以下、本発明を実施するための最良の形態� ��ついて、図面を参照しながら詳細に説明す� ��。
 図1は、本発明の実施の形態における液状溶 剤当接ユニットの構成図である。同図(a)は、 上記液状溶剤当接ユニットの平面図、同図(b) は、同図(a)のA-A´線の位置の断面図である。

 同図に示す液状溶剤当接ユニット1は、液状 溶剤を溜める滞留部と、液状溶剤を振動させ る振動部とにより構成されている。
 液状溶剤当接ユニット1は、下方向に延びる 周壁100が平板102の周端部に連結された包囲部 材10を備えている。周壁100の下端面101には、� ��よりの周に沿って即ち同図(a)の内側と外側� ��破線の円R1,R2の間に、溝101aが形成されてお� ��、この溝101aに液状溶剤の液漏れを防止する ためのOリング11が嵌められている。

 周壁100の内側に位置する平板102には厚み� ��向に2種類の貫通孔即ち一つの第一貫通孔103 及び複数の第二貫通孔104)があけられている� �第一貫通孔103は平板102の中心に、第二貫通� �104は周壁100の近傍にここでは円周方向に等� �隔に8つ設けられている。

 上記振動部は、液状溶剤が供給される範� ��を振動させるために設けられている。ここ� ��は、同図(a)、(b)に示すように、振動部とし� ��の振動子13が、平板102の厚みの中、特に包� �部材10によって形成される空間部(後におい� �、「滞留用空間」とも呼ぶ)12寄りに、空間� �12の方向に発振するように設けられている。 なお、図には省略されているが、各振動子13� ��駆動回路に接続されており、その駆動回路� ��ら発振が制御される。

 図2は、上記液状溶剤当接ユニット1の使� �状態を示した図である。同図(a)における液� �溶剤当設ユニット1は、図1(b)に示した液状溶 剤当接ユニット1の断面図と同様のものであ� �。図2(b)は、同図(a)の一点鎖線で囲んだ部分B の拡大図である。

 同図(a)に示すように、液状溶剤当接ユニ� ��ト1は、サポートプレートSの面上にOリング1 1を押し当てて使用される。具体的には、サ� �ートプレートSの、ウエハWを貼り付けた面と は反対側の面、特に同図(a)に縦縞の模様で示 した貫通孔Hが形成されている範囲即ち孔形� �範囲を包囲するように上記Oリング11を押し� �て、上記孔形成範囲上の空間に包囲部材10と Oリング11によって囲まれる滞留用空間12を形� ��する。

 そして、同図(a)に破線矢印で示したよう� ��、液状溶剤を滞留用空間12に供給する孔と� �て第一貫通孔103を使用し、液状溶剤を滞留� �空間12から回収する孔として8つの第二貫通� �104を使用する。同図(a)には省略されている� �、例えば、正圧をかけてタンクから液状溶� �を送り出すように構成された供給装置と第� �貫通孔103を、負圧をかけてタンクへ液状溶� �を回収するように構成された回収装置と第� �貫通孔104を、それぞれ、屈曲自在のホース� �を使用して接続する。

 液状溶剤としては、接着部材を溶解する� ��えばアルコール(特にエタノールやメタノー ルなどの分子量が小さいもの)、ケトン、ま� �はアルコールとケトンとの混合溶液等を使� �する。 

 第一貫通孔103を上記供給装置に接続し、� ��して第二貫通孔104を上記回収装置に接続す� ��と、供給タンク内の液状溶剤は同図(a)の破� ��矢印で示したように第一貫通孔103を通じて� ��留用空間12に入り、滞留用空間12内に溜まっ た液状溶剤は第二貫通孔14を通じて回収用タ� ��ク側へ吸い出される。

 一方、各振動子13は同図(a)に示すように振� �子駆動部15からの信号により発振し、これに より、滞留用空間12に溜まった液状溶剤が振� ��する。
 同図(b)はそのときのサポートプレートSの貫 通孔H内の様子を示している。上述したよう� �液状溶剤が第一貫通孔103から滞留用空間12へ 供給され、そして第二貫通孔104から回収され ると、滞留用空間12内に液状溶剤による対流� ��生じる。この対流は、同図(b)に示すように� ��貫通孔H内においても対流を引き起こし、液 状溶剤を貫通孔H内に静止させずに循環させ� �。更に、各貫通孔H内に満たされた液状溶剤� ��、振動しているため、その分子の振動によ� ��接着部材ADとの反応を更に促進させる。

 なお、各振動子13を駆動する場合、滞留� �空間12に液状溶剤が満たされない状態である と、液状溶剤が満たされていない空間の気体 分子にまで振動を与えることになる。しかし 、液状溶剤が満たされていない空間の気体分 子にまで振動を与えることは好ましくないこ とが実験により得られている。そのため、振 動子13の駆動は、滞留用空間12に液状溶剤が� �たされてから実行することが好ましい。

 図3は、滞留用空間12に液状溶剤が満たされ� ��から振動子13の駆動を行う液状溶剤当接ユ� �ットの構成例である。
 同図の液状溶剤当接ユニット2は、上述した 液状溶剤当接ユニット1に更に、滞留用空間12 に液状溶剤が満たされたことを検出する検出 部を設けたものである。

 同図に示すように、ここでは上記検出部� ��して液面センサ20を用いたものを示してる� �液状溶剤の液面Lは同図に実線矢印で示すよ� ��に下から上へ上昇するので、上記空間部12� �上方が液で満たされているかどうかを検出� �ることができる位置、例えば空間部12の上端 部と接する位置に、上記液面センサ20を配置� ��る。そして、その液面センサ20から液状溶� �が満たされたことを感知した信号が入力さ� �ているときにだけ振動子駆動部15´から振動� ��13を駆動させる。

 なお、包囲部材10は、図示のように水平� �はなく、傾けた状態にする使用方法も可能� �ある。また、空間部12は図示したように下に 向けて使用するのではなく、上向きにする等 の使用方法も可能である。そのような場合に おいては、滞留用空間12に液状溶剤が最後に� ��たされる空間が液状溶剤で満たされている� ��どうかを検出することが可能な位置に上記� ��面センサを設けるようにする。また、様々� ��向きでの使用が可能なように、滞留用空間1 2内の複数の領域において液状溶剤が満たさ� �ているかどうかを検出することができるよ� �にしてもよい。そのような場合においては� �包囲部材10に複数箇所に液面センサを設けて 、全ての液面センサから液状溶剤が満たされ たことを感知した信号が入力されているとき にだけ振動子駆動部15´から振動子13を駆動さ せるようにする。

 また、接着部材と液状溶剤とを効率よく� ��応させるためには液状溶剤の温度が適切で� ��ければならない。一方、液状溶剤の分子を� ��動させた場合、その分子の振動により液状� ��剤の温度が上昇してしまう。そのため、振� ��による影響を考慮して、液状溶剤の温度を� ��切な温度に調節することも重要になる。

 図4は、液状溶剤の温度に応じて振動子を制 御するようにした場合の液状溶剤当接ユニッ トの構成例である。
 同図の液状溶剤当接ユニット3は、既述の液 状溶剤当接ユニット1に更に、温調部30と、発 振制御部31とを設けたものである。

 温調部30は、第二貫通孔104から回収され� �液状溶剤の温度を測定して第一貫通孔103へ� �給する液状溶剤が所定の温度になるように� �熱又は冷却する温度調節装置よりなる。ま� �、発振制御部31は、振動子13の駆動部15´´を� ��御する制御回路よりなる。発振制御部31は� �温調部30で測定された回収液の温度をモニタ しながら駆動部15´´の出力を制御する。例え ば、温調部30で測定された液状溶剤の温度が� ��定温度を超えている場合は、駆動部15´´の� ��力をOFFにし即ち発振を止め、設定温度以下� ��場合は、駆動部15´´の出力をONにする即ち� �振させる。

 なお、発振制御部31は、駆動部15´´のON/OFF� �御ではなく、駆動部の出力値を任意の値に� �げたり下げたりするものであってもよい。
 また、接着剤溶解時の温度は好ましくは30� �~50℃であり、場合によっては振動を使用せ� �に、液状溶剤を温調することでサポートプ� �ートとウェハを剥離してもよい。

 また、同図の液状溶剤当接ユニット3は、図 3の液状溶剤当接ユニット2に設けた検出部を� ��えるようにしてもよい。
 また、以上の説明では、滞留用空間を包囲� ��材10とOリング11により形成したが、その他� �形態で滞留用空間を形成してもよい。例え� �、Oリング及びOリングを嵌める溝を構成せず に包囲部材のみで滞留用空間を形成してもよ い。この場合、包囲部材とサポートプレート とを液状溶剤が表面張力により漏れない間隔 に維持するようにする。

 以上のように、本発明の実施の形態にお� ��る液状溶剤当接ユニットにおいては、包囲� ��材によりサポートプレートの貫通孔の形成� ��囲に液状溶剤を溜めるための空間即ち滞留� ��空間を形成した。更に、この滞留用空間へ� ��状溶剤を供給すると共にその滞留用空間か� ��液状溶剤を回収できるようにした。そして� ��振動部を設け、上記滞留用空間に供給した� ��状溶剤を振動させられるようにした。その� ��め、サポートプレートの孔形成範囲の貫通� ��内において液状溶剤が振動すると共に、サ� ��ートプレートの貫通孔の内外にその液状溶� ��が循環するようになる。その結果、孔あき� ��ポートプレートとウエハとの間の、上記液� ��溶剤による接着部材の溶解反応が促進され� ��ウエハからの孔あきサポートプレートの剥� ��が短時間ですませられるようになる。

 また、更に、滞留用空間に液状溶剤が満� ��されたことを検出する検出部を設けた場合� ��おいては、滞留用空間に液状溶剤が満たさ� ��てないときに振動が発振されないようにな� ��、そのため、液状溶剤が満たされていない� ��間にある気体分子を振動させることが回避� ��れる。そして、上記検出部を設けることに� ��って、振動による溶解反応を適正なタイミ� ��グで実施することが可能になる。

 また、更に、温調部と、液状溶剤の温度� ��より振動子の発振制御部を設けた場合にお� ��ては、振動を発振し続けることによる液状� ��剤の温度上昇を回避できる。そのため、液� ��溶剤の温度を常に設定範囲内に維持し、溶� ��反応に適した温度の液状溶剤をサポートプ� ��ートの貫通孔に供給して、接着部材と反応� ��せることができる。その結果、振動による� ��解反応を適正な温度で実施することが可能� ��なる。