Title:
粒子センサを較正する方法、粒子センサ及び粒子センサを有する装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024503990
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、粒子センサ（２）を較正する方法であって、較正平面（ＫＥ）内に較正強度分布（１０）、特に較正焦点を生成することを目的として、較正平面（ＫＥ）上で光ビーム、特にレーザービーム（８）を合焦するステップであって、較正プレート（１）は、較正平面（ＫＥ）に配置され、且つ光ビーム、特にレーザービーム（８）の強度（Ｉ）を変調するためのコントラスト領域（２）をその上に形成している、ステップと、較正平面（ＫＥ）内で較正プレート（１）及び／又は較正焦点（１０）を移動させるステップと、較正平面（ＫＥ）の通過後、光ビーム、特にレーザービーム（８）の少なくとも１つの強度信号（ＩＴ；ＩＲ）を記録するステップと、少なくとも１つの強度信号（ＩＴ；ＩＲ）を評価することにより、粒子センサ（２）を較正するステップとを含む方法に関する。本発明は、この方法を実行するための粒子センサ（２）及び少なくとも１つのこのような粒子センサ（２）を有する装置にも関する。
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Inventors:
Michael Fertsch
Stefan Hengesbach
Jens Grimmel
Helge Hattermann
Stefan Hengesbach
Jens Grimmel
Helge Hattermann
Application Number:
JP2023537055A
Publication Date:
January 30, 2024
Filing Date:
December 15, 2021
Export Citation:
Assignee:
Q.ant GmbH
International Classes:
G01P21/00; G01B11/02; G01B11/08; G01N15/10; G01P3/36
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Taku Morita
Junichi Maekawa
Hideo Nagashima
Ueshima class
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Junichi Maekawa
Hideo Nagashima
Ueshima class
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