Title:
プラズマ処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015151148
Kind Code:
A1
Abstract:
高周波電力を供給する機器の交換作業が容易で、組み立て再現性が良く、高周波電力を供給する系全体のエネルギー効率が高い高周波電力システム等を提供する。高周波電力システムは、高周波電力を消費する負荷部５，６と、負荷部５，６に高周波電力を供給する高周波電源１２，２２と、負荷部５，６と高周波電源１２，２２との間に接続され、高周波電源１２，２２に対する負荷側のインピーダンスを、高周波電源１２，２２のインピーダンスに整合させる整合器１４，２４とを備える。負荷部５，６、高周波電源１２，２２及び整合器１４，２４は、接地された電磁遮蔽部材１８，２８により閉塞された空間内にそれぞれ配設される。
Inventors:
Toshiyasu Hayami
Application Number:
JP2014534686A
Publication Date:
April 13, 2017
Filing Date:
March 31, 2014
Export Citation:
Assignee:
spp Technologies Co., Ltd.
International Classes:
H05H1/46; C23C16/507; H01L21/205; H01L21/3065
Attorney, Agent or Firm:
Satoshi Murakami