Das US-Patent 4976217 beschreibt ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung zum Abscheiden von III-V-Halbleiter- schichten in einem Reaktor, welcher zylindersymmetrisch ausgebildet ist. Die Prozesskammer besitzt einen Boden, der von unten her mit Hochfrequenz beheizt wird. Die Prozesskammer wird von einem ringförmigen Hohlkörper umgeben, welcher radialeinwärts gerichtete Öffnungen besitzt, durch welche das zentral in die Prozesskammer eingeleitete Prozessgas abgeführt wird. Der rückwärti- ge, radial außenliegende Raum um diesen Gasauslassring wird von einer kalten Reaktorwand umgeben. Der Spalt zwischen der Reaktorwand und dem Gasauslassring wird mit einem Spülgas gespült.

Das US-Patent 50 27 746 beschreibt ebenfalls eine Vor- richtung zum epitaktischen Wachstum von II-V-Halblei- terschichten. Auch dort werden die Prozessgase zentral einer Prozesskammer zugeführt, deren Boden beheizt ist.

Die Prozessgase werden durch einen die Prozesskammer umgebenden Gasauslassring abgeführt. Auch bei dieser Vorrichtung werden Spalte zwischen den einzelnen Bautei- len der Prozesskammer mittels Spülgasen gespült. Insbe- sondere wird hier der Zwischenraum zwischen dem Reaktor- deckel und der Prozesskammerdecke mit einer Mischung aus Wasserstoff und Argon gespült. Durch Variation der Gaszusammensetzung kann die thermische Leitfähigkeit des Spülgases, und damit die Kühlung der Prozesskammer- decke beeinflusst werden.

Die gattungsgemäße Vorrichtung besitzt einen Gasaus- lassring, welcher zum Beladen der Prozesskammer, wozu der Reaktordeckel und die daran befestigte Prozesskam- merdecke angehoben werden, abgesenkt wird. Bei der bekannten Vorrichtung, in der das gattungsgemäße Ver- fahren ausgeübt wird, kann es beim Absenken des Gasaus- lassringes zu einer unerwünschten Partikelfreisetzung kommen. Die Partikel werden insbesondere aus den Gasaus- lassöffnungen des Gasauslassringes freigesetzt und entstammen einer parasitären Belegung des Inneren des Gasauslassrings.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren so zu führen, dass diese Partikelbildung reduziert wird.

Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.

Der Anspruch 1 schlägt vor, dass das den Raum zwischen der Reaktorwand und dem Gasauslassring spülende Gas Stickstoff oder eine Mischung aus Wasserstoff und Stick- stoff ist. Die erfindungsgemäße Lösung beruht auf der Erkenntnis, dass das parasitäre Wachstum innerhalb des hohlen Gasauslassrings und im Bereich des Spaltes zwischen Gasauslassring und dem den Gasauslassring bereichsweise überfangenden Randabschnitt der Pro- zesskammerdecke durch eine zu niedrige Wandtemperatur bzw. durch Diffusion eines Prozessgases in den Spalt erfolgt. Durch die Wahl des Spülgases wird nicht nur dessen thermische Leitfähigkeit verkleinert. Einherge- hend mit der vom Anspruch 1 vorgeschlagenen Maßnahme ändert sich auch das Diffusionsverhalten innerhalb des Spülgases. Zufolge der reduzierten Wärmeleitfähigkeit wird weniger Wärme von der radialen nach außen weisen- den Wand des Gasauslassringes an die gekühlte Reaktor- wand abgegeben. Dies hat zur Folge, dass die rückwärti- ge Wand des Hohlraumes des Gasauslassringes eine höhere Temperatur behält als bei der bekannten Prozessführung.

Darüber hinaus wirkt die reduzierte Diffusion dem Ein- dringen von Prozessgas in den Spalt zwischen Prozesskam- merdecke und Gasauslassring entgegen. Die erfindungsge- mäße Prozessführung ist insbesondere bei solchen Prozes- sen von Vorteil, bei denen in der Prozesskammer plane- tenartig Substrate mit relativ großem Durchmesser, beispielsweise sieben Substrate mit jeweils sechs Zoll Durchmesser einliegen. Die Prozesskammer hat dann einen vergleichsweise großen Durchmesser, so dass der Spalt zwischen Gasauslassring und der wassergekühlten Umfangs- wand eines Standardreaktors recht klein wird. Die erfin- dungsgemäße Prozessführung hat dann zur Folge, dass im Spalt ein entsprechend erhöhter Temperaturgradient vorliegt. Es ist ferner förderlich, wenn in bekannter Weise der Spaltraum zwischen der Prozesskammerdecke und

dem Reaktordeckel ebenfalls mit Stickstoff oder eine Mischung von Wasserstoff und Stickstoff gespült wird.

Dieser Spülgasstrom tritt dann durch einen Spalt zwi- schen dem Rand der Prozesskammerdecke und einem Distanz- ring gegen die zur Prozesskammerdecke weisende Außen- wand des Gasauslassringes. An dieser Stelle vermischt sich das den Deckelspalt spülende Gas mit dem den Um- fangsspalt spülenden Gas, so dass das in die Peripherie der Prozesskammer strömende Gas einen vergrößerten Volumenstrom besitzt. Das in die Peripherie der Prozess- kammer einströmende Spülgas wird durch die Gasaustritts- öffnungen des Gasauslassringes zusammen mit dem Prozess- gas abgesaugt.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert.

Die Zeichnung ist eine grobe schematische Darstellung der Peripherie einer zylindersymmetrischen Prozesskam- mer im Querschnitt.

Die Prozesskammer 1 erstreckt sich in der Horizontalen oberhalb des von unten mittels einer HF-Heizung 16 beheizten Prozesskammerbodens 3, welcher aus Grafit besteht. In dem Prozesskammerboden 3, befindet sich eine Vielzahl, insbesondere sieben kreiszylinderförmige Aussparungen, in welchen jeweils ein scheibenförmiger Substrathalter 21 auf einem Gaspolster 22 drehend gela- gert ist. Das Prozessgas 10 durchströmt die Prozesskam- mer 1 von deren Zentrum radial auswärts. Nach oben wird die Prozesskammer 1 durch die Prozesskammerdecke 4 begrenzt, welche aus Quarz oder ebenfalls aus Grafit bestehen kann. Zwischen der Prozesskammerdecke 4 und des aus Edelstahl bestehenden Reaktordeckels 6 befindet

sich ein Spalt 13, welcher mittels eines Spülgases 7 vom Zentrum nach außen hin gespült wird.

Die Umfangsbegrenzung der Prozesskammer 1 wird von einem Gasauslassring 5 gebildet. J » Dieser ist als Hohlkör- per ausgebildet. Die in Richtung auf die Prozesskammer 1 weisende Wand 5"des Gasauslassringes 5 besitzt eine Vielzahl von Öffnungen 11, durch welche das Prozessgas 10 zusammen mit der Peripherie der Prozesskammer 1 einströmenden Spülgas abgesaugt werden. Aus dem Hohl- raum des Gasauslassringes 5 tritt das abgesaugte Gas durch ein oder mehrere Gasaustrittsöffnungen 19, die der bodenseitigen Wand 5""zugeordnet ist. Dieser Öffnung 19 kann eine Pumpe angeschlossen sein.

Rückwärtig des Gasauslassringes 5 befindet sich zwi- schen der rückwärtigen Wand 5'und der Reaktorwand 2 ein schmaler Zwischenraum 12. Dieser Zwischenraum wird von einem Spülgas 8 gespült. Die Spülung erfolgt von unten nach oben, so dass das Spülgas 8 an einem im Eckbereich des Reaktors angeordneten Distanzring 18, der aus Ceran bestehen kann, umgeleitet wird, um über die obere Wand 5"'des Gasauslassringes 5 zu strömen.

Zwischen der Prozesskammerdecke und dem Distanzring 18 befindet sich ein ringförmiger Spalt 17, durch welchen das Spülgas 7 austreten kann, um sich mit dem Spülgas 8 des Zwischenraumes 12 zu Mischen und durch den Spalt 9 zwischen der oberen Wand 5'''und dem Randabschnitt der Prozesskammerdecke in den äußeren Abschnitt 1'der Prozesskammer 1 zu strömen, wo es durch die Öffnung 11 zusammen mit einem weiteren Spülgasstrom 15 und dem Prozessgas 10 abgesaugt wird. Das Spülgas 15 spült den Spalt 14, welcher zwischen dem Umfangsrand des Prozess-

kammerbodens 3 und der nach innen weisenden Wand 5" des Gasauslassringes 5 liegt.

Erfindungsgemäß ist vorgeschlagen, dass der nur wenige Millimeter breite Zwischenraum 12 zwischen der Wand 5' und der Reaktorwand 12, die Spülwasserkanäle 20 auf- weist, mittels Stickstoff oder einer Mischung aus Was- serstoff und Stickstoff gespült wird. Diese Mischung hat eine erheblich niedrigere thermische Leitfähigkeit als reiner Wasserstoff, so dass die Wand 5'des Gasaus- lassringes 5 insbesondere auf ihrer Innenseite eine Temperatur behält, die höher ist, als die Deposition- stemperatur der Prozessgase, wobei es sich um Phosphin, Arsen und metallorganische Verbindungen handeln kann.

Dies hat die Folge, das im Hohlraum des Gausauslassrin- ges keine oder nur eine geringe Deposition stattfindet.

Wird der Gasauslassring 5 zum Beladen der Prozesskammer 1 mit Substraten abgesenkt, können deshalb keine Parti- kel aus dem Innenraum des Gasauslassringes 5 durch die Öffnungen 11 nach draußen gelangen.

Indem der Wasserstoff/Stickstoffgasstrom auch den Spalt 9 zwischen Reaktordecke 4 und Gasauslassring 5 spült, wird zudem wirksam verhindert, dass Prozessgas in den Spalt 9 hineindiffundieren, um dort an kalten Stellen zu kondensieren. Indem diesem Gasstrom der ebenfalls aus einer Mischung aus Wasserstoff und Stickstoff beste- hende Gasstrom 7 beigemischt wird, wird die Diffusions- fähigkeit weiter herabgesetzt.

Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswe- sentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) voll- inhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale

dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen.