Title:
化学機械研磨のための温水生成
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023542458
Kind Code:
A
Abstract:
化学機械研磨システムは、研磨パッドを支持するプラテンと、キャリアヘッドと、プラテンとキャリアヘッドとの間の相対運動を発生させるモータと、水入口と１つまたは複数の蒸気出口とを有する容器、および下側チャンバの一部分に熱を加えて蒸気を発生させるように構成された加熱素子を含む、蒸気発生器と、蒸気発生器から研磨パッド上に蒸気を送達するように配向されたノズルと、洗浄流体を保持するタンクと、容器およびノズルを制御可能に接続および分離する、容器とノズルとの間の第１の流体ラインの第１のバルブと、容器からの蒸気がタンク内の流体を加熱するように、容器およびタンクを制御可能に接続および分離する、容器とタンクとの間の第２の流体ラインの第２のバルブと、を含む。【選択図】図３
Inventors:
Soundara Rajan, Hari
Pollard, Chad
Fisher, Alexander John
Chan, Shu-sung
Wu, Haoshon
Tan, Chienshaw
Pollard, Chad
Fisher, Alexander John
Chan, Shu-sung
Wu, Haoshon
Tan, Chienshaw
Application Number:
JP2023503420A
Publication Date:
October 10, 2023
Filing Date:
May 02, 2022
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
B24B37/015; B24B37/10; B24B53/017; B24B53/12; B24B55/06; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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