Title:
感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018070327
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、優れたＬＷＲ性能、ＣＤＵ性能、解像性、断面形状の矩形性及び露光余裕度を伴う感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。同一又は異なる重合体中に、第１、第２及び第３構造単位を有する重合体成分と、第１及び第２感放射線性酸発生剤を含む感放射線性酸発生剤成分とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、第１構造単位が下記式（１）で表される基を、第２構造単位が芳香環に結合した水酸基を、第３構造単位が酸解離性基を含み、第１酸発生剤がスルホ基に隣接する炭素原子にフッ素原子若しくは１価のフッ素化炭化水素基が結合するスルホン酸を、第２酸発生剤がスルホ基に隣接する炭素原子及びこれに隣接する炭素原子のいずれにもフッ素原子若しくは１価のフッ素化炭化水素基が結合していないスルホン酸、又はカルボキシ基に隣接する炭素原子にフッ素原子若しくは１価のフッ素化炭化水素基が結合するカルボン酸を発生する。
Inventors:
Tetsuro Kaneko
Naruoka Takehiko
Naruoka Takehiko
Application Number:
JP2018544977A
Publication Date:
August 08, 2019
Filing Date:
October 04, 2017
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION
International Classes:
G03F7/039; G03F7/004; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2008304590A | 2008-12-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Hajime Amano