Title:
結晶成長装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022507882
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、結晶を成長するための装置（１００）に関する。装置は、チャンバ（１０１）と、チャンバ（１０１）の加熱可能な収容空間（１０３）に配置される坩堝（１０２）と、を備えており、坩堝（１０２）は、内部で結晶を成長させるように構成された内部容積（１０４）を備える。坩堝（１０２）は、各側壁（１０６）が、坩堝（１０２）の上部（１０７）へ延在する底部（１０５）を備える。坩堝（１０２）は、種結晶（１０８）を取り付けるために構成された少なくとも１つの堆積セクション（Ｄ１－Ｄ７）を備えており、堆積セクション（Ｄ１－Ｄ７）は、坩堝（１０２）の側壁（１０６）及び上部（１０７）の少なくとも１つに形成されている。
Inventors:
Roberto Ebner
Guhasan Barbar
Kim Chee-yun
Bernd Green
Guhasan Barbar
Kim Chee-yun
Bernd Green
Application Number:
JP2021528851A
Publication Date:
January 18, 2022
Filing Date:
November 19, 2019
Export Citation:
Assignee:
Ebner Industry Orphenbau Gezel Shaft Mitt Beschlenktel Haftung
International Classes:
C30B23/06; C30B23/02; C30B25/08; C30B25/10; F27B14/10
Attorney, Agent or Firm:
Aoki Atsushi
Shinji Mihashi
Junichi Tsuruta
Tomohiro Nanzan
Yuichi Morimoto
Shinji Mihashi
Junichi Tsuruta
Tomohiro Nanzan
Yuichi Morimoto