Title:
基板上に論理デバイスおよびパワー・デバイスを形成する方法ならびに基板上の論理デバイスおよびパワー・デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021507507
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】基板上に論理デバイスおよびパワー・デバイスを形成する方法を提供。【解決手段】基板の第１の領域上に第１の垂直フィンを形成し、基板の第２の領域上に第２の垂直フィンを形成することを含み、分離領域が第１の領域を第２の領域から分離し、さらに、第２の領域上の第２の垂直フィン上に誘電性下層セグメントを形成すること、ならびに第２の領域上の誘電性下層セグメント上および第２の垂直フィン上に第１のゲート構造体を形成することを含む。また、第２の領域上の誘電性下層上および第２の垂直フィン上にマスキング・ブロックを形成することを含む。このマスキング・ブロックは、第１の垂直フィン上の誘電性下層の一部分を露出したままにする。【選択図】図２０
Inventors:
Li, Jun Tao
Chuyoung, Kangoo
Jian, Rein
Godiero, John, Gerard
Chuyoung, Kangoo
Jian, Rein
Godiero, John, Gerard
Application Number:
JP2020531528A
Publication Date:
February 22, 2021
Filing Date:
December 03, 2018
Export Citation:
Assignee:
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
International Classes:
H01L21/8234; H01L21/336; H01L21/8238; H01L27/088; H01L27/092; H01L29/78; H01L29/786
Domestic Patent References:
| JP2018073971A | 2018-05-10 | |||
| JP2009088134A | 2009-04-23 |
Foreign References:
| US20170084711A1 | 2017-03-23 | |||
| US20140001569A1 | 2014-01-02 | |||
| CN106549017A | 2017-03-29 | |||
| US20180122930A1 | 2018-05-03 |
Attorney, Agent or Firm:
Takeshi Ueno
Tasaichi Tanae
Tasaichi Tanae