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Title:
引き出し電極およびイオン源
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015080239
Kind Code:
A1
Abstract:
直進性が高いイオンビームを得ることができる引き出し電極を提供する。本発明の引き出し電極（１）は、陽極酸化膜からなる絶縁層（２）と、絶縁層（２）の一方の面に配置される加速電極（３）と、加速電極（３）と絶縁層（２）を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔（４）とを備え、貫通孔（４）のアスペクト比（平均長さ（５）／平均開口径（６））が、１６以上１０００以下である。

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WO/2011/155917ION SOURCE
JP2005183331ION SOURCE APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTRONIC PART
Inventors:
Shunji Kurooka
Application Number:
JP2015551007A
Publication Date:
March 16, 2017
Filing Date:
November 28, 2014
Export Citation:
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Assignee:
FUJIFILM Corporation
International Classes:
H01J27/02; H01J37/08
Domestic Patent References:
JP2004281229A2004-10-07
JPS62229640A1987-10-08
JP2006030774A2006-02-02
JPH1012124A1998-01-16
JP2013533584A2013-08-22
Foreign References:
US20060275138A12006-12-07
Attorney, Agent or Firm:
Nozomi Watanabe
Haruko Sanwa
Hideaki Ito
Fumio Mitsuhashi



 
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