Title:
粒径計測装置、及び粒径計測方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011045961
Kind Code:
A1
Abstract:
被計測粒子に非接触で粒径を計測でき、かつ、計測可能な粒径範囲の拡大が可能とされた粒径計測装置、及び粒径計測方法を提供する。光源２から波長の異なる複数のレーザ光を随時射出し、浮遊する被計測粒子に照射する。そして被計測粒子によって散乱された散乱光のうち、第１の偏波面を有する第１の散乱光と、第１の偏波面に垂直な第２の偏波面を有する第２の散乱光とをレーザ光の波長を異ならせながら散乱光検出装置５で検出する。次に、散乱光検出装置５で検出された第１の散乱光と第２の散乱光との輝度を数値化し、これにより偏光比を求める。そして、波長毎に得られた複数の偏光比と理論的に導出された解析解とを比較することにより、被計測粒子の粒径を算出する。
Inventors:
Mikiya Araki
Akira Ebata
Inoue Takamichi
Seiichi Shiga
Akira Ebata
Inoue Takamichi
Seiichi Shiga
Application Number:
JP2011536062A
Publication Date:
March 04, 2013
Filing Date:
June 30, 2010
Export Citation:
Assignee:
Gunma University
International Classes:
G01N15/02
Attorney, Agent or Firm:
Shinto International Patent Office