Title:
電極水の回収方法、及び超純水、もしくは製薬用水製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7250880
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】コストの上昇を抑制しつつ、電極水の回収率を高める。【解決手段】電極水の回収方法は、超純水製造工程において、被処理水が電気脱イオン処理における陰極室を通ることで生成される電極水から水素ガスを除去して回収する電極水の回収方法であって、電極水を、スクラバ２００に充填された充填物２０８の上に散布すると共に、充填物２０８の下から不活性ガスを供給して電極水中の水素ガスと反応させ、当該反応により生成される処理ガスを充填物２０８の上方の排気口２１２から排気し、水素ガスが除去された処理水２２８を回収する。【選択図】図３
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Inventors:
Abe Toshikazu
Norihiko Suzuki
Shuhei Torimura
Takatsugu Kito
Norihiko Suzuki
Shuhei Torimura
Takatsugu Kito
Application Number:
JP2021171016A
Publication Date:
April 03, 2023
Filing Date:
October 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
Nomura Micro Science Co., Ltd.
International Classes:
C02F1/20; B01D19/00; B01D61/44; C02F1/44; C02F1/469
Domestic Patent References:
| JP2020124672A | ||||
| JP2000042530A | ||||
| JP2021102200A | ||||
| JP2003170169A | ||||
| JP9299710A | ||||
| JP2000079315A | ||||
| JP2014167248A |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Taiyo International Patent Office
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