Title:
高密度プラズマ化学気相堆積チャンバ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023507111
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、堆積チャンバ用のシャワーヘッドのための方法及び装置に関する。一実施形態では、複数の支持部材のうちの１又は複数に各々結合された複数の有孔タイルと、シャワーヘッド内の複数の誘導結合器とを含み、複数の誘導結合器のうちの１つの誘導結合器は複数の有孔タイルのうちの１つに対応し、支持部材は、誘導結合器と有孔タイルとの間に形成される領域に前駆体ガスを供給するプラズマ堆積チャンバ用シャワーヘッドが提供される。【選択図】図２Ａ
Inventors:
Seti, Slendra Kanimi Harry
Won, Taecyeon
Sun, Gunway
Choi, Sue Yang
Li, Yang Tong
Takayuki Matsumoto
Yadav, Sanjay Dee.
Tinner, Robin, Elle.
Won, Taecyeon
Sun, Gunway
Choi, Sue Yang
Li, Yang Tong
Takayuki Matsumoto
Yadav, Sanjay Dee.
Tinner, Robin, Elle.
Application Number:
JP2022536555A
Publication Date:
February 21, 2023
Filing Date:
December 17, 2019
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C16/509; C23C16/455
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation