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Title:
ワーク洗浄装置及びワーク洗浄方法並びにパドル治具
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7017670
Kind Code:
B1
Abstract:
少なくとも一つ以上のパドル治具に組み込まれたワークの表面の浸漬洗浄と並行して、後洗浄処理を効率よく進行させる。ワークの厚み方向へ分離可能に設けられて浸漬液の投入口を有するパドル治具と、パドル治具に対してワークをその厚み方向へ挟み込むとともに、投入口がワークの表面と対向するように着脱自在な組み込みを行うセット機構と、セットによりパドル治具に組み込まれたパドル治具の投入口に浸漬液を供給する浸漬液供給機構と、浸漬液供給機構が設置される浸漬洗浄領域と分離して形成した後洗浄処理領域に設置されて、後洗浄処理を行う後洗浄処理機構と、を備え、パドル治具は、浸漬液供給機構から投入口に供給した浸漬液がワークの表面と接して貯められる貯留部を有し、貯留部を有するパドル治具が浸漬洗浄領域に少なくとも一つ以上配置されることを特徴とするワーク洗浄装置。

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Inventors:
Yoshikazu Otani
Kyohei Tomioka
Application Number:
JP2021573536A
Publication Date:
February 08, 2022
Filing Date:
April 19, 2021
Export Citation:
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Assignee:
Shin-Etsu Engineering Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; H01L21/02; H01L21/306; H01L21/677; H01L21/683
Domestic Patent References:
JPH05283394A1993-10-29
JP2016219776A2016-12-22
JP2003051484A2003-02-21
JP2016143722A2016-08-08
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Wisdom International Patent Office



 
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