Title:
ＩＣＰ発光分析装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3218495
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】光電子増倍管の光ヒステリシスに起因する検出出力の不安定さを軽減し、測定の精度や感度を向上させるＩＣＰ発光分析装置を提供する。【解決手段】測定時に投入電力制御部８１は、測定対象の成分の種類や溶媒の種類などに応じた高周波電力がプラズマに投入されるように高周波電力供給部２を制御し、ＩＣＰ発光部１にプラズマ炎１３を形成する。補助光源光量制御部８２は、プラズマ炎が消えているときに補助光源部６が点灯するように補助光源駆動部７を制御する。このとき、測定時のプラズマへの投入電力に応じて、投入電力が多いほど補助光源部の発光光量が多くなるように補助光源駆動部を制御する。これにより、測定時に定常的に光電子増倍管に入射する光の光量と非測定時に補助光源部６から光電子増倍管に入射する光の光量との差が小さくなり、光ヒステリシスの影響を軽減することができる。【選択図】図１
Inventors:
Tomoyuki Hirano
Application Number:
JP2018003037U
Publication Date:
October 18, 2018
Filing Date:
August 07, 2018
Export Citation:
Assignee:
SHIMADZU CORPORATION
International Classes:
G01N21/73
Attorney, Agent or Firm:
Kyoto International Patent Office