Title:
光学素子、薄膜構造体、光スイッチ、および、光学素子の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003060592
Kind Code:
A1
Abstract:
光束を所望の方向へ反射可能な反射部を備えた光学素子を提供する。基板２１と、光反射部１０１と、光反射部１０１を基板２１上に支持する支持部１０２とを有する。光反射部１０１および支持部１０２は、それぞれ、１以上の膜によって構成される。支持部１０２は、一端１０２ｃが基板２１に固定され、他端１０２ｄが光反射部１０１を構成する膜と接続され、一端１０２ｃから他端１０２ｄに向かって湾曲することにより、光反射部１０１を構成する膜の主平面を、基板２１の主平面に対して非平行、例えば垂直に支持している。
Inventors:
石津谷 徹
鈴木 純児
鈴木 美彦
鈴木 純児
鈴木 美彦
Application Number:
JP2003560629A
Publication Date:
May 19, 2005
Filing Date:
December 19, 2002
Export Citation:
Assignee:
株式会社ニコン
International Classes:
G02B26/08; B81B3/00; G02B6/35