Title:
真空封止された慣性力センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4570912
Kind Code:
B2
Inventors:
Minoru Sudo
Kenji Kato
Mitsuo Yarita
Kenji Kato
Mitsuo Yarita
Application Number:
JP2004185449A
Publication Date:
October 27, 2010
Filing Date:
June 23, 2004
Export Citation:
Assignee:
Seiko Instruments Inc.
International Classes:
G01P15/08; H01L29/84
Domestic Patent References:
| JP10122869A | ||||
| JP2001189467A | ||||
| JP2004012329A |
Other References:
江刺正喜,マイクロセンサの真空パッケージング技術,電気学会論文誌E,日本,社団法人電気学会,2000年 6月 1日,120巻6号,p.310-314
Attorney, Agent or Firm:
Kentaro Kuhara
Noriaki Uchino
Nobuyuki Kimura
Noriaki Uchino
Nobuyuki Kimura
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