Title:
アクチュエータを備えるリソグラフィ装置、およびアクチュエータを保護する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015519738
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 システムに衝突保護部が設けられたリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】 リソグラフィ装置はシステムを備える。システムは、第１部（２０８）と、第２部（２０４）と、エネルギー吸収素子（２１０）とを備える。第２部は、第１部に対して移動するように構成される。システムは、該システムの動作モード中に第１部と第２部との間に位置するギャップ（２１６）を有する。エネルギー吸収素子は、システムの故障モードにおいて第１部および第２部が互いに衝突する場合に第１部と第２部との間のエネルギーを吸収するためのものである。エネルギー吸収素子は、ギャップの外側にある。【選択図】図２ａ
Inventors:
Cadet, Theodorus, Petrus, Maria
Blowers, thunder, christian
Hol, Sven, Antoine, Johann
Huang, Yang-Shang
De Grote, Antonius, Francis, Johannes
Van Deven, Bastien, Lambertus, Wilhelms, Marines
Blowers, thunder, christian
Hol, Sven, Antoine, Johann
Huang, Yang-Shang
De Grote, Antonius, Francis, Johannes
Van Deven, Bastien, Lambertus, Wilhelms, Marines
Application Number:
JP2015507460A
Publication Date:
July 09, 2015
Filing Date:
April 12, 2013
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
H01L21/027; G03F7/20; H01L21/68
Domestic Patent References:
| JP2007163451A | 2007-06-28 | |||
| JP2005277241A | 2005-10-06 | |||
| JP2011244608A | 2011-12-01 | |||
| JP2004343120A | 2004-12-02 | |||
| JP2002025902A | 2002-01-25 | |||
| JP2008061493A | 2008-03-13 | |||
| JP2001110699A | 2001-04-20 | |||
| JP2002057091A | 2002-02-22 |
Foreign References:
| EP1372035A2 | 2003-12-17 | |||
| US6583597B2 | 2003-06-24 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Toshifumi Onuki