Title:
基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018122962
Kind Code:
A1
Abstract:
基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム(1)は、複数の生産拠点(9)にそれぞれ設けられ、基板生産ライン(911、912、913)の稼動情報を集計して拠点情報を作成する複数の拠点集計部(2)と、複数の生産拠点に対応して設けられ、拠点集計部の拠点情報を伝送する複数の情報伝送部(3)と、複数の情報伝送部からそれぞれ受け取った拠点情報を集計して、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を集計した全体情報を作成する全体集計部(4)と、全部の生産拠点を複数のエリアに分割し、拠点情報および全体情報の少なくとも一方に基づいて、エリアごとに稼動情報に関する指標を求め、求めた複数の指標を出力するエリア比較出力部(5)と、を備える。
Inventors:
Morita Yukichi
Application Number:
JP2018558566A
Publication Date:
October 31, 2019
Filing Date:
December 27, 2016
Export Citation:
Assignee:
Fuji corporation
International Classes:
G06Q10/00; G05B19/418; G06Q50/04
Domestic Patent References:
JP2003005816A | 2003-01-08 | |||
JP2012141806A | 2012-07-26 | |||
JP2002099605A | 2002-04-05 | |||
JP2013196208A | 2013-09-30 | |||
JP2002329061A | 2002-11-15 | |||
JP2010238085A | 2010-10-21 | |||
JP2015152933A | 2015-08-24 | |||
JP2002182725A | 2002-06-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation Kyoritsu