umgebung-in einer Prufkammer-eine gegen die Umgebung gerichtete Druckdifferenz erzeugt wird-durch Anlegen einer Saugquelle an der Prufkammer -sind bekannt. Die Selektionierung von undichten Behältern er- folgt dadurch, dass nach Anlegen einer gegebenen Druckdifferenz eine hierzu notwendige Saugquelle von der Prufkammer abgekop- pelt wird und man grundsätzlich den zeitlichen Verlauf der Druckdifferenz zwischen Behälterinnerem und dessen Umgebung be- obachtet bzw. erfasst. Dies erfolgt beispielsweise durch Messen der Druckwerte in der Behalterumgebung zu mindestens zwei Zeit- punkten. In Funktion der Grosse eines Lecks erfolgt schneller oder weniger schnell Druckausgleich zwischen Behälterinnenraum und dessen Umgebung. Bezüglich einer solchen Technik kann bei- spielsweise auf die W094/05991 derselben Anmelderin wie vorlie- gende Anmeldung verwiesen werden.

Das geschilderte Vorgehen, insbesondere gemäss der erwähnten W094/05991, erlaubt, äusserst kleine Behälterlecks zu detektie- ren. Probleme entstehen dann, wenn zu prufende Behälter minde-

Anhang"A" stens teilweise mit fliessfähigem Füllgut gefüllt sind, insbe- sondere mit dünnflüssigem Füllgut. Dann liegt die angelegte Druckdifferenz uber der Behälterwand zwischen dem flüssigen Füllgut und der Umgebung, und die Saug-Druck-Wirkung bewirkt, bei vorhandenem Leck, dass flüssiges Füllgut durch das Leck in die Umgebung, d. h. an die Aussenwand des Behälters, austritt.

Aufgrund der Dichtwirkung des austretenden, flüssigen Füllgutes kann ein Leck im Flussigkeit-beaufschlagten Behälterwandbereich mittels einer Druckmessung, wenn überhaupt, nur uber Beobach- tung während relativ langer Zeitabschnitte detektiert werden, was insbesondere bei der Prufung in Serie anfallender Behälter in einer Produktions-Strasse hochet nachteilig ist.

Die vorliegende Erfindung setzt sich deshalb zur Aufgabe, ein Verfahren eingangs genannter Art vorzuschlagen, bei welchem die Nachteile der erwahnten Druckmessungsprufung behoben sind. Zu diesem Zweck zeichnet sich das genannte Verfahren nach dem Kennzeichen von Anspruch 1 aus : Wenn gemass oben geschildertem Fall aufgrund der angelegten Druckdifferenz flussiges Fullgut durch ein Leck in der Behälterwand nach aussen tritt, wird dies mittels der erfindungsgemäss vorgesehenen, elektrischen Impe- danzmessung detektiert.

Durch austretendes, flussiges Fallût wird unmittelbar im Be- reich der Behalteraussenwand eine Änderung der elektrischen Im- pedanz zwischen mindestens einem Paar in diesem Bereich ange- ordneter Impedanzmesselektroden bewirkt, und eine Impedanzmes- sung erlaubt, die füllgutbewirkte Anderung dieser Impedanz zu detektieren.

Während es in gewissen Fällen durchaus angezeigt ist, das Aus- treten von Fullgut mittels Messung der elektrischen Wechsel-

Anhang"A" spannungs-Impedanz vorzunehmen, wird insbesondere für das Prü- fen von Behältern mit elektrisch isolierender Wandung, wie mit Kunststoffwandung, und bei Fullgutern, welche elektrisch lei- tend sind, vorgeschlagen, als Impedanzmessung eine DC-, vor- zugsweise eine Niederspannung-DC-Widerstandsmessung, vorzuneh- men, beispielsweise unter Einsatz von DC-Spannungen unterhalb von 50 V.

Obwohl dann, wenn beispielsweise am zu prufenden Behälter ganz bestimmte Stellen auf Leckage zu prüfen sind, das Vorsehen ei- ner einzigen Impedanz-Messstrecke im Bereich des zu prufenden Behalterabschnittes ausreichen mag, wird weiter vorgeschlagen, mehrere Impedanz-Messstrecken parallel geschaltet vorzusehen und diese entlang des zu prüfenden Behälters anzuordnen, um so Leckagen überall am Behälter zu erfassen.

Dieses auf Impedanzmessung beruhende Dichtheitsprüfverfahren lässt sich nun in höchst vorteilhafter Weise mit der vorerwahn- ten Druckmessprufung erfindungsgemäss kombinieren. Wenn nämlich Behalter zu prüfen sind, die-wie meist der Fall-nur teil- weise mit fliessfähigem Fallût gefüllt sind, so dass grund- sätzlich nebst dem flüssigen Fullgut Lufteinschlusse im Behãl- ter vorhanden sind, so ist nie sicher, wo sich im Behälter Luft und wo sich Flussigkeit befindet. Dadurch, dass man nun zusatz- lich zur Impedanzmessung für die Dicht-/Undichtselektionierung den zeitlichen Verlauf einer Druckdifferenz, insbesondere durch Verfolgung des Druckes in einer gekapselten Behãlterumgebung, registriert, wird, unabhangig davon, ob Lufteinschlüsse vorhan- den sind und wo diese im Behälter momentan lokalisiert sind, eine kombinierte Aussage tuber den Leckzustand eines Behälters erwirkt : An den momentan mit Fullgut belegten Behalterwandpar- tien ist die elektrische Impedanzmessung leckagerepresantativ,

Anhang"A" während bezüglich der momentan an Lufteinschlüssen liegenden Wandungspartien die Druckdifferenzerfassung leckagerepresänta- tiv ist. Dabei wird auch hier die aus der W094/05991 bekannte, höchst präzise Technik eingesetzt, um aus der sich einstellen- den Druckdifferenz die Dicht/Undicht-Selektion vorzunehmen, in- dem nämlich nach Erstellen eines vorgebbaren Unterdruckes zwi- schen Behälterinnenraum und gekapselter Umgebung und nach druckmässiger Freigabe des Systems von einer Saugquelle an min- destens zwei Zeitpunkten der Druck in der gekapselten Umgebung erfasst wird und die Druckdifferenz als Dichtheitsindikation ausgewertet wird. Um dabei ein höchst empfindliches Messverfah- ren zu schaffen, wird im ersten Zeitpunkt mit der Abspeicherung des erfassten Druckwertes, als Referenzsignal, auch ein Null- Abweichesignal ermittelt und im zweiten Zeitpunkt die Druckdif- ferenz bezuglich Null-korrigiertem Wert am ersten Zeitpunkt erfasst. Dies ermöglicht, die erwähnte Differenz bzw. das die- ser Differenz entsprechende Auswertesignal zum Erhalt einer ho- hen Auflösung zu verstarken.

Dabei ist hochet vorteilhaft, dass die Auswertung eines eine entstehende Impedanzdifferenz anzeigenden Signals nach dem gleichen Vorgehen erfolgen kann, wie die Auswertung einer ent- stehenden Druckdifferenz.

Wie erwahnt, definiert Anspruch 7 eine erfindungsgemasse Pruf- kammer. Bevorzugte Ausfuhrungsvarianten dieser Prüfkammer sind in den Anspruchen 8 bis 11 spezifiziert.

Eine Prufanordnung mit mindestens einer derartigen Prüfkammer ist erfindungsgemäss in Anspruch 12 definiert mit bevorzugten Ausführungsvarianten gemäss den Anspruchen 13 bis 19. Dabei er- gibt sich eine höchst vorteilhafte Auslegung dieser Anordnung

Anhang"A" dadurch, dass bei der weitaus bevorzugten Variante, sowohl eine Impedanzmessung wie auch eine Druckmessung vorzusehen, ein und die selbe Auswerteeinheit eingesetzt wird. Wird beispielsweise für die Impedanzmessung an die Strecke zwischen den vorzugswei- se mehreren, parallel geschalteten Elektrodenstrecken, uber ei- nen Messwiderstand, eine DC-Spannung angelegt und die Spannung tuber dem Messwiderstand als Messignal ausgewertet, so wird der Auswerteeinheit eine Spannung, nämlich die vom festen Messwi- derstand und dem mit dem Messstreckenwiderstand variierenden Strom abhängige Spannung, zugefuhrt. Die Auswerteeinheit fur sich betrachtet ist eine dann Spannungsmess-Einrichtung. Durch Umschalten auf einen an der Prufkammer vorgesehen Druckmess- Sensor kann dieselbe Auswerteeinheit zur Messung der druckab- hängigen Sensor-Ausgangsspannung eingesetzt werden.

Eine Prüfanlage erfindungemässer Art ist in Anspruc'h 20 spezi- fiziert, bevorzugte Ausführungsvarianten in den Anspruchen 21 und 22. Insbesondere ist daran vorteilhaft, dass für mehrere, mit mindestens einer Prüfkammer versehene Prüfanordnungen zen- tral eine Auswerteeinheit für die Druckmessung, eine Auswerte- einheit für die Impedanzmessung vorgesehen wird, jeweils zwi- schen den Prüfanordnungen umschaltbar, oder dass gar eine ein- zige Auswerteeinheit vorgesehen ist, sowohl umschaltbar zwi- schen den einzelnen Prüfanordnungen wie auch, jeweils an den einzelnen Prufanordnungen, umschaltbar für Druckmessung und Im- pedanzmessung.

Hierzu wird auf die gleichzeitig eingereichte Anmeldung Nr.... desselben Anmelders verwiesen (Anhang A).

Das erfindungsgemässe Verfahren, die Prüfkammer, die Prüfanord- nung wie auch Prüfanlage werden gemäss Anspruch 23 bevorzugter-

Anhang"A" weise für die Prüfung von Behältern mit elektrisch isolierender Wandung, vorzugsweise Glas-oder Kunststoffwandung, eingesetzt, insbesondere für Behälter aus dem Medizinalbereich, wie Kunst- stoff-Ampullen. Dabei wird vorzugsweise die Dichtheitsprüfung an mehreren, einen Behältersatz bildenden Behaltern vorgenom- men, wobei Lecken eines dieser Behälter bzw. einer dieser Am- pullen unselektiv Ausschuss des ganzen Satzes nach sich zieht.

Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand von Fi- guren erläutert. Es zeigen : Fig. 1 schematisch eine erfindungsgemässe, prinzipielle An- ordnung zur Erläuterung des erfindungsgemassen Verfah- rens unter seinem allgemeinen Aspekt ; Fig. 2 schematisch die Ausbildung einer erfindungsgemässen Prufkammer bzw. Prüfanordnung zur Ausfuhrung des er- findungsgemassen Verfahrens in weitaus bevorzugter Ausfuhrungsform ; Fig. 3 eine bevorzugte Auswertungskonfiguration der erfin- dungsgemässen Anordnung bzw. am erfindungsgemässen Verfahren gemass Fig. 2 ; Fig. 4 in Form eines Signalfluss-/Funktionsblockdiagrammes eine bevorzugte Ausführungsform einer Auswerteeinheit gemäss Fig. 3 ; Fig. 5 vereinfacht, perspektivisch, eine Ausführungsform der erfindungsgemässen Prufkammer für die Prüfung von Am- pullensätzen, wobei nur die eine Halte der erfin- dungsgemässen Prufkammer dargestellt ist und

Anhang"A" Fig. 6 schematisch ein Signalfluss-/Funktionsblockdiagramm einer erfindungsgemässen Prüfanlage in bevorzugter Ausfuhrungsform.

Gemäss Fig. 1 wird zwischen dem Innern I und der Umgebung U ei- nes zu prüfenden Behalters 1 eine gegen die Umgebung U gerich- tete Druckdifferenz Ap erstellt. Im Bereich der Behälter- aussenwand ist mindestens eine Impedanzmessstrecke vorgesehen, gemass Fig. 1 mehrere, wie mit den komplexen Impedanzen Z. an- gedeutet. Die Impedanzmessstrecken sind gebildet jeweils zwi- schen einem Paar Messelektroden 3a und 3b, wobei diese abwech- selnd, wie schematisch mit dem Leiter 5a bzw. 5b dargestellt, elektrisch verbunden sind. Damit erscheinen zwischen den Lei- # tern 5a und 5b die Impedanzmessstrecken Zx parallel geschaltet.

Die Abgriffleiter 5a und 5b sind einer Impedanzmesseinheit 7 zugefuhrt, deren Ausgang auf eine Schwellwert-sensitive Einheit 9 wirkt. Tritt aufgrund eines Lecks Fullflussigkeit aus dem Be- hälter 1 in die Umgebung U, so ändert sich dadurch mindestens eine der Streckenimpedanzen Zx-Die Impedanz bzw. deren Ande- rung wird durch die Impedanzmesseinheit 7 erfasst. Andert sich die Impedanz mehr als durch Festlegung mindestens eines Schwellwertes an der Einheit 9 vorgegeben, so wird der eben ge- prufte Behalter 1 als leckend erkannt und ausgeschieden.

Obwohl an den Impedanzmessstrecken, je nach Einsatzfall, durch- aus komplexe Wechselspannungs-Impedanzen mittels der Einheit 7 erfasst und ausgewertet werden können, wird in weitaus bevor- zugter Art und Weise und insbesondere für die Prüfung von Be- hältern mit elektrisch isolierender Wandung und mit elektrisch leitendem Fallût die Impedanzmessung als DC-Widerstandsmessung realisiert, womit die Impedanzmesseinheit 7 eigentlich zum Ohm- Meter wird.

Anhang"A" Das in Fig. 1 prinzipiell erläuterte Verfahren, auf Impedanz- messung beruhend, lässt sich, wie anschliessend anhand von Fig.

2 erläutert werden soll, hochet optimal, und für die vorliegen- de Erfindung auch von hoher Bedeutung, mit einem, für sich be- trachtet, vorbekannten, auf Druckmessung beruhenden Dichtheits- prüfungsverfahren kombinieren.

Gemäss Fig. 2 umfasst eine erfindungsgemässe Prüfkammer 9 zum Einfuhren des oder der zu prüfenden Behälter 1 mindestens zwei Teile, bevorzugterweise eine obere und eine untere Halfte, wie mit 90 und 9u schematisch dargestellt. Die Prüfkammer 9 defi- niert mit dem aufgenommenen Behalter 1 eine gekapselte Behal- terumgebung U. An der Wandung des Prufkammer-Innenraumes 11 ist ein Muster elektrisch leitender Flachen vorgesehen, welche die Elektroden 3b bzw. 3a gemass Fig. 1 bilden. Selbstverständlich sind die Elektroden 3 durch isolierendes Wandungsmaterial von- einander getrennt. Damit wird bevorzugterweise eine regelmassi- ge Verteilung von Impedanz-Messstrecken entlang des gesamten, unmittelbar entlang des Behälters 1 liegenden Prufkammer- Innenraumes vorgesehen.

Im weiteren ist mindestens ein in Fig. 2 schematisch darge- stellter Drucksensor 13, mit dem Innenraum der Prüfkammer in Wirkverbund stehend, vorgesehen. Er misst den in diesem Innen- raum, entsprechend der Umgebung U, vorherrschenden Druck Pu Nach Einlegen des zu prüfenden Behälters 1, vorzugsweise mit isolierender Wandung, wird die Prüfkammer dichtend verschlos- sen, und es wird z. B. mittels einer Pumpe 15 die in Fig. 1 ein- getragene Druckdifferenz Ap erstellt. Dabei schmiegt sich üb- licherweise die Behalterwandung eng an die Elektrodenbereiche 3 an der Innenraumwandung der Prüfkammer 9 an. Tritt nun flüssi- ges Fallût F in einem Wandungsbereich des Behälters 1 aus, wie

Anhang"A" schematisch bei 17 dargestellt, so ändert sich die Impedanz zwischen den zugeordneten Elektroden 3, was durch die vorzugs- weise als Ohm-Meter ausgebildete Impedanz-Messeinheit 7'er- fasst wird. An der Schwellwerteinheit 9'wird detektiert, ob der gemessene Widerstand unter einen vorgegebenen Schwellwert fällt oder diesen ubersteigt. Dann wird der eben geprufte Be- haleter als undicht selektioniert. Bereiche G des Behalters, welche durch Lufteinschlüsse gefullt sind, ergeben, falls dort ein Leck vorhanden ist, einen Druckanstieg in der Umgebung U, aufgrund des durch das Leck erfolgenden Druckausgleiches zwi- schen dem Bereich G und der Umgebung U. Diese Druckänderung wird durch eine mit dem Sensor 13 wirkverbundene Druckmessein- heit 19 erfasst, deren Ausgangssignal auf eine weitere Schwell- wert-sensitive Einheit 21 geführt wird. Bevorzugterweise wird der Umgebungsdruck zu einem ersten Zeitpunkt tl und, entspre- chend einem vorgegebenen Zeitabstand, zu einem späteren Zeit- punkt t2 erfasst und die diesbezügliche Druckdifferenz Apuer- fasst. Unterschreitet diese Differenz einen an der Schwellwert- Einheit 21 vorgegebenen Schwellwert, so wird auch dann der ge- prufte Behälter 1 als undicht selektioniert. Die Wand des Pruf- kammer-Innenraumes ist dabei vorzugsweise so ausgebildet, dass auch dann, wenn sich aufgrund der Druckdifferenz die Wandung des Behälters an diese Wand schmiegt, sich ein durchgehender Umgebungsraum 23 um den Behälter 1 erstreckt. Dies wird reali- siert grundsätzlich durch wie bei 25 einzeln dargestellte Ab- stutzungen, welche weitaus bevorzugterweise durch Aufrauen der Innenwand 11 realisiert werden. Damit wird erreicht, dass vol- lig unabhangig, wo die Bereiche G bzw. F im Behälter lokali- siert sind, immer Dichtheit am ganzen Behälter erfasst wird.

Bezüglich der Technologie, um trotz Anschmiegens der Behälter- wandung an die Kammerinnenwand einen durchgehenden Umgebungs-

Anhang"A" raum 23 sicherzustellen, wird auf die EP-A-0 379 986 desselben Anmelders verwiesen.

Während bei der Ausfuhrungsform gemäss Fig. 2 je eine Auswerte- einheit 7'fur die Impedanzmessung und für die Druckdifferenz- Erfassung, 19, vorgesehen sind, wird weiter gemäss Fig. 3 be- vorzugterweise eine einzige Auswerteeinheit 197 vorgesehen.

Grundsätzlich wird dies dadurch mõglich, dass fur die Impedanz- messung und die Messung des Ausgangssignals des Drucksensors 13 gleiche Messignale zur Verfügung gestellt werden. Gemäss Fig. 3 kann dies beispielsweise realisiert werden, indem die Mess- strecken 3a/5a//3b/5b, entsprechend dem zu messenden Wider- stand, in Fig. 3 mit R, dargestellt, einerseits einer DC- Spannungsquelle 27, vorzugsweise im Niederspannungsbereich, al- so beispielsweise von 15 V, zugeschaltet werden, anderseits ei- nem Messwiderstand R,. Die Auswerteeinheit 197, in diesem Fall als Volt-Meter ausgebildet, wird eingangsseitig mittels eines manuell oder automatisch betätigten Umschalters 29 abwechselnd auf den Ausgang des Sensors 13 und auf den Messwiderstand RM geschaltet. Sie misst im einen Fall die Ausgangsspannung des Sensors 13 und im andern die von R. abhängige Spannung am Mess- widerstand R,,, U,.

Bezuglich eingesetzter Druckmesstechnik wird vollumfanglich auf die vorerwähnte W094/05991 verwiesen. Die dort erlauterte Aus- werteeinheit, wie vorliegendenfalls in Fig. 4 dargestellt, wird aber, dem Vorgehen von Fig. 3 folgend, auch für eine höchst präzise Impedanz-bzw. Widerstandsmessung eingesetzt. Das Aus- gangssignal des Sensors 13 bzw. vom Messwiderstand Ru odeur ge- nerell von der Widerstandsmesstrecke wird einer Wandlerstufe 121 zugeführt, welche eingangsseitig einen Analog/Digital- Wandler umfasst, 121a, dem unmittelbar nachgeschaltet ein Digi-

Anhang"A" tal/Analog-Wandler 121b folgt. Der Ausgang des Digital/Analog- Wandlers 121b wird einer auf bekannte Art und Weise aufgebauten Differenzverstärkereinheit 123 zugeführt, ebenso wie das Aus- gangssignal von Druck-und Widerstandsmesseinrichtungen 13 bzw.

RM. Der Ausgang der Differenzverstarkereinheit 123 ist einer weiteren Verstarkerstufe 125 aufgeschaltet, deren Ausgang uber ein Speicherelement 127 dem Eingangssignal zum Verstärker 125 überlagert ist, bei 128. Die Wandlereinheit 121 wie die Spei- chereinheit 127 werden durch eine Zeittaktsteuerung 129 gesteu- ert. Mit dieser Anordnung kann sowohl eine Druckdifferenz-wie auch eine Impedanzdifferenz-Messung bzw. Widerstandsdifferenz- Messung vorgenommen werden. Für die Widerstandsmessung wird zu einem ersten Zeitpunkt die Messspannung uber die Wandlereinheit 121 und gleichzeitig, gegebenenfalls uber eine weitere Wand- lereinheit 122, beiden Eingängen der Verstärkereinheit 123 zu- geschaltet : Ideal erscheint ausgangsseitig des Verstärkers 123 ein Nullsignal. Erscheint ein von Null abweichendes Signal, so wird dieser Signalwert an der Speichereinheit 127 als Nullkom- pensationssignal abgespeichert. Wird die Widerstandsmessung in einem späteren Zeitpunkt, zur Bildung eines Widerstandsdiffe- renzsignals, nochmals erfasst, so wirkt der vormals an der Speichereinheit 127 abgelegte Wert als Nullkomensationssignal und der Wert, der an der Einheit 121 gespeichert ist, als Refe- renzsignal. Damit kann an der Verstarkereinheit 125 eine die Auflösung drastisch erhöhende Verstärkung eingestellt werden.

Dasselbe Nullableichprinzip wird bei der Druckdifferenzmessung zu zwei Zeitpunkten eingesetzt, wie diesbezuglich in der W094/05991 ausführlich beschrieben. Fur die Abspeicherung so- wohl eines Widerstandsdifferenz-Nullkompensationssignals wie auch eines Druckdifferenz-Nullkompensationssignals ist die Speichereinheit 127 entsprechend ausgebildet, ebenso, für die

Anhang"A" Abspeicherung der zugeordneten Referenzwerte, die Einheit 121 doppelt ausgefuhrt. Je nach Messzyklus, Druck-oder Wider- standsmessung wird der zugeordnete Kompensationssignalwert auf die Differenzeinheit 128 aufgeschaltet bzw. der zugeordnete Re- ferenzsignalwert an der zugeordneten Einheit 121 abgespeichert bzw. aufgeschaltet.

In Fig. 5 ist perspektivisch und vereinfacht die eine Halfte 9a oder 9b der Prufkammer dargestellt, speziell ausgelegt fur das Prufen von Ampullensãtzen, wie insbesondere in der Medizinal- technik eingesetzt. Die Ampullensatze werden in die hierfür vorgesehenen, aufgerauhten Einformung 30 eingelegt und dann die Kammer 9 durch Auflegen einer zweiten Kammerhälfte dichtend verschlossen. Wie dargestellt, ist die Kammer beispielsweise aufgebaut aus voneinander durch Isolationsmaterial 32 dichtend getrennten Leiterlamellen 34, worin die Einformungen 30 einge- arbeitet sind. Dadurch wird an der Innenwand der Einformungen 30 lückenlos ein Muster von Impedanzmesselektroden gebildet.

Sie sind abwechselnd, wie mit den Verbindungsleitern 5a bzw. 5b dargestellt, verbunden.

In Fig. 6 ist anhand eines Signalfluss-Funktionsblockdiagrammes der bevorzugte Aufbau einer erfindungsgemässen Prufanlage dar- gestellt (siehe auch Anhang A). Sie umfasst mehrere Prufkammern 9, deren Drucksensor-und Impedanzstrecken-Ausgãnge, in Fig. 6 mit 13 und h bezeichnet, je auf Umschalteinheiten 36 geführt sind. Sequentiell werden diese Eingänge einem Ausgang der Ein- heiten 36 aufgeschaltet, welche einer eigentlichen Multiplexer- Einheit 38 zugeschaltet sind. An der Multiplexer-Einheit 38 werden selektiv die von den Einheiten 36 zugeführten Eingänge auf eine Auswerteeinheit 40 geschaltet, aufgebaut, wie bei- spielsweise und vorzugsweise in Fig. 4 dargestellt. Eine Zeit-

Anhang"A" steuereinheit 50 steuert die kammerspezifischen Umschaltzyklen -Drucksensor/Impedanzmessung-an sowie am Multiplexer 28 die Aufschaltung der einzelnen Prüfkammern 9 auf die als Impedanz- und Druckauswerteeinheit ausgebildete Einheit 40. Damit wird es möglich, mit optimal wenig elektronischen Einheiten die Dicht- heit von Behältern an mehreren Prufkammern 9 zu erfassen, und zwar aufgrund von Impedanz-und Druckmessung, d. h. unabhängig davon, ob und wenn ja, wo flüssigkeitsgefüllte bzw. gasgefüllte Volumina in den~jeweiligen Behältern 1 vorliegen.

Im weiteren wird bevorzugterweise mindestens eine Reinigungs- gasleitung 36 (Fig. 5) in der Prufkammer 9 vorgesehen, mit wel- cher nach Prufung eines leckenden Behälters die Prüfkammer aus- geblasen und ausgetrocknet werden kann.

Anhang"A" Ansprüche : 1. Verfahren zur Dichtheitsprüfung geschlossener Behãlter, mindestens teilweise mit fliessfähigem Fallût gefüllt, bei dem zwischen Behälterinnerem (I) und Behalterumgebung (U) eine ge- gen letztere gerichtete Druckdifferenz (Ap) erzeugt wird, da- durch gekennzeichnet, dass man im Bereich der Behalteraussen- wand eine elektrische Impedanzmessung (Zx, Rx) an der Behalter- umgebung (U) und/oder entlang seiner Aussenwand vornimmt und damit undichte von dichten Behältern selektioniert.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man als Impedanzmessung eine DC-, vorzugsweise eine Niederspan- nungs-DC-Widerstandsmessung (Rx) vornimmt.

3. Verfahren nach einem der Anspruche 1 oder 2, dadurch ge- kennzeichnet, dass man mehrere Impedanz-Messstrecken (Z1, Z ...) parallel geschaltet vorsieht.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge- kennzeichnet, dass man die Druckdifferenz (Ap) durch Anlegen eines vorgebbaren Unterdruckes an eine gekapselte Behälterumge- bung erstellt, dann die gekapselte Behalterumgebung mit dem Be- haleter (1) bezüglich Druckentwicklung sich selber überlässt und zusätzlich zur Impedanzmessung (ZJ aus dem zeitlichen Verlauf der Druckdifferenz (Apu) undichte von dichten Behaltern selek- tioniert.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass man nach Erstellen des vorgebbaren Unterdruckes und druckmãssi- ge Freigabe, zusätzlich den Umgebungsdruck als Leckindikator einsetzt, dabei vorzugsweise, indem man den Umgebungsdruck (pu) an mindestens zwei Zeitpunkten misst und die daraus ermittelte

Anhang"A" Druckdifferenz (Apu) als Dichtheits-Indikator auswertet, vor- zugsweise, indem man im ersten Zeitpunkt und beim zugeordneten Druck eine Nullreferenz (127) bestimmt und das dem Druckwert im zweiten Zeitpunkt entsprechende Auswertesignal bezuglich Signal im ersten Zeitpunkt und null-korrigiert fur die Selektionierung einsetzt.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass man fur die Erfassung der Druckdifferenz und einer Impedanzdif- ferenz das gleiche Vorgehen (197) einsetzt.

7. Prufkammer zur Dichtheitsprüfung geschlossener Behälter mit fliessfähigem Fullgut, welche Prufkammer vakuumdicht ver- schliessbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass in der Prufkammer mindestens eine Impedanz-Messstrecke mit mindestens einem Paar beabstandeter Elektroden (3a, 3b) vorgesehen ist.

8. Prufkammer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass in der Prüfkammer eine Mehrzahl verteilter Elektrodenpaare vor- gesehen ist, welche vorzugsweise parallel (5a, 5b) geschaltet sind.

9. Prüfkammer nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch ge- kennzeichnet, dass die Kammerinnenwand durch ein Muster elek- trisch leitender Elektrodenabschnitte (34) und diese voneinan- der trennender, isolierender Abschnitte (32) gebildet ist.

10. Prüfkammer nach einem der Anspruche 7 bis 9, dadurch ge- kennzeichnet, dass an der Prufkammer mindestens ein Drucksensor (15) vorgesehen ist.

11. Prüfkammer nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch ge- kennzeichnet, dass in die Kammer mindestens ein Reinigungsgas- Anschluss (36) einmundet.

Anhang"A" 12. Prüfanordnung mit mindestens einer Prüfkammer nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das minde- stens eine Elektrodenpaar (3a, 3b) mit einer Impedanz- Messeinheit (7) wirkverbunden ist.

13. Prüfanordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Impedanz-Messeinheit eine DC-Widerstandsmesseinheit (7@) ist, vorzugsweise eine Niederspannung-Widerstand- Messeinheit.

14. Prüfanordnung nach einem der Anspruche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Selektion dicht/undicht mittels einer schwellwertsensitiven Einheit an einer Auswerteeinheit erfolgt.

15. Prüfanordnung nach einem der Anspruche 12 oder 13 mit min- destens einer Prufkammer mit mehreren Elektrodenpaaren (3a, 3b), dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrodenpaare parallel (5a, 5b) mit dem Eingang der Impedanz-Messeinheit (7,7') wirk- verbunden sind.

16. Prüfanordnung nach einem der Anspruche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Impedanz-Messeinheit (7,7') ausgangs- seitig eine Schwellwert-sensitive Einheit (9,9') umfasst.

17. Prüfanordnung nach einem der Anspruche 12 bis 16, wobei an der Prufkammer ein Drucksensor (13) vorgesehen ist, dadurch ge- kennzeichnet, dass der Ausgang des Drucksensors mit einer Aus- werteeinheit (19) wirkverbunden ist, welche vorzugsweise zu ei- nem ersten Zeitpunkt das Sensor-Ausgangssignal registriert, ebenso zu einem zweiten, nachfolgenden Zeitpunkt und die regi- strierten Drucksensor-Ausgangssignale auf eine Differenzeinheit (123,125) fuhrt, deren Ausgang auf eine Schwellwert-sensitive Einheit wirkt.

Anhang"A" 18. Prüfanordnung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass den beiden Eingängen der Differenzeinheit (123) das im er- sten Zeitpunkt registrierte Ausgangssignal des Sensors zuge- führt wird und ein Nulldifferenzsignal als Ausgangssignal der Differenzeinheit gebildet wird und abgespeichert wird.

19. Prüfanordnung nach einem der Ansprüche 12 bis 18, wobei an der mindestens einen Prufkammer ein Drucksensor (13) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl der Drucksensor (13) wie auch das Elektrodenpaar (3a, 3b) mit derselben Auswerteein- heit (197) wirkverbunden sind, welche, vorzugsweise umschaltbar (29), ein Signal in Funktion der Impedanz am Elektrodenpaar und des Sensorausgangssignals erzeugt.

20. Prufanlage mit einer Mehrzahl Prufanordnungen nach einem der Anspruche 11 bis 19.

21. Prüfanlage nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass für die Prüfanordnungen eine zentrale Impedanz-Messeinheit (40) vorgesehen ist, welche umschaltbar (38) mit den jeweiligen Prufanordnungen (9) verbindbar ist.

22. Prüfanlage nach einem der Ansprüche 20 oder 21, bei der an den Prüfkammern ein Drucksensor (13) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine zentrale Auswerteeinheit (40) um- schaltbar mit den Drucksensoren (13) der Prüfkammern (9) an den Prüfanordnungen und deren Elektrodenpaaren (3a, 3b) wirkver- bindbar ist.

23. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6 bzw. der Prüfkammer nach einem der Ansprüche 7 bis 11 bzw. der Prüfanordnung nach einem der Ansprüche 12 bis 19 bzw. der Prufanlage nach einem der Anspruche 20 bis 22 für die Prüfung Anhang"A" von Behältern mit elektrisch isolierender Wandung, vorzugsweise Glas-oder Kunststoffwandung, insbesondere aus dem Medizinalbe- reich.

Anhang"A"

Zusammenfassung : Um bei Dichtheitsprufung von flussigkeitsgefullten Behãltern, bei welcher eine vom Behälterinnern nach dessen Aussern errich- tete Druckdifferenz Ap erstellt wird, auch bezuglich Behalter- wandung, die mit Fullgut in Kontakt steht, eine zuverlässige Aussage uber den Dichtheitszustand zu erhalten, wird mittels Messelektroden (3a, 3b) am Aussern des Behälters (1) eine Impe- danzmessung (7) vorgenommen.

(Fig.1) Ende des Anhangs der Beschreibung EP 97107528.8