Title:
検査装置、検査方法、および、検査プログラム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7302922
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】インピーダンスマッチングに用いられるとき適切に機能を発揮できない可変コンデンサが検出される。【解決手段】検査装置１２は、測定値集合体受付部６０と測定値集合体記憶部６２と合否判断部６４と合否情報出力部６６を備える。測定値集合体受付部６０は、可変コンデンサに関する測定値の集合体を受付ける。測定値の集合体が、測定値の対を複数対有している。測定値の対が、可変コンデンサのレジスタンスの測定値と、そのレジスタンスの測定値に対応するリアクタンスの測定値とを有している。測定値集合体記憶部６２は測定値の集合体を記憶する。合否判断部６４は、測定値の集合体が有する測定値の対において残差が閾値を超えるか否かに応じて可変コンデンサについての検査の合否を判断する。合否情報出力部６６は、検査の合否を示す情報を出力する。【選択図】図３
Inventors:
Kawanishi Tetsushi
Risa Tohei
Risa Tohei
Application Number:
JP2023036250A
Publication Date:
July 04, 2023
Filing Date:
March 09, 2023
Export Citation:
Assignee:
Iwasaki Electric Co., Ltd.
International Classes:
G01R31/00; G01R27/26
Domestic Patent References:
| JP5273282A | ||||
| JP2002151366A | ||||
| JP201344722A | ||||
| JP9502793A | ||||
| JP2016180692A |
Foreign References:
| US20170322262 |
Attorney, Agent or Firm:
Shoji Suzue
Tetsuro Yoshimura
Tetsuro Yoshimura