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Title:
板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011004764
Kind Code:
A1
Abstract:
板状体の研磨装置は、板状体の主表面における第１の面を吸着保持すべく構成されたバックパッドと、前記板状体の前記主表面における第２の面に押し付けられ、該第２の面を研磨すべく構成された研磨パッドを備え、前記板状体の辺部の外側近傍に位置するバックパッドが、該辺部に沿って熱収縮されて圧着されていることを特徴とする。

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Inventors:
Morishita Junya
Yoshiyuki Funayama
Kai Tatsuhiko
Application Number:
JP2011521899A
Publication Date:
December 20, 2012
Filing Date:
July 01, 2010
Export Citation:
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Assignee:
Asahi Glass Co., Ltd.
International Classes:
B24B41/06
Domestic Patent References:
JPH0319758A1991-01-28
JP2009095923A2009-05-07
JP2000094308A2000-04-04
JP2007190657A2007-08-02
Attorney, Agent or Firm:
Kenzo Matsuura



 
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