磁性薄膜およびこれを用いた磁気ヘッド

Japanese Patent JPWO2004055784

A1

本発明は、２．２Ｔ以上の高Ｂｓを有し、かつ、表面粗度が５ｎｍ以下の平滑面に形成されることによりライトヘッド等に好適に使用できる磁性薄膜および磁気ヘッドに関する。磁性薄膜は、ＦｅＣｏ系合金層を異種の層と多層化することによって、膜表面の粗さを５ｎｍ以下に形成したものである。ＦｅＣｏ系合金層を成膜操作する際に、層ごとにＮ２ガス等の反応ガスを用いた反応性スパッタリングを施して多層化することによって膜表面の平滑化を図ることができる。

JPH01312756	MAGNETO-OPTICAL RECORDING MEDIUM
JP4904343	A device for attenuating the reflection of electromagnetic waves, a method of manufacturing the device, and use of the device.
JP2018195791	MAGNETIC ELEMENT, MAGNETIC STORAGE DEVICE, AND OSCILLATION DEVICE

Shoji Ikeda
Kubomiya Takayuki
Matsuoka Masaaki
Ikuya Tagawa
Junichi Kane
Satoshi Chikazawa
Kazuma Hosono

JP2004560589A

April 20, 2006

December 18, 2002

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富士通株式会社

H01F10/16; G11B5/31; H01F41/18

Takao Watanuki
Horimai Kazuharu

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