Title:
高速応答・高感度乾湿応答センサー
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016013544
Kind Code:
A1
Abstract:
ガルバニ電流を利用した乾湿応答センサーの感度および応答性を向上させ、またこれによって乾湿応答センサーを小型化する。従来のアノード電極とカソード電極を絶縁体を介して積層する構造ではなく、図示のように両電極を絶縁性基板上で例えば櫛型電極状に併走させる構造とした。半導体製造プロセスその他の微細加工技術を利用することにより、電極間距離を従来のセンサーに比較してきわめて短くして電極の単位敷設面積あたりの感度を向上できる。従って、乾湿応答センサーの小型化も容易に実現できる。
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Inventors:
Kawakita Hitoshi
Tadashi Shinohara
Toyohiro Chikyo
Toshihide Ikutame
Akihiko Oi
Tomoko Oki
Tadashi Shinohara
Toyohiro Chikyo
Toshihide Ikutame
Akihiko Oi
Tomoko Oki
Application Number:
JP2016535935A
Publication Date:
April 27, 2017
Filing Date:
July 21, 2015
Export Citation:
Assignee:
National Institute for Materials Science
International Classes:
G01N27/26; G01N27/30
Domestic Patent References:
| JPH05332964A | 1993-12-17 | |||
| JP2011085516A | 2011-04-28 | |||
| JPH01123140A | 1989-05-16 | |||
| JP2006317263A | 2006-11-24 | |||
| JPH1038843A | 1998-02-13 | |||
| JPH052007A | 1993-01-08 | |||
| JP2011128091A | 2011-06-30 | |||
| JP2008261691A | 2008-10-30 | |||
| JP2001349867A | 2001-12-21 | |||
| JP2006070287A | 2006-03-16 | |||
| JP2007303936A | 2007-11-22 | |||
| JP2008045876A | 2008-02-28 | |||
| JP2008096235A | 2008-04-24 |
Foreign References:
| US20110033764A1 | 2011-02-10 |
Attorney, Agent or Firm:
Toshio Nishizawa
Shigerou
Shigerou
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