(実施の形態1)
 図1に示すように、本実施の形態における光 学反射素子60は、ミラー部6と、ミラー部6を� �して対向するとともに、ミラー部6の各端部� ��それぞれが連結された一対の振動部(第一振 動部)7を有している。さらに、これらの振動� ��7と連結され、振動部7およびミラー部6の外� ��を囲む枠体8を有している。さらに、枠体8� �介して対向するとともに、枠体8の各端部と� ��れぞれが連結された一対の振動部(第二振動 部)9を有している。さらに、これらの振動部9 と連結されるとともに、振動部9および枠体8� ��外周を囲う枠形状の支持体10を有している� �

 なお、本実施の形態では、振動部7と振動 部9とは、それぞれ異なる共振駆動周波数を� �し、その周波数比は10倍~100倍程度である。� �えば本実施の形態では、振動部7の共振周波� ��が10kHz、振動部9の共振周波数が200Hz程度で� �る。

 振動部7の中心軸S1と振動部9の中心軸S2と� ��、それぞれ方向が異なり、交差する関係に� ��る。本実施の形態では、振動部7はY軸に平� �な中心軸S1を有し、振動部9はX軸に平行な中� ��軸S2を有している。また本実施の形態では� �これらの中心軸S1、S2は、ミラー部6の重心で 直交する関係にある。対となる振動部7は、� �動部9の中心軸S2に対して線対称形であり、� �となる振動部9は、振動部7の中心軸S1に対し� ��線対称形である。

 本実施の形態では、振動部7は繰り返し蛇 行しながらY軸方向に延びるミアンダ形状を� �する。振動部7は、X軸に平行(中心軸S1に垂直 )な複数の振動板(第一振動板)7A~7Dが、同一平� ��上で折り返し蛇行して連結されている。ま� ��、振動部9は繰り返し蛇行しながらX軸方向� �延びるミアンダ形状を有する。振動部9は、Y 軸方向に平行(中心軸S2に垂直)な複数の振動� �(第二振動板)9A~9Eが同一平面上で折り返し蛇� ��して連結されている。

 図2は図1のP部(振動部7)を示す斜視図であ� ��、図3はその3-3線断面図である。これらの図 に示すように、振動部7を構成する複数の振� �板7A~7Dは、それぞれ、圧電素子(第一圧電素� �)11とモニター素子(第一モニター素子)12とか� ��構成される。

 振動部7における圧電素子11は、図3に示す ように、ベースとなるシリコン基板14上に、� ��リコン酸化膜15を介して、振動部7と振動部9 に共通に設けられた接地電極16を備えている� ��さらに、接地電極16上に振動部7と振動部9に 共通に設けられた圧電層17を備えている。さ� ��に、圧電層17上に設けられた駆動電極(第一� ��動電極)18を備えている。駆動電極18は、図2� ��示すように、振動部7の複数の振動板7A~7D上� ��それぞれ配置された部分が共通接続された� ��成を有する。接地電極16は、図1に示す外部� ��極20と接続される。駆動電極18を有する圧電 素子11を備えた振動部7が、中心軸S2を有する� ��電アクチュエータを構成している。

 振動部7におけるモニター素子12は、図3に 示すように、シリコン基板14上にシリコン酸� ��膜15を介して設けられた、圧電素子11と共通 の接地電極16および圧電層17を備え、圧電層17 上にモニター電極(第一モニター電極)21を備� �ている。モニター電極21は、図2に示すよう� �、振動部7の複数の振動板7A~7D上にそれぞれ� �置された部分が共通接続された構成を有す� �。

 このように、振動部7を構成する各振動板 7A~7D上には、駆動電極18とモニター電極21の2� �の電極が引き回される。また、モニター電� �21は、図4、図5に示すように、幅狭の配線電� ��21Aとして、振動部9上を引き回され、図1の� �部電極22と接続される。

 図4は図1のQ部(振動部9)を示す斜視図であ� ��、図5はその5-5線断面図である。これらの図 に示すように、振動部9を構成する複数の振� �板9A~9Eは、それぞれ、圧電素子(第二圧電素� �)11とモニター素子(第二モニター素子)13とか� ��構成される。

 振動部9における圧電素子11は、図5に示す ように、振動部7と同様に、ベースとなるシ� �コン基板14上に、シリコン酸化膜15を介して� ��振動部7と振動部9に共通に設けられた接地� �極16を備えている。さらに、接地電極16上に� ��動部7と振動部9に共通に設けられた圧電層17 を備えている。さらに、圧電層17上に設けら� ��た駆動電極(第二駆動電極)18を備えている。 駆動電極18は、図4に示すように、振動部9の� �数の振動板9A~9E上にそれぞれ配置された部分 が共通接続された構成を有する。さらに、振 動部7から引き回された駆動電極18と共通接続 されると共に、図1に示す外部電極19と接続さ れる。駆動電極18を有する圧電素子11を備え� �振動部9が、中心軸S1を有する圧電アクチュ� �ータを構成する。

 振動部9におけるモニター素子13は、図5に 示すように、シリコン基板14上にシリコン酸� ��膜15を介して設けられた、圧電素子11と共通 の接地電極16および圧電層17を備え、圧電層17 上にモニター電極(第二モニター電極)23を備� �ている。モニター電極23は、図4に示すよう� �、振動部9の複数の振動板9A~9E上にそれぞれ� �置された部分が共通接続された構成を有し� �図1に示す外部電極24と接続されている。

 以上のように、本実施の形態では、振動� ��7に設けられたモニター電極21と、振動部9に 設けられたモニター電極23とは電気的に独立� ��ている。したがって、上述したように、振� ��部9の複数の振動板9A~9E上には、図5に示すよ うに、駆動電極18とモニター電極23と振動部7� ��幅狭のモニター電極21の配線電極21Aとの3本� ��電極が引き回される。

 図6は、以上のような本実施の形態の光学 反射素子の電極パターンを模式的に示した図 である。図6では、光学反射素子60を、ミラー 部6を中央に有する1つの振動部7と、振動部7� �挟む2つの振動部9とで示している。駆動電極 18は、振動部7、9に配置され、外部電極19に共 通に接続された1本の電極として示されてい� �。振動部7上に配置されたモニター電極21は� �モニター電極23とは独立しており、振動部9� �を引き回され2つの外部電極22に接続されて� �ることを示している。一対の振動部9上に配� ��されたモニター電極23は、モニター電極21と は独立しており、振動部7上を配線電極23Aで� �き回されて、外部電極24に共通に接続されて いることを示している。

 このように、振動部7の各振動板7A~7D上で� ��、図3に示すのと同様に、駆動電極18とモニ� ��ー電極21が設けられている。また、振動部9� ��各振動板9A~9E上では、図5に示すのと同様に� ��モニター電極21の配線電極21Aを挟んで駆動� �極18とモニター電極23が設けられている。

 なお、本実施の形態では、図6に示すよう に、共通の駆動電極18の終端は開放としたが� ��外部電極を別途設け、その外部電極に引き� ��してもよい。

 また、本実施の形態では、ベースとしてシ� ��コン基板14を用いたが、その他酸化マグネ� �ウム(MgO)あるいはステンレスなどの板を用い てもよい。また接地電極16はプラチナ、駆動� ��極18およびモニター電極21、23は金、圧電層1 7はチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr _X ,Ti _1-X )O ₃ で、x=0.525)などが挙げられる。これらの電極� ��材料は、蒸着、ゾル、ゲル、CVD、スパッタ� ��などによって薄膜化することができる。

 次に、図7を用いて本実施の形態の圧電駆 動装置の構成について説明する。図7は、本� �明の一実施の形態における圧電駆動装置の� �成を示すブロック図である。

 本実施の形態の圧電駆動装置は、図1に示 した光学反射素子60と、光学反射素子60の振� �部7および振動部9にそれぞれの共振駆動信号 を入力する駆動装置61とを備えるものである� ��

 本実施の形態の駆動装置61は、並列配置� �れた増幅器25、26を有している。増幅器25は� �ンピーダンス素子27と接続され、増幅器26は� ��ンピーダンス素子28と接続されている。そ� �て増幅器25とインピーダンス素子27とをつな� ��配線と、増幅器26とインピーダンス素子28と をつなぐ配線とは共通接続されて、図1に示� �光学反射素子60の外部電極19に接続される。� ��部電極19からは共通の配線電極18Aが光学反� �素子60上を引き回され、振動部7、9の駆動電� ��18に接続される。

 一方、振動部7の振動を検出するモニター 電極21は、配線電極21Aとして光学反射素子60� �を引き回されて外部電極22に接続され、外部 電極22から外部に引き出され、駆動装置61の� �ィルター29を介して増幅器25と接続される。� ��た、振動部9の振動を検出するモニター電極 23は、配線電極23Aとして光学反射素子60上を� �き回されて外部電極24に引き回され、外部電 極24から外部に引き出され、駆動装置61のフ� �ルター30を介して増幅器26と接続される。

 次に、本実施の形態における光学反射素� ��の動作を図7を用いて説明する。まず、図7� �示すように、増幅器25の入力端子25Aに振動部 7を駆動させる電気信号(交流電圧)が入力され 、増幅される。また増幅器26の入力端子26Aに� ��動部9を駆動させる電気信号(交流電圧)が入� ��され、増幅される。

 なお、本実施の形態では、振動部7には、 この振動部7に固有の振動周波数を有する電� �信号を入力し、振動部7を共振駆動させてい� ��。また振動部9には、この振動部9に固有の� �動周波数を有する電気信号を入力し、振動� �9を共振駆動させている。これにより、振動� ��7および振動部9を効率よく駆動させること� �でき、大きく変位させることができる。

 上述の電気信号は、それぞれ抵抗器など� ��インピーダンス素子27、28を介して合成され 、光学反射素子60の外部電極19に供給される� �合成された電気信号は、外部電極19から引き 回され、一本の配線電極18Aを介して振動部9� �よび振動部7上の駆動電極18に流れ(図6参照)� �それぞれの圧電素子11を共に駆動させる。

 すなわち本実施の形態では、振動部9は、 共通の駆動電極18から供給される交流電圧の� ��・負によって上下に(素子平面に対して垂直 方向に)振動する。この振動によって、図1に� ��す枠体8の下端部(振動部9と連結される部分) が上下(素子平面に対して垂直方向)に振動し� ��ミラー部6の中心を不動点としながらミラー 部6を、中心軸S2を中心に回動させる。なお、 本実施の形態において、振動部9の中心軸S2は 、この振動部9の駆動によるミラー部6の回転� ��と一致する。

 また、同様に、振動部7は、共通の駆動電 極18から供給される交流電圧の正・負によっ� ��上下に振動する。この振動によって、図1に 示すミラー部6の側端部(振動部7と連結される 部分)が上下(素子平面に対して垂直方向)に振 動し、ミラー部6の中心を不動点としながら� �ミラー部6を、中心軸S1を中心に回動させる� �振動部7の中心軸S1は、この振動部7の駆動に� ��るミラー部6の回転軸と一致する。

 振動部7上に配置されたモニター電極21は� ��振動部7の変位を電気信号として検知し、そ の電気信号は、配線電極21Aを介して外部電極 22から外部に引き出される。また、振動部9上 に配置されたモニター電極23は、振動部9の変 位を電気信号として検知し、その電気信号は 、配線電極23Aを介して外部電極24から外部に� ��き出される。

 外部電極22から引き出された電気信号は� �図7に示すように、駆動装置61のフィルター29 を介して取り出され、再び増幅器25に入力端� ��25Aに入力される。また、外部電極24から引� �出された電気信号は、駆動装置61のフィルタ ー30を介して取り出され、再び増幅器26の入� �端子26Aに入力される。

 このようにそれぞれのモニター電極21、23 から出力される電気信号を、振動部7、振動� �9の各圧電素子11の駆動電極18にフィードバッ クすることにより、光学反射素子を自励駆動 させることが出来る。

 なお、インピーダンス素子27、28としては 、上述の抵抗器以外にも、コンデンサやコイ ルなどのリアクタンス素子、あるいはこれら の組み合わせ等も挙げられる。

 また、本実施の形態では、外部電極19に2� ��の電気信号を合成して入力したが、3つ以上 の電気信号を合成することも可能である。

 以上のように、本実施の形態では、駆動� ��極18の配線電極数を減らし、生産効率を向� �させることができる。

 すなわち従来の光学反射素子は、電極パ� ��ーンの効率化について考慮されておらず、� ��18に示す振動部2および振動部4をそれぞれ駆 動させるために、これらの振動部2および振� �部4上には、個々に独立した駆動電極がパタ� ��ニングされていた。したがって、光学反射� ��子上には、これらの駆動電極毎に配線電極� ��引き回す必要があった。すなわち、少なく� ��も振動部4には、この振動部4の駆動電極と� �振動部2の駆動電極の配線電極とを引き回さ� ��ければならなかった。

 この配線電極の数が増えると、駆動電極� ��配線電極のパターニングが困難となる。特� ��小型の光学反射素子の場合や、モニター電� ��を形成する場合、微小領域に複数の電極や� ��線電極をパターニングすることになり、パ� ��ーニングが非常に困難となる。また、本実� ��の形態のように、振動部7、9が複雑なミア� �ダ形状の場合は、特に電極等のパターニン� �が難しくなり、生産効率低下の原因となっ� �いた。

 これに対し本実施の形態では、複数の電� ��信号を合成したため、一つの駆動電極18で� �数の電気信号を供給できる。すなわち、共� �の駆動電極18で振動部7および振動部9を共に� ��動させることができる。

 したがって、振動部7、9の駆動電極18の配 線電極も共通になるため、駆動電極18の配線� ��極数を減らすことができ、結果として生産� ��率を向上させることが出来る。

 また、複数の電気信号は、インピーダン� ��素子27、28を介した後合成したため、電気信 号間において、たとえば周波数の差が大きく ても容易に合成することができる。

 また、本実施の形態では、振動部7および 振動部9をミアンダ形状としたことにより、� �学反射素子全体として小型化を図りながら� �共振器長を長く調整することができ、ミラ� �部6の変位を大きくすることができる。

 また本実施の形態では、振動部7および振 動部9を共に共振させることにより、ミラー� �6の変位を大きくすることができる。

 さらに本実施の形態では、図1に示すよう に、振動部7はミラー部6の側端部と連結され� ��いることから、てこの原理によりミラー部6 を、中心軸S1を中心に大きく回動させること� ��できる。同様に、振動部9は枠体8の下端部� �連結されていることから、ミラー部6を、中� ��軸S2を中心に、大きく回動させることがで� �る。

 また、振動部7、9は、それぞれミラー部6� ��よび枠体8の端部と連結させているため、ミ ラー部6の中心が不動点となり、この不動点� �おいては、入射光と反射光との光路長が一� �に保たれるため、この光学反射素子により� �影する画像の歪みを抑制することができる� �

 なお、本実施の形態では、図6に示すよう に、共通の駆動電極18は一対の振動部9両方に 引き回したが、図8に示すように、一方の振� �部9に引き回してもよい。この場合も、一方( 例えば、ミラー部6に対して右側)の振動部9に 印加された振動が、枠体8(図1参照)を介して� �方(ミラー部6に対して左側)の振動部9に伝搬� ��、共振させることができ、結果としていず� ��の振動部9をも振動させることができる。

 また、駆動電極18を一方の振動部9に形成� ��る場合は、図8に示すように、振動部9の振� �を検知するモニター電極23を、駆動電極18が� ��き回されていない左側の振動部9にのみ形成 してもよい。

 この場合、モニター電極23が引き回され� �い右側の振動部9においては、駆動電極18と� �振動部7のモニター電極21の配線電極21Aとが� �成されることになる。なおこの時、図8、図9 に示すように、共通の駆動電極18を、振動部9 の各振動板9A~9E上の両側に分けて左右対称に� ��置し、その中央にモニター電極21の配線電� �21Aを配置することができる。なお分岐させ� �駆動電極18は、ジャンパー線などで適宜接続 させればよい。

 このように、各振動板9A~9E上において、� �動電極18を左右対称に配置することによって 、振動部9上に均一に電圧を印加することが� �き、振動部9を垂直に振動させることが出来� ��。

 また、図8に示すように、左側の振動部9� �おいては、この振動部9の振幅を検知するた� ��のモニター電極23を、振動部9の各振動板9A~9 E上の両側に分けて左右対称に配置すること� �できる。これにより振動部9の面積を効率よ� ��利用でき、モニター電極23の感度を向上さ� �ることが出来る。なお、二分したモニター� �極23は、ジャンパー線などで適宜電気的に接 続させることが出来る。

 なお、本実施の形態では、一対の振動部7 のいずれにも駆動電極18を配置したが、一方� ��振動部7に駆動電極18を配置し、共振駆動さ� ��れば、その振動がミラー部6を介して他方の 振動部7に伝搬し、この他方の振動部7も共振� ��動させることができる。したがって、振動� ��7の駆動電極18の配線電極数を減らすことが� ��きる。

 (実施の形態2)
 図10は本発明の実施の形態2における光学反� ��素子の電極パターンを模式的に示した図で� ��る。本実施の形態と実施の形態1との主な違 いは、図10に示すように、電気的に独立した� ��つの駆動電極31、32を振動部7に設けた点で� �る。駆動電極31、32には、それぞれ外部電極1 9A、19Bを介して、正負逆位相の交流電圧を印� ��する。

 図11は本実施の形態の光学反射素子を示� �斜視図である。図12は図11のR部の断面図であ る。図10~図12に示すように、本実施の形態で� ��、振動部7の複数の振動板7A~7D上には、電気� ��に独立した二つの駆動電極31、32を交互に配 置している。これらの駆動電極31、32をそれ� �れ共通接続するため、複数の振動板7A~7D上に は、電気的に独立した二つの駆動電極31、32� �配線電極31A、32Aも交互に配置している。

 すなわち、図12に示すように、振動部7に� ��いて、駆動電極31が配置された振動板7A、7C� ��には、幅狭に形成された駆動電極32の配線� �極32Aが引き回されている。駆動電極32が配置 された振動板7B、7D上には、幅狭に形成され� �駆動電極31の配線電極31Aが引き回されている 。

 このように、駆動電極31、32を交互に配置 し、これらの駆動電極31、32に正負逆位相の� �流電圧を印加すれば、各振動板7A~7Dの曲げ方 向は交互に逆向きとなり、図13にその振動状� ��を示すように、振動の変位は蓄積される。� ��たがって、振動部7全体としては、中心軸S1� ��回転軸とし、大きく反復回動させることが� ��き、結果としてミラー部6の変位(振幅)を大� ��くすることができる。

 また、図10に示すように、本実施の形態� �は、振動部9上には、実施の形態1と同様に、 それぞれの振動板9A~9E(図11参照)上に共通の駆 動電極31を配置している。

 すなわち本実施の形態では、一方の駆動� ��極31は、振動部7と振動部9との圧電素子に共 通の駆動電極31とし、他方の駆動電極32は振� �部7の圧電素子のみを駆動させる駆動電極32� �して用いている。したがって、振動部9のそ� ��ぞれの振動版9A~9E上には、駆動電極31以外に 駆動電極32の配線電極32Aも引き回されている� ��なお、本実施の形態では、振動部7では、2� �の駆動電極31、32が形成されるため、モニタ� ��電極21は実施の形態1より狭幅となる。

 なお、本実施の形態では、振動部7のモニ ター電極21は、外部電極22から振動部9を介し� ��振動部7に引き回したため、振動部9には、� �施の形態1よりも幅狭のモニター電極21の配� �電極21Aが形成されている。また振動部9のモ� ��ター電極23は、外部電極24から各振動部9に� �き回した。ここでモニター電極23の配線電極 は、振動部7上には引き回さず、枠体8を介し� ��一対の振動部9にそれぞれ引き回してもよい 。

 本実施の形態では、駆動電極31に、振動� �7と振動部9のそれぞれの共振駆動信号を合成 した電気信号を入力することで、駆動電極31� ��振動部7と振動部9に共通の駆動電極31とする ことができ、電極配線の数を減らすことがで きる。

 なお、本実施の形態の光学反射素子を画� ��投影装置に用いる場合、高精度な画像を投� ��するには、一般的にX軸方向の走査速度はY� �方向の走査速度よりもはるかに大きくする� �要がある。

 この場合、X軸方向に振動する振動部7の� �波数を高くすればよいが、周波数が高くな� �ほど、ミラー部6の変位が小さくなる。した� ��って本実施の形態のように、振動部7の振動 板7A~7D上には、二つの駆動電極31、32を交互に 配置し、それぞれの駆動電極31、32に逆位相� �電圧を印加することで、変位を蓄積し、大� �な振幅を得ることができる。さらに、振動� �9と振動部7とは駆動電極31を共通させること� ��、従来のような配線電極数の増加を回避で� ��、高性能の光学反射素子の生産効率の向上� ��図ることができる。

 その他、実施の形態1と同様の構成から得 られる効果については実施の形態と同じであ るので説明を省略する。

 (実施の形態3)
 図14は、本発明の実施の形態3における光学� ��射素子の電極パターンを模式的に示した図� ��ある。本実施の形態と実施の形態1との違い は、図14に示すように、振動部7および振動部 9のモニター素子は、共通のモニター電極33を 有し、これらのモニター電極33は、図15に示� �ように、共通の配線電極33Aで外部電極34から 引き出される点である。

 また、本実施の形態では、振動部7の圧電 素子11を駆動させる駆動電極35と、振動部9の� ��電素子を駆動させる駆動電極36とは個々に� �成し、電気的に独立させている。したがっ� �、これらの駆動電極35、36の配線電極35A、36A� ��、それぞれ個々に引き回している。

 本実施の形態では、図15に示すように、� �動部7の圧電素子の駆動により発生した電気� ��号と、振動部9の圧電素子の駆動により発生 した電気信号とは、混在した状態で共通のモ ニター電極33で感知される。混在した電気信� ��は、外部電極34からフィルター37Aを介する� �とによって、振動部7で発生した電気信号の� ��が取り出される。また、フィルター37Bを介� ��ることによって、振動部9で発生した電気信 号のみが取り出される。このようにして、本 実施の形態によれば、共通のモニター電極33� ��感知された電気信号を、個々の電気信号に� ��離検出することができる。

 これにより本実施の形態では、従来電気� ��に独立させていた二つのモニター電極を、� ��通にすることができ、一つの配線電極33Aで� ��き出すことができる。すなわち電極配線の� ��が減り、結果としてパターニングが簡易に� ��り、生産効率を向上させることができる。

 なお、上記実施の形態では、振動部7と振 動部9とで駆動電極35、36は共通にしていない� ��、駆動電極35、36も共通にしてもよい。これ により、駆動電極35、36の電極配線数も減ら� �ことができる。

 また本実施の形態の別の例として、一方� ��振動部7(例えば、図1の下方の振動部7)およ� �一方の振動部9(例えば、図1の右側の振動部9) とに共通の駆動電極を形成し、他方の振動部 7(例えば、図1の上方の振動部7)と振動部9(例� �ば、図1の左側の振動部9)とに共通のモニタ� �電極を形成してもよい。

 これにより各一方の振動部7および振動部 9上には駆動電極を、各他方の振動部7および� ��動部9上にはモニター電極を形成すればよい ため、パターニングがより簡易となる。なお 、これとは逆に、一方の振動部7および一方� �振動部9とに共通のモニター電極を形成し、� ��方の振動部7と振動部9とに共通の駆動電極� �形成してもよい。

 その他、実施の形態1と同様の構成から得 られる効果については実施の形態と同じであ るので説明を省略する。

 (実施の形態4)
 図16は、本発明の実施の形態4における圧電� ��動装置の構成を示すブロック図である。本� ��施の形態と実施の形態1との主な違いは、圧 電駆動装置に電気信号を合成する合成回路を 設けた点である。

 図16に示すように、本実施の形態におけ� �駆動制御装置62は、2つの前置アンプ(第一前� ��アンプ、第二前置アンプ)38、39が並列に配� �されている。前置アンプ38は飽和アンプ(第� �飽和アンプ)40と電気的に接続され、飽和ア� �プ40は帯域フィルター41(第一帯域フィルター )と電気的に接続され、帯域フィルター41から 振動部7の共振駆動信号(第一電気信号)が取り 出される。

 同様に、前置アンプ39は飽和アンプ(第二� ��和アンプ)42と電気的に接続され、飽和アン� ��42は帯域フィルター(第二帯域フィルター)43� ��電気的に接続され、帯域フィルター43から� �動部9の共振駆動信号(第二電気信号)が取り� �される。

 なお、飽和アンプ40、42としては、出力が 所定値に達すると、その値を維持する飽和型 アンプ、あるいは出力が所定値に達すると、 出力を減衰させる負性飽和型アンプ等を用い ることができる。

 これらの飽和アンプ40と帯域フィルター41 、または飽和アンプ42と帯域フィルター43と� �通過して出力された各共振駆動信号は、加� �器44等を含む加算合成回路45で合成される。� ��算合成回路45から出力された信号は、外部� �極19から光学反射素子60を引き回され、振動� ��7および振動部9に共通の駆動電極18に入力さ れる。

 また、本実施の形態では、振動部7の振動 振幅によって発生した電気信号を、モニター 電極21で検出し、前置アンプ38に帰還する帰� �回路を構成している。ここで本実施の形態� �は、この帰還回路における閉ループゲイン� �1以上となるよう、すなわちモニター電極21� �ら出力された信号が、前置アンプ38に入力さ れた信号より減衰しないよう、振動部7の駆� �周波数と帯域フィルター41の通過周波数帯域 を設定した。また、加算合成回路45で合成す� ��のは3つ以上の電気信号でもよい。

 また、この振動部7と同様に、振動部9の� �動振幅によって発生した電気信号を、モニ� �ー電極23で検出し、前置アンプ39へと帰還し� ��いる。本実施の形態では、この帰還回路に� ��ける閉ループゲインも1以上となるように振 動部9の駆動周波数と帯域フィルター43の通過 周波数帯域を設定した。

 次に、本実施の形態の光学反射素子の駆� ��方法を説明する。図16に示すように、まず� �振動部7を駆動させる電気信号(交流電圧)が� �置アンプ38の入力端子38Aに入力されると、こ の信号が前置アンプ38で増幅される。次に前� ��アンプ38で増幅された信号が飽和アンプ40に 入力され、所定レベルの信号に矯正される。 飽和アンプ40から出力された信号は帯域フィ� ��ター41に入力され、振動部7の共振駆動信号� ��取り出される。

 また、同様に、前置アンプ39の入力端子39 Aに振動部9を駆動させる電気信号(交流電圧)� �入力され、増幅される。増幅された信号は� �飽和アンプ42で矯正され、その後帯域フィル ター43に入力され、振動部9の共振駆動信号が 取り出される。

 これらの振動部7および振動部9から取り� �された共振駆動信号が、加算合成回路45で合 成される。合成された電気信号は、光学反射 素子60の外部電極19から引き回され、駆動電� �18に流れ、振動部9および振動部7を同時に駆� ��させる。

 また、図16に示すように、モニター電極21 は、振動部7の振動振幅により電圧を検知し� �その電気信号は外部電極22から引き出される 。一方、モニター電極23は、振動部9の振動振 幅により電圧を検知し、その電気信号は外部 電極24から引き出される。これら外部電極22� �24から引き出された電気信号は、前置アンプ 38および前置アンプ39にそれぞれ帰還される� �

 なお、光学反射素子60の振動部7あるいは� ��動部9を、信号に追従させて共振駆動させる には、印加する駆動周波数の位相ずれを、±7 0deg以内の範囲とすることが好ましい。

 したがって、本実施の形態では、帯域フ� ��ルター41は、その通過帯域が、振動部7にお� ��て位相範囲が±70deg以内に相当する周波数帯 域となるように制御した。また同様に、帯域 フィルター43は、その通過帯域が、振動部9に おいて位相範囲±70deg以内に相当する周波数� �域となるように制御した。

 なお本実施の形態では、振動部7および振 動部9がそれぞれ位相範囲±70degで駆動したか� ��うかをモニター電極21またはモニター電極23 で検知し、加算合成回路45に入力される各信� ��を所定値に制御する手段をさらに設けても� ��い。

 本実施の形態では、実施の形態1と同様に 、駆動電極18の電極配線数を低減することが� ��き、簡易な配線パターンとすることができ� ��。

 また本実施の形態では、前置アンプ38、39 、飽和アンプ40、42、帯域フィルター41、43、� ��算合成回路45はいずれも能動素子からなる� �め、これらはICチップ化することができ、実 装工程における合理化が図れる。

 なお、本実施の形態では、振動部7および 振動部9のそれぞれの振動板(図1の7A~7D,9A~9E)上 に共通の駆動電極18を配置したが、例えば振� ��部7または振動部9のいずれか一方、あるい� �双方の振動板上に、二種類の駆動電極を交� �に配置してもよい。この場合は、実施の形� �2で説明したように、各駆動電極に正負逆位� ��の電圧を印加することにより、変位が蓄積� ��れ、大きな振幅を得ることができる。

 また、本実施の形態では、振動部7、振動 部9の各振動板上に駆動電極18を配置している が、駆動電極18の配置場所はこれに限定され� ��、例えば振動部7および振動部9には、それ� �れ一部の振動板上に駆動電極18を配置しても よい。

 図17は、本実施の形態1~4の光学反射素子� �用いた画像投影装置を示す構成図である。� �17に示すように、本実施の形態の画像投影装 置は、レーザ光源などの光源46と光学反射素� ��60とスクリーン49とから構成される。

 この構成によれば、光源46から光学反射� �子60のミラー部6へ入射光47を入射し、ミラー 部6からの反射光48を、スクリーン49に投影す� ��。このとき、ミラー部6を振動させることに よって、反射光48をX軸、Y軸方向に走査させ� �ことができ、スクリーン49や壁に画像50、文� ��等を投影することができる。

 なお、実施の形態1~4の光学反射素子では� ��振動部7、9の形状をミアンダ形としたが、� �れに限定されず、その他、例えばカンチレ� �ー形、十字形等、各種形状でも応用が可能� �ある。

 また、実施の形態1~4では、振動部7、9か� �構成される圧電アクチュエータは、ミラー� �6が連結されて光学反射素子として用いてい� ��。しかし、この圧電アクチュエータは、例� ��ばミラー部の代わり発光素子を連結させ、� ��学デバイスとして用いることもできる。