Title:
端面修正方法及び切削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024047167
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】専用の装置や治具を要することなく、既存の部品を利用してマウントの端面修正を効率よく短時間で行うこと。【解決手段】ハブブレード（切削ブレード）１１でウェーハ（被加工物）Ｗを切削する切削装置１において、水平方向に先端を対向して配置した一対のスピンドル１４の各先端に各々配置した各マウント１２の支持面（端面）１２ｃを修正する端面修正方法は、一方のマウント１２にリング状の端面修正砥石１１１を装着する端面修正砥石装着工程と、一対のマウント１２を相対的に高さを異ならせた後、両マウント１２を相対的に水平方向に接近させ、一方のマウント１２に装着されて回転する端面修正砥石１１１で他方のマウント１２の支持面１２ｃを研削する端面研削工程を経て該他方のマウントの支持面１２ｃを修正した後、他方のマウント１２に端面修正砥石１１１を装着し、同様の工程を経て一方のマウント１２の支持面１２ｃを修正する。【選択図】図８Ｄ
Inventors:
Takuya Kaminaga
Application Number:
JP2022152635A
Publication Date:
April 05, 2024
Filing Date:
September 26, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B27/06; B24B45/00; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo Alpa Patent Office
Previous Patent: Spindle unit and grinding device
Next Patent: Information processing device, recording device, network setting method, and program
Next Patent: Information processing device, recording device, network setting method, and program