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Title:
イオンミリング装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017051469
Kind Code:
A1
Abstract:
電子顕微鏡カラムから放出される観察用電子ビームの軌道シフトを抑圧可能なイオンミリング装置を提供するために、永久磁石１１４を含み試料を加工するイオンを発生させるペニング放電方式のイオンガン１００と、試料を観察するための走査電子顕微鏡と、を備えたイオンミリング装置において、永久磁石１１４から電子顕微鏡カラムへの漏洩磁場を低減するための磁気シールド１７２を設ける。

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Inventors:
Kengo Asai
Toru Iwatani
Hisayuki Takasu
Hiroyasu Shichi
Application Number:
JP2017541208A
Publication Date:
July 05, 2018
Filing Date:
September 25, 2015
Export Citation:
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Assignee:
Hitachi High-Technologies Corporation
International Classes:
H01J37/305; H01J27/04; H01J37/08
Domestic Patent References:
JP2013011540A2013-01-17
JP2002208374A2002-07-26
JP2015146355A2015-08-13
JP2014235948A2014-12-15
Foreign References:
US4800281A1989-01-24
Attorney, Agent or Firm:
Polaire Patent Business Corporation



 
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